無塵室不鏽鋼與耐酸鹼設備
PP 耐酸鹼推車
產品概述
PP 耐酸鹼推車用於在濕製程區搬運藥液、清洗籃與待處理工件。全 PP 焊接成型，沒有金屬部件會在酸霧中鏽蝕，也不會因為鏽蝕在潔淨區產生鏽屑。依載運物件分成傳片、防震、溶液、浸泡、方管、多邊形、櫃式、屜式、盒式與水槽車等型式，另有石英管推車與乾燥架。
同系列也包含 PP 爐管石英推車（依爐管外徑做弧形托座）、光阻推車與雙層推車，以及 PP 貨架、耐酸鹼工作桌、儀器台與清洗籃。清洗籃分圓筒型、箱式、框式與矽棒型，可以直接放進酸槽，不會像金屬籃一樣被腐蝕、把金屬離子帶進清洗液。
產品特性
►材質：進口瓷白色聚丙烯（PP）板，同質 PP 焊條無縫焊接，無金屬部件
►輪組：選用耐酸鹼材質的輪子與軸承
►推車款式：耐酸鹼傳片推車、防震推車、耐酸鹼溶液推車、溶液浸泡車、耐酸鹼方管推車、多邊形推車、耐酸鹼櫃式推車、屜式推車、盒式推車、耐酸鹼石英管推車、石英管乾燥架、耐酸鹼水槽車
►爐管石英與光阻搬運：PP 爐管石英推車（弧形托座）、PP 雙層推車、PP 光阻推車、PP 雙層工作台
►貨架‧工作桌：耐酸鹼方管貨架、活動層板貨架、耐酸鹼工作桌、耐酸鹼儀器台；底部橡膠調節腳
►清洗籃：耐酸鹼圓筒型、箱式、框式、矽棒清洗籃
►客製：尺寸、板厚、層數、圍邊高度、托座弧面半徑、門數與開門方向
►參考文件：NRC《Prudent Practices in the Laboratory》（2011）§6.C.4
詳細說明
濕製程區推車的兩個敵人：鏽與滴液
乾區推車最怕產塵，濕製程區推車最怕的是鏽蝕與滴液，而且這兩個問題會互相放大：金屬件鏽蝕產生鏽屑，鏽屑掉進藥液槽污染製程；藥液滴在地面，又加速下一輪的鏽蝕。全 PP 結構把金屬完全排除，從源頭切斷這個循環。 最容易被忽略的是輪組。車體是 PP、輪子卻是普通的金屬軸承，幾個月就會卡死；採購時要把輪子與軸承的材質一起列入規格。搬運化學品：車子本身就是圍堵
《Prudent Practices in the Laboratory》§6.C.4 要求搬運化學品時只用耐破的二次圍堵容器。推車的圍邊與底盤就是一種圍堵：瓶子在推行中倒了、裂了，液體要留在車上，而不是流到地面。 美國大學的安全指引在細節上更具體：UC Berkeley 指出不相容的化學品不應放在同一個圍堵容器；Boston University 建議推車四邊至少有 2 吋（約 5 cm）的邊緣。這兩點落到推車設計上，就是圍邊要有足夠高度，以及用分格或分盤把酸與鹼、氧化性酸與有機物分開。 溶液推車與浸泡車還要注意重心：裝滿藥液的容器重心高，液體又會晃動，推行時的慣性遠大於乾料。底層放重的、上層放輕的，推行時避免急停。爐管石英推車：弧形托座分散應力
爐管與石英件又長又重又脆，用一般推車搬運，光是推行的震動就足以造成隱裂。石英管放在平板上時，接觸面只有兩條線，整根管子的重量集中在那兩條線上；震動疊加上去，就是隱裂的來源。隱裂在外觀上看不出來，進爐升溫後才破裂，損失的不只是石英管，還有整爐的產品。 PP 爐管石英推車的載台依爐管外徑做出弧形托座，讓管身沿弧面貼合，接觸面從線變成面，應力分散開來；托座同樣是 PP，避免硬質接觸點造成局部壓損。再好的托座也擋不住急煞車的慣性衝擊，所以推行速度也要寫進作業規範。光阻推車與雙層工作台則用在黃光區與濕製程區之間的物料周轉。PP 貨架、工作桌與清洗籃
PP 貨架用來放置清洗後的晶圓部件與治具，整體無縫焊接，底部配橡膠調節腳，可以吸收地面不平。清洗籃的重點則在金屬離子：半導體清洗的目的之一就是去除金屬離子，用金屬籃等於一邊洗一邊污染。 圓筒型：放置圓柱形零件或小件。 箱式：散件集中清洗，底部與側面開孔讓藥液流通。 框式：板狀或大型工件，框架支撐、接觸面少。 矽棒型：依矽棒外徑做支撐，避免滾動碰撞。 PP 籃的限制是耐溫：槽溫接近 PP 的使用上限時，籃子會軟化變形，高溫製程要先確認槽溫在 PP 的使用範圍內（PP 的耐溫說明見 PP 實驗台頁）。PP 推車與清洗籃的日常檢查
PP 推車與清洗籃靠焊道連接，焊道品質決定它能用多久。接觸藥液後用純水沖淨，避免殘酸在角落濃縮；定期檢查焊道有沒有細裂、轉角有沒有變色或變形，清洗籃要特別看底部與提把的焊點，因為那裡承受整籃工件的重量。發現裂紋就停用修補，不要等它在酸槽裡斷開。常見問題
搬運藥液的 PP 推車，圍邊要做多高？
至少要高到瓶子倒下時液體不會溢出車外。Boston University 的安全指引建議推車四邊至少有 2 吋（約 5 cm）的邊緣，這可以當作下限；實際高度要依載運的容器大小調整，大瓶或料桶建議更高，或改用整個托盤式的溶液推車。圍邊與底板要焊接連續，不留縫隙，倒出來的液體才會留在車上；車內再用分格把不同容器隔開，瓶子不會互相撞倒。
酸和鹼可以放在同一台 PP 推車上搬運嗎？
不要放在同一個圍堵空間裡。UC Berkeley 的指引指出不相容的化學品不應放在同一個圍堵容器，因為一瓶破了，流出的液體會和另一瓶接觸。《Prudent Practices》也把硝酸、過氯酸列為氧化劑，醋酸列為有機酸，它們同樣不應混放。做法是用推車上的分格或獨立托盤把它們分開，或乾脆分兩趟、分兩台車搬運。
爐管石英推車的弧形托座要依什麼尺寸訂做？
依爐管或石英管的外徑與長度。托座的弧面半徑要貼合管身，接觸面才會從兩條線變成一個面，讓重量分散；弧面半徑太大，管子會在托座上滾動；太小則只有邊緣接觸，反而集中應力。長管還要依長度決定托座數量與間距，避免管身懸空過長。訂做時請提供管子的外徑、長度、重量，以及是否同一台車要載不同尺寸的管子。
