Thiết bị tinh chế khí
Thiết bị tinh chế khí POU nhiệt độ thường
Tổng quan sản phẩm
Thiết bị tinh chế dạng ống lắp ngay trước điểm sử dụng (Point of Use), dùng công nghệ hấp phụ xúc tác loại bỏ tạp chất vi lượng ở nhiệt độ và áp suất thường, độ tinh khiết đầu ra đạt mức ppb. Lưu lượng 5–4000 SLPM; kích thước kết nối, chiều dài thân và cấu hình panel đều có thể tùy chỉnh theo yêu cầu hiện trường.
Tính năng & Thông số kỹ thuật
Bảng thông số chọn model POU tiêu chuẩn
| Model | Lưu lượng tối đa (SLPM) | Lưu lượng danh định (SLPM) | Áp suất làm việc tối đa (MPa) | Kiểu kết nối | Chiều dài OAL (Face to Face) | Đường kính ống OD (mm) |
|---|---|---|---|---|---|---|
| BSP005 | 5 | 0.5 | 6.9 | 1/4"MVCR | 84.1 (3.31"±.03) | 38.1 (1.5") |
| BSP010 | 10 | 1.5 | 6.9 | 1/4"MVCR | 127 (5.00"±.03) | 38.1 (1.5") |
| BSP010A | 10 | 1.5 | 6.9 | 1/4"MVCR | 114.3 (4.50"±.03) | 38.1 (1.5") |
| BSP050 | 50 | 5 | 1.73 | 1/4"MVCR | 208.3 (8.20"±.03) | 50.8 (2.0") |
| BSP050A | 50 | 5 | 1.73 | 1/4"MVCR | 160 (6.30"±.03) | 50.8 (2.0") |
| BSP060 | 60 | 9 | 1.73 | 1/4"MVCR | 208.3 (8.20"±.03) | 76.2 (3.0") |
| BSP075 | 75 | 10 | 1.73 | 1/4"MVCR | 201.7 (7.94"±.03) | 76.2 (3.0") |
| BSP100 | 100 | 12 | 1.73 | 1/4"MVCR | 317.5 (12.50"±.03) | 50.8 (2.0") |
| BSP120 | 120 | 25 | 1.73 | 1/4"MVCR | 254 (10.00"±.03) | 76.2 (3.0") |
| BSP250 | 250 | 40 | 1.73 | 1/2"MVCR | 462.28 (18.20"±.03) | 76.2 (3.0") |
| BSP300 | 300 | 80 | 1.73 | 1/2"MVCR | 439.42 (17.3"±.06) | 101.6 (4.0") |
| BSP500 | 500 | 80 | 1.73 | 1/2"MVCR | 508 (20.00"±.06) | 101.6 (4.0") |
| BSP800 | 800 | 200 | 1.73 | 1/2"MVCR | 702 (27.64"±.06) | 152.4 (6.0") |
| BSP1000 | 1000 | 300 | 1.73 | 1/2"MVCR | 999.24 (39.34"±.06) | 152.4 (6.0") |
| BSP1500 | 1500 | 400 | 1.73 | 3/4"MVCR | 1134.4 (44.66"±.06) | 152.4 (6.0") |
| BSP2000 | 2000 | 1000 | 1.73 | 3/4"MVCR | 1290.32 (50.8"±.06) | 152.4 (6.0") |
| BSP2500 | 2500 | 1100 | 1.73 | 1"MVCR | 1302.4 (51.28"±.06) | 152.4 (6.0") |
| BSP4000 | 4000 | 2000 | 1.73 | 1"VCR | Panel tổ hợp | Panel tổ hợp |
Bảng chỉ liệt kê thông số và cấu hình của các model tiêu chuẩn. Vui lòng liên hệ với các yêu cầu đặc biệt.
Mô tả chi tiết
Nguyên lý hoạt động
Dòng P dùng công nghệ hấp phụ xúc tác để giữ tạp chất trong khí nguồn lên bề mặt chất hấp phụ ở nhiệt độ thường. Vì không cần gia nhiệt và không cần khí tái sinh, thiết bị nhỏ gọn, chi phí lắp đặt thấp, phù hợp lắp trực tiếp tại điểm sử dụng phía trước thiết bị công nghệ.Đặc điểm sản phẩm
・Có thể gửi về nhà máy tái sinh, chu kỳ 1–2 năm, tuổi thọ thiết bị trên 20 năm ・Tích hợp màng lọc độ chính xác cao, cấp lọc 0,003μm ・Dải lưu lượng 5–4000 SLPM ・Với chất lượng khí nguồn từ 5N trở lên, loại bỏ H₂O, O₂, CO, CO₂, H₂ và NMHC xuống < 1 ppb; cũng có thể xử lý axit, bazơ và hợp chất khó nóng chảy ・Kích thước kết nối, chiều dài thân và cấu hình panel đều tùy chỉnh đượcKhí áp dụng
N₂, H₂, O₂, Ar, He, Kr, Ne, Xe, CDA, CH₄, CO₂, Cl₂, BF₃, HCl, GeCl₄, GeH₄, H₂S, H₂Se, HBr, SiHCl₃, SO₂ và hơn ba mươi loại khí đặc biệt khác.Khí tinh chế được và độ tinh khiết đầu ra
Mỗi tổ hợp khí và tạp chất tương ứng một công thức hấp phụ khác nhau. Khi chọn model, vui lòng cung cấp loại khí, lưu lượng và yêu cầu chất lượng sau tinh chế.| Công thức | Khí áp dụng | Tạp chất loại bỏ được và độ tinh khiết đầu ra |
|---|---|---|
| 51 | AsH₃、PH₃ | H₂O < 1 ppbV; O₂ < 1 ppbV; kim loại < 1 ppbV |
| 23 | CDA、O₂、N₂、Ar、He、Kr、Ne、Xe、H₂、D₂、N₂O、NO、CF₄ | H₂O < 100 pptV; CO₂ < 100 pptV; axit bay hơi < 1 pptV; bazơ bay hơi < 1 pptV; chất hữu cơ < 1 pptV; hợp chất khó nóng chảy < 5 pptV; kim loại < 1 ppbV |
| 44 | CDA、O₂、N₂、Ar、He、Ne、Kr、Xe、H₂、CO₂、C₂H₆、C₃H₈、C₄H₁₀、C₂H₂、C₃H₆、C₂H₄、NH₃ | Chất hữu cơ ngưng tụ (>C6) < 1 pptV; chất hữu cơ không ngưng tụ (>C3) < 5 pptV; hợp chất khó nóng chảy (as HMDSO) < 1 pptV; C₃H₇NO (DMF) < 100 pptV |
| 48 | CDA、O₂、N₂、Ar、He、Ne、Kr、Xe | H₂O < 100 pptV; chất hữu cơ ngưng tụ (as Toluene) < 1 pptV; chất hữu cơ không ngưng tụ (as Butane) < 5 pptV; hợp chất khó nóng chảy (as HMDSO) < 1 pptV; axit bay hơi (as SO₂) < 1 pptV; bazơ bay hơi (as NH₃) < 10 pptV |
| 84 | CO₂ | H₂O < 1 ppbV; O₂ < 200 pptV; axit bay hơi < 1 pptV; bazơ bay hơi < 1 pptV; hợp chất khó nóng chảy < 1 pptV; chất hữu cơ ngưng tụ < 1 pptV |
| 62 | CO | H₂O < 1 ppbV; O₂ < 1 ppbV; CO₂ < 1 ppbV |
| 61 | HBr | H₂O < 1 ppbV |
| 32 | B₂H₆、BCl₃、CClH₃、GeCl₄、GeH₄、H₂S、H₂Se、NF₃、SiCl₄、SiF₄、SiH₂Cl₂、SiHCl₃、SO₂、CHClF₂、BF₃ | H₂O < 1 ppbV; kim loại < 1 ppbV |
| 60 | HCl、Cl₂ | Hydrocarbon (as Toluene) < 1 pptV; Fe / Ni / Mo / Cr / Mn < 14 pptV; H₂O < 15 ppbV |
| 22 | CDA、O₂、CO₂、N₂、Ar、He、Ne、Kr、Xe、H₂、D₂、NH₃、AsH₃、PH₃、GeH₄、SiH₄、N₂O、NO、CF₄、C₂H₂、(CH₃)₂NH (DMA)、(CH₃)₂N₂H₂ (DMHz) | H₂O < 100 pptV |
| 94 | H₂、N₂、Ar、He、Ne、Kr、Xe、H₂/N₂、H₂/hỗn hợp khí hiếm | H₂O < 100 pptV; CO₂ < 100 pptV; O₂ < 250 pptV; CO < 1 ppbV; axit bay hơi (as SO₂) < 1 pptV; bazơ bay hơi (as NH₃) < 10 pptV; CxHy (45–100 amu) < 10 pptV; CxHy (>100 amu) < 1 pptV; hợp chất khó nóng chảy (as HMDSO) < 1 pptV |
| 43 | N₂、Ar、He、Kr、Ne、Xe、H₂、CDA、O₂、CO₂ | Axit bay hơi < 1 pptV; bazơ bay hơi < 5 pptV; chất hữu cơ < 1 pptV; hợp chất khó nóng chảy < 1 pptV; kim loại < 1 ppbV |
| 99 | H₂、O₂、N₂、Ar、He、Ne、Kr、Xe、H₂/N₂、H₂/hỗn hợp khí hiếm | H₂O, O₂, CO và CO₂ đều < 100 pptV |
| 95 | N₂、Ar、He、Kr、Ne、Xe、CF₄、CH₄、C₂H₆、C₃H₈、C₄H₁₀ | H₂O, O₂, CO, CO₂ và H₂ đều < 100 pptV; hợp chất lưu huỳnh < 1 ppbV |
| 72 | NH₃、C₂H₄、GeH₄、CSiH₆、C₂H₇N、C₃H₆、SF₆、H₂/SiH₄、C₂H₈N₂、CH₃SiH₃ | H₂O, O₂ và CO₂ đều < 1 ppb; chất hữu cơ (>C4) < 1 ppb; kim loại < 1 ppb |
| 82 | SiH₄ | H₂O, CO₂, O₂, CO và hợp chất lưu huỳnh đều < 1 ppb; khử kim loại < 1 ppb |
