가스 정제기
POU 상온·상압형 가스 정제기
제품 개요
사용점(Point of Use) 바로 앞에 설치하는 인라인 정제기로, 상온·상압에서 촉매 흡착으로 가스 속 미량 불순물을 제거하며 출구 순도는 ppb 급에 이릅니다. 유량은 5~4000 SLPM 을 아우르고, 연결 크기와 통체 길이, 패널 구성은 모두 현장 요구에 맞춰 제작할 수 있습니다.
제품 특성
표준 POU 선정 파라미터 표
| 모델 | 최대 유량 (SLPM) | 표준 유량 (SLPM) | 최대 사용 압력 (MPa) | 연결 형식 | 길이 OAL (Face to Face) | 관경 OD (mm) |
|---|---|---|---|---|---|---|
| BSP005 | 5 | 0.5 | 6.9 | 1/4"MVCR | 84.1 (3.31"±.03) | 38.1 (1.5") |
| BSP010 | 10 | 1.5 | 6.9 | 1/4"MVCR | 127 (5.00"±.03) | 38.1 (1.5") |
| BSP010A | 10 | 1.5 | 6.9 | 1/4"MVCR | 114.3 (4.50"±.03) | 38.1 (1.5") |
| BSP050 | 50 | 5 | 1.73 | 1/4"MVCR | 208.3 (8.20"±.03) | 50.8 (2.0") |
| BSP050A | 50 | 5 | 1.73 | 1/4"MVCR | 160 (6.30"±.03) | 50.8 (2.0") |
| BSP060 | 60 | 9 | 1.73 | 1/4"MVCR | 208.3 (8.20"±.03) | 76.2 (3.0") |
| BSP075 | 75 | 10 | 1.73 | 1/4"MVCR | 201.7 (7.94"±.03) | 76.2 (3.0") |
| BSP100 | 100 | 12 | 1.73 | 1/4"MVCR | 317.5 (12.50"±.03) | 50.8 (2.0") |
| BSP120 | 120 | 25 | 1.73 | 1/4"MVCR | 254 (10.00"±.03) | 76.2 (3.0") |
| BSP250 | 250 | 40 | 1.73 | 1/2"MVCR | 462.28 (18.20"±.03) | 76.2 (3.0") |
| BSP300 | 300 | 80 | 1.73 | 1/2"MVCR | 439.42 (17.3"±.06) | 101.6 (4.0") |
| BSP500 | 500 | 80 | 1.73 | 1/2"MVCR | 508 (20.00"±.06) | 101.6 (4.0") |
| BSP800 | 800 | 200 | 1.73 | 1/2"MVCR | 702 (27.64"±.06) | 152.4 (6.0") |
| BSP1000 | 1000 | 300 | 1.73 | 1/2"MVCR | 999.24 (39.34"±.06) | 152.4 (6.0") |
| BSP1500 | 1500 | 400 | 1.73 | 3/4"MVCR | 1134.4 (44.66"±.06) | 152.4 (6.0") |
| BSP2000 | 2000 | 1000 | 1.73 | 3/4"MVCR | 1290.32 (50.8"±.06) | 152.4 (6.0") |
| BSP2500 | 2500 | 1100 | 1.73 | 1"MVCR | 1302.4 (51.28"±.06) | 152.4 (6.0") |
| BSP4000 | 4000 | 2000 | 1.73 | 1"VCR | 조합 패널 | 조합 패널 |
표에는 표준 모델의 지표와 구성만 기재되어 있습니다. 기타 특수 요구 사항은 별도로 문의해 주십시오.
상세 설명
작동 원리
P 시리즈는 촉매 흡착 기술로 상온에서 원료 가스의 불순물을 흡착제 표면에 붙잡습니다. 가열도 재생 가스도 필요 없어 설비가 작고 설치 비용이 낮으며, 공정 장비 앞의 사용점에 직접 배치하기에 알맞습니다. 「상온·상압」은 정제 작용 자체가 열로 구동되지 않는다는 뜻이지 통체가 대기압만 견딘다는 뜻이 아닙니다. 표준형의 최대 사용 압력은 1.73~6.9 MPa 이며, 더 높은 압력이 필요하면 고압형(BSP-HP)이 있습니다.제품 특징
・공장 반송 재생이 가능하며 주기는 1~2 년, 설비 수명은 20 년 이상 ・고정밀 필터 내장, 여과 정밀도 0.003 μm ・선택 가능 유량 범위 5~4000 SLPM ・가스원 품질 5N 이상을 전제로 H₂O, O₂, CO, CO₂, H₂, NMHC 를 < 1 ppb 까지 제거하며, 산·염기·난용성 화합물 제거도 제공 가능 ・연결 크기, 통체 길이, 패널 구성 모두 주문 제작 가능적용 가스
N₂, H₂, O₂, Ar, He, Kr, Ne, Xe, CDA, CH₄, CO₂, Cl₂, BF₃, HCl, GeCl₄, GeH₄, H₂S, H₂Se, HBr, SiHCl₃, SO₂ 등 서른 종이 넘는 특수 가스.적용 공정과 산업
POU 정제기의 가치는 「마지막 구간」에 있습니다. 대용량 가스가 공장 유틸리티에서 장비까지 오는 길에는 수십에서 수백 미터의 배관과 밸브, 피팅이 있고, 그 경로의 탈가스와 미세 누설, 데드레그 잔류물이 출하 시점에는 합격이던 가스를 다시 오염시킵니다. 장비 앞에 정제기를 두는 것은 불순물이 공정 챔버에 들어가기 전 마지막 방어선입니다. ・반도체 전공정: 에피택시, 식각, CVD/ALD 의 캐리어 가스와 퍼지 가스 ・화합물 반도체와 LED: MOCVD 캐리어 가스, 특수 가스 배관 ・디스플레이와 패널: 증착·봉지 공정의 불활성 가스 보호 ・분석 실험실: GC/GC-MS, ICP-MS 의 캐리어 가스와 연료 가스, 베이스라인 드리프트와 고스트 피크 방지 ・광섬유와 특수 소재: 프리폼 증착과 인선로의 보호 가스현장 배치와 설치 요점
・가능한 한 사용점에 가깝게 설치: 정제기와 장비 사이 배관이 길수록 재오염 가능성이 커집니다 ・앞단에 입자 여과 필요: 정제기에 0.003 μm 필터가 내장되어 있지만, 가스원 자체에 분진이나 오일 미스트가 있으면 전치 필터를 추가해 흡착제가 조기에 열화되지 않도록 하십시오 ・바이패스와 전후 차단 밸브 설치 권장: 교체나 공장 반송 재생 시 라인을 세우지 않아도 됩니다 ・입구와 출구를 반대로 연결하지 말 것: 통체에 가스 흐름 방향이 표시되어 있으며, 반대로 연결하면 포화된 쪽으로 신선한 가스가 들어갑니다 ・설치 후 정제 가스로 퍼지: 배관 공사 중 유입된 공기와 수분을 먼저 밀어내지 않으면 가동 초기 출구 품질이 기준에 이르기 어렵습니다 ・전원도 재생 가스도 필요 없다는 점이, 가열형이나 전자동형에 비해 이 시리즈가 설치 비용을 가장 크게 아끼는 부분입니다유지보수와 재생
・정상적인 가스원 조건에서 공장 반송 재생 주기는 1~2 년이며, 실제 수명은 가스원의 불순물 농도와 실사용량에 따라 달라집니다 ・흡착제는 포화 후 현장에서 분해하거나 폐기해서는 안 되며, 통째로 반송해 처리합니다 ・출구 측에 온라인 분석기(미량 수분 또는 미량 산소)를 두거나 정기 샘플링을 하십시오. 실측 데이터로 교체 시기를 판단하는 편이 사용 시간만 보는 것보다 훨씬 정확합니다 ・현장 계측기는 CDA/N₂ 출구의 H₂O 농도를 0.001~0.006 ppbV 수준까지 읽어내며, 검수와 일상 감시의 기준값으로 활용할 수 있습니다인접 기종과의 선택
| 기종 | 유량 | 전원 필요 | CH₄ / N₂ 제거 | 대표 용도 |
|---|---|---|---|---|
| BSP (본 기종) | 5–4000 SLPM | 불필요 | 불가 | 장비 앞 사용점 |
| BSP-HP | 100–1000 SLPM | 불필요 | 불가 | 고압 실린더 직공급, 감압 전 정제 |
| BSH 가열형 | 0.2–150 LPM | 필요 | 가능 | 소유량이지만 깊은 제거가 필요한 경우 |
| BSS14 대유량 상온형 | 100–5000 Nm³/h | 불필요 | 불가 | 유틸리티 측 임시 공급 또는 예비기 |
정제 가능 가스와 출구 순도 대조
가스와 불순물 조합마다 흡착 배합이 달라집니다. 선정 시 가스 종류, 유량, 정제 후 품질 요구를 함께 알려 주십시오.| 배합 | 적용 가스 | 제거 가능 불순물과 출구 순도 |
|---|---|---|
| 51 | AsH₃, PH₃ | H₂O < 1 ppbV; O₂ < 1 ppbV; 금속 < 1 ppbV |
| 23 | CDA, O₂, N₂, Ar, He, Kr, Ne, Xe, H₂, D₂, N₂O, NO, CF₄ | H₂O < 100 pptV; CO₂ < 100 pptV; 휘발성 산 < 1 pptV; 휘발성 염기 < 1 pptV; 유기물 < 1 pptV; 난용성 화합물 < 5 pptV; 금속 < 1 ppbV |
| 44 | CDA, O₂, N₂, Ar, He, Ne, Kr, Xe, H₂, CO₂, C₂H₆, C₃H₈, C₄H₁₀, C₂H₂, C₃H₆, C₂H₄, NH₃ | 응축성 유기물 (>C6) < 1 pptV; 비응축성 유기물 (>C3) < 5 pptV; 난용성 화합물 (as HMDSO) < 1 pptV; C₃H₇NO (DMF) < 100 pptV |
| 48 | CDA, O₂, N₂, Ar, He, Ne, Kr, Xe | H₂O < 100 pptV; 응축성 유기물 (as Toluene) < 1 pptV; 비응축성 유기물 (as Butane) < 5 pptV; 난용성 화합물 (as HMDSO) < 1 pptV; 휘발성 산 (as SO₂) < 1 pptV; 휘발성 염기 (as NH₃) < 10 pptV |
| 84 | CO₂ | H₂O < 1 ppbV; O₂ < 200 pptV; 휘발성 산 < 1 pptV; 휘발성 염기 < 1 pptV; 난용성 화합물 < 1 pptV; 응축성 유기물 < 1 pptV |
| 62 | CO | H₂O < 1 ppbV; O₂ < 1 ppbV; CO₂ < 1 ppbV |
| 61 | HBr | H₂O < 1 ppbV |
| 32 | B₂H₆, BCl₃, CClH₃, GeCl₄, GeH₄, H₂S, H₂Se, NF₃, SiCl₄, SiF₄, SiH₂Cl₂, SiHCl₃, SO₂, CHClF₂, BF₃ | H₂O < 1 ppbV; 금속 < 1 ppbV |
| 60 | HCl, Cl₂ | 탄화수소 (as Toluene) < 1 pptV; Fe / Ni / Mo / Cr / Mn < 14 pptV; H₂O < 15 ppbV |
| 22 | CDA, O₂, CO₂, N₂, Ar, He, Ne, Kr, Xe, H₂, D₂, NH₃, AsH₃, PH₃, GeH₄, SiH₄, N₂O, NO, CF₄, C₂H₂, (CH₃)₂NH (DMA), (CH₃)₂N₂H₂ (DMHz) | H₂O < 100 pptV |
| 94 | H₂, N₂, Ar, He, Ne, Kr, Xe, H₂/N₂, H₂/불활성 가스 혼합 | H₂O < 100 pptV; CO₂ < 100 pptV; O₂ < 250 pptV; CO < 1 ppbV; 휘발성 산 (as SO₂) < 1 pptV; 휘발성 염기 (as NH₃) < 10 pptV; CxHy (45–100 amu) < 10 pptV; CxHy (>100 amu) < 1 pptV; 난용성 화합물 (as HMDSO) < 1 pptV |
| 43 | N₂, Ar, He, Kr, Ne, Xe, H₂, CDA, O₂, CO₂ | 휘발성 산 < 1 pptV; 휘발성 염기 < 5 pptV; 유기물 < 1 pptV; 난용성 화합물 < 1 pptV; 금속 < 1 ppbV |
| 99 | H₂, O₂, N₂, Ar, He, Ne, Kr, Xe, H₂/N₂, H₂/불활성 가스 혼합 | H₂O, O₂, CO, CO₂ 모두 < 100 pptV |
| 95 | N₂, Ar, He, Kr, Ne, Xe, CF₄, CH₄, C₂H₆, C₃H₈, C₄H₁₀ | H₂O, O₂, CO, CO₂, H₂ 모두 < 100 pptV; 황화합물 < 1 ppbV |
| 72 | NH₃, C₂H₄, GeH₄, CSiH₆, C₂H₇N, C₃H₆, SF₆, H₂/SiH₄ 혼합, C₂H₈N₂, CH₃SiH₃, H₂/SiH₄ 혼합 | H₂O, O₂, CO₂ 모두 < 1 ppb; 유기물 (>C4) < 1 ppb; 금속 < 1 ppb |
| 82 | SiH₄ | H₂O, CO₂, O₂, CO, 황화합물 모두 < 1 ppb; 금속 제거 < 1 ppb |
