ガス精製装置
深冷氫氣純化器
製品概要
以液氮作為冷源的深冷型氫氣純化器。多個吸附桶並聯，在低溫純化與高溫再生兩種模式下交替工作，可深度去除氫氣中的 CH₄、N₂ 與 Ar —— 這些是常溫吸附難以處理的雜質。使用壽命 20 年以上。
特長・仕様
指標表（適用氣體：H₂）
| 雜質 | 進口 INLET (ppm) | BSS7-C 出口 (ppb) |
|---|---|---|
| 工藝 | — | ADS（液氮深冷） |
| H₂O | < 5 | < 1 |
| O₂ | < 3 | < 1 |
| CO | < 1 | < 1 |
| CO₂ | < 1 | < 1 |
| N₂ | < 1 | < 1 |
| Ar | < 1 | < 1 |
| CH₄ | < 0.5 | < 1 |
| NMHC | < 1 | < 1 |
| 微粒 PARTICLES | — | ≤ 1 pcs/m³ (@0.003μm) |
| 流量範圍 | — | 10–1000 Nm³/h |
表列為標準型號的指標與配置，其他特殊需求可另行洽詢。
