PP 耐食機器
シリコンウェハー腐食洗浄機
製品概要
シリコンウェハー腐食洗浄機は、ウェハー表面の酸化物、パーティクル、金属イオンを除去する装置であり、太陽電池と半導体の湿式工程における中核設備の一つです。装置全体を PP 材で構成し、フッ化水素酸と硝酸環境に直接対応します。
ウェハーを溶液に浸漬したまま搬送し研磨する方式のため、「水上浮遊」搬送やローラーによる液付けが不要です。したがってエッチング線が生じず、工程が安定して制御しやすく、破損率も低く抑えられます。
特長・仕様
►材質：輸入磁器白色ポリプロピレン（PP）板、同質 PP 溶接棒使用
►成型工法：無溶接継目の一体成型、半永久的、金属部品を持たず錆びません
►耐食性：強酸・強アルカリ・化学薬品に耐え、耐衝撃性も備えます
►特注：寸法、板厚、扉数、開き方向、覗き窓はすべて要求に応じて設計
►主要仕様：洗浄対象 2″～6″ ウェハー（25 枚/バスケット、単バスケット／2 バスケット）
►装置寸法：2000×1200×1800mm
►制御形式：手動／半自動
►効率向上：工程条件により 0.2%～0.3% の向上
