가스 정제기
크라이오제닉 수소 정제기
제품 개요
액체질소를 냉원으로 사용하는 심냉형 수소 정제기입니다. 다수의 흡착탑을 병렬로 배치해 저온 정제와 고온 재생을 번갈아 수행하며, 상온 흡착으로는 다루기 어려운 수소 중의 CH₄, N₂, Ar 을 깊이 제거합니다. 유량 10~1000 Nm³/h, 사용 수명 20 년 이상입니다.
제품 특성
지표표 (적용 가스: H₂)
| 불순물 | 입구 INLET (ppm) | BSS7-C 출구 (ppb) |
|---|---|---|
| 방식 | — | ADS (액체질소 심냉) |
| H₂O | < 5 | < 1 |
| O₂ | < 3 | < 1 |
| CO | < 1 | < 1 |
| CO₂ | < 1 | < 1 |
| N₂ | < 1 | < 1 |
| Ar | < 1 | < 1 |
| CH₄ | < 0.5 | < 1 |
| NMHC | < 1 | < 1 |
| 미립자 PARTICLES | — | ≤ 1 pcs/m³ (@0.003μm) |
| 유량 범위 | — | 10–1000 Nm³/h |
표에는 표준 모델의 지표와 구성만 기재되어 있습니다. 기타 특수 요구 사항은 별도로 문의해 주십시오.
상세 설명
심냉을 쓰는 이유
흡착제의 불순물 흡착 용량은 온도가 내려갈수록 뚜렷하게 커집니다. CH₄, N₂, Ar 같이 끓는점이 낮고 극성이 약한 분자는 상온에서 흡착제와의 상호작용이 너무 약해 상온 흡착으로는 효과적으로 걸러내기 어렵습니다. 흡착탑을 액체질소 온도 영역까지 낮춰야 비로소 이들 분자를 안정적으로 포집할 수 있습니다. 이는 이 시리즈가 제품군 전체에서 갖는 고유한 위치이기도 합니다. 아르곤은 심냉만이 처리할 수 있는 유일한 불순물입니다. 촉매 경로(BSS9 등)는 메탄에 대응하고 게터 경로(BSS7-G 등)는 질소와 메탄에 대응하지만, 둘 다 단원자인 아르곤에는 손을 쓸 수 없습니다.공정 소개
BSS7-C 시리즈는 다수의 흡착탑을 병렬로 배치하고 액체질소를 냉원으로 사용해 저온 정제와 고온 재생을 번갈아 수행합니다. 한 조의 흡착탑이 저온 정제 상태일 때 다른 조가 고온 재생을 수행하므로 연속 공급이 가능하며 사용 수명은 20 년 이상입니다.적용 상황
수소 중 CH₄, N₂, Ar 에 대해 ppb 급 요구가 있는 반도체, 광섬유, 특수 소재 공정입니다. 공정이 H₂O, O₂, CO, CO₂ 만 문제 삼는다면 일반적으로 상온형인 BSS7 시리즈로 충분하며 액체질소의 운전 비용을 부담할 필요가 없습니다.적용 공정과 산업
・선단 노드 에피택시: 캐리어 가스의 총 불순물 요구가 가장 엄격한 단계 ・광섬유 프리폼: 아르곤 잔류가 증착층의 굴절률 균일성에 영향을 줍니다 ・화합물 반도체 MOCVD: 질소 배경이 도핑 제어를 방해합니다 ・고급 연구와 계량: 이론 한계에 가까운 순도의 수소가 필요한 용도 ・회수 수소 재정제: 회수 가스는 불순물 종류가 신규 가스보다 복잡하며 심냉의 포괄 범위가 가장 넓습니다현장 배치와 설치 요점
・액체질소 공급이 선결 조건: 안정적인 액체질소 공급과 저장 탱크, 진공 단열 배관, 액위 감시가 필요합니다. 기존 액체질소 계통이 없는 사업장에서는 이 부분의 구축 비용이 정제기 본체를 웃도는 경우도 적지 않습니다 ・저온부의 단열과 착상 방지: 콜드 박스 주변의 착상과 응축수가 전기 기기에 떨어지지 않도록 하십시오 ・저온 상해 방지: 저온 배관과 밸브에는 표시와 격리를 두어 인력이 직접 접촉하지 않도록 하십시오 ・재생부와 저온부의 열 분리: 전환 시의 열충격이 설비 수명의 관건이므로 설계된 승온·강온 곡선에 따라 운전하십시오 ・수소 안전 규정도 동일하게 적용: 환기, 검지, 비상 차단, 방폭 구역 구분 중 어느 하나도 생략할 수 없습니다 ・출구 측에 아르곤 분석 능력이 있는 계측기 배치: 일반적인 수분·산소 분석기로는 아르곤이 보이지 않으므로 검수에는 맞는 계측기가 필요합니다유지보수와 재생
・흡착탑은 시스템이 자동으로 재생 일정을 잡으며 흡착 재료 설계 수명은 20 년 이상 ・액체질소 소비량과 운전 비용은 전체 평가에 반영해야 합니다. 이것이 심냉 경로와 상온 경로의 가장 큰 차이입니다 ・일상 유지보수의 핵심: 액위와 단열 상태, 저온 밸브 동작, 승온·강온 곡선의 정상 여부 ・장기 정지 후 복귀 시에는 절차에 따라 천천히 강온해 열응력 손상을 피하십시오인접 기종과의 선택
| 기종 | 제거 가능한 난처리 불순물 | 액체질소 | 유량 | 운전 비용 |
|---|---|---|---|---|
| BSS7-C (본 기종) | CH₄, N₂, Ar | 필요 | 10–1000 Nm³/h | 높음 |
| BSS7-G / BSS7-H | CH₄, N₂ | 불필요 | 10–300 Nm³/h | 중간 |
| BSS7-A | 모두 대상 외 | 불필요 | 10–1000 Nm³/h | 낮음 |
