가스 정제기
고압 POU 가스 정제기
제품 개요
인라인 POU 정제기의 고압형으로 최대 사용 압력은 18 MPa(HP)와 24 MPa(SP)입니다. 고압 실린더 직공급, 고압 공정, 또는 감압 전에 정제를 마쳐야 하는 경우에 적합하며 출구 순도는 동일하게 ppb 급에 이릅니다.
제품 특성
고압 POU 선정 파라미터 표
| 모델 | 최대 유량 (SLPM) | 최대 사용 압력 (MPa) | 연결 형식 | 길이 OAL (Face to Face) | 관경 OD (mm) |
|---|---|---|---|---|---|
| BSP100-HP | 100 | 18 | 1/4"MVCR | 15.55"±0.03 | 60 |
| BSP100-SP | 100 | 24 | 1/4"MVCR | 15.63"±0.03 | 60 |
| BSP250-HP | 250 | 18 | 1/4"MVCR | 19.88"±0.03 | 102 |
| BSP250-SP | 250 | 24 | 1/4"MVCR | 20.04"±0.03 | 102 |
| BSP500-HP | 500 | 18 | 1/2"MVCR | 22.95"±0.03 | 133 |
| BSP500-SP | 500 | 24 | 1/2"MVCR | 23.19"±0.03 | 133 |
| BSP1000-HP | 1000 | 18 | 1/2"MVCR | 42.09"±0.06 | 180 |
| BSP1000-SP | 1000 | 24 | 1/2"MVCR | 45.55"±0.06 | 180 |
표에는 표준 모델의 지표와 구성만 기재되어 있습니다. 기타 특수 요구 사항은 별도로 문의해 주십시오.
상세 설명
적용 상황
일반적인 POU 정제기의 최대 사용 압력은 1.73 MPa 안팎이라 고압 실린더 직공급, 고압 캐리어 가스, 또는 감압 밸브 앞에서 정제를 끝내야 하는 공정에는 맞지 않습니다. 고압형은 통체를 두껍게 하고 고압 등급 피팅을 써서 사용 압력을 18 MPa(HP) 또는 24 MPa(SP)까지 올립니다.감압 전에 정제하는 이유
같은 불순물 질량이라도 고압 측은 체적 농도가 낮고 가스 밀도가 높아 흡착층의 단위 체적당 처리 효율이 좋습니다. 더 중요한 것은 감압 밸브 자체가 잠재적 오염원이라는 점입니다. 밸브 시트 재질의 탈가스와 작동 시 미립자 탈락은 모두 감압 구간에서 일어납니다. 정제기를 감압 앞에 두면 감압 이후 배관은 보호받지 못하고, 감압 뒤에 두면 고압 측의 효율을 잃습니다. 실무에서는 오염원이 어느 구간에 있느냐에 따라 두 배치 모두 쓰이므로, 선정 시 현장의 배관 순서도 함께 알려 주십시오.모델 접미사의 의미
・HP: 고압형, 최대 사용 압력 18 MPa ・SP: 초고압형, 최대 사용 압력 24 MPa제품 특징
・상온 촉매 흡착 방식으로 가열도 재생 가스도 불필요 ・고정밀 필터 내장, 여과 정밀도 0.003 μm ・공장 반송 재생 가능, 설비 수명 20 년 이상 ・불순물 제거 능력은 같은 유량의 표준 POU 와 동등 (가스원 품질 5N 이상에서 H₂O, O₂, CO, CO₂, H₂, NMHC < 1 ppb)적용 가스
N₂, H₂, O₂, Ar, He, Kr, Ne, Xe, CDA, CH₄, CO₂ 등 대용량 가스와 다양한 특수 가스.적용 공정과 산업
・실린더나 번들에서 직접 공급해 공장 주배관을 거치지 않는 캐리어 가스 계통 ・고압 공정용 가스: 일부 증착, 어닐링, 가압 챔버 ・가스 충전·분장 스테이션: 충전 전에 가스원 품질을 끌어올리는 용도 ・연구 기관과 파일럿 라인: 배관이 짧고 사용량이 적어 고압원에서 직접 취기현장 배치와 설치 요점
・압력 등급은 전 계통을 일치시킬 것: 정제기를 18/24 MPa 로 올린 뒤에는 전후의 배관 부품, 밸브, 플렉시블 호스도 모두 같은 등급이어야 하며 정제기만 바꿔서는 안 됩니다 ・방압과 배기 경로 확보: 고압 구간에는 반드시 안전 방압을 두고 배기는 안전한 위치로 유도해야 합니다 ・피팅 체결 토크는 규정대로: MVCR 면 실은 고압에서 토크와 개스킷 상태에 더 민감하므로 재분해 시 개스킷을 교체하십시오 ・설치 후 보압 시험 실시: 불활성 가스로 가압해 정치한 뒤 압력 강하가 없음을 확인하고 공정 가스를 도입하십시오 ・표준형과 마찬가지로 전원도 재생 가스도 필요 없습니다유지보수와 재생
공장 반송 재생의 논리는 표준 POU 와 같고 주기는 1~2 년입니다. 차이는 분해 전에 완전히 방압하고 압력이 영인지 확인해야 한다는 점으로, 잔압이 있는 상태에서 피팅을 푸는 일은 절대 피해야 합니다.인접 기종과의 선택
| 기종 | 최대 압력 | 유량 | 적합한 용도 |
|---|---|---|---|
| BSP-HP (본 기종) | 18 MPa (HP) / 24 MPa (SP) | 100–1000 SLPM | 고압 실린더 직공급, 감압 전 정제 |
| BSP 표준형 | 1.73–6.9 MPa | 5–4000 SLPM | 공장 공급 이후의 사용점 |
| BSS-HP 고압형 | 24 MPa (240 Bar) | 10–100 Nm³/h | 대유량 고압, 전자동 재생이 필요한 경우 |
