Thiết bị tinh chế khí
Thiết bị tinh chế khí gia nhiệt
Tổng quan sản phẩm
Thiết bị tinh chế lưu lượng nhỏ dùng hợp kim getter làm việc ở nhiệt độ cao. Khác với loại nhiệt độ thường chỉ dựa vào hấp phụ bề mặt, loại gia nhiệt tận dụng toàn bộ dung lượng thể tích của hợp kim nên hiệu suất khử tạp tốt hơn, đồng thời khử được CH₄ và N₂ mà loại nhiệt độ thường khó xử lý. Lưu lượng 0.2–150 LPM, có bản dạng tủ và bản gắn tường.
Tính năng & Thông số kỹ thuật
Bảng thông số chọn model
| Model | Lưu lượng tối đa (LPM) | Kiểu đầu nối | Chênh áp tối đa (MPa) |
|---|---|---|---|
| BSH001 | 0.2 | Đầu nối kẹp 1/8" | 0.05 |
| BSH003 | 5 | 1/4"VCR | 0.05 |
| BSH050 | 50 | 1/4"VCR | 0.05 |
| BSH075 | 75 | 1/4"VCR | 0.05 |
| BSH100 | 100 | 1/2"VCR | 0.05 |
| BSH150 | 150 | 1/2"VCR | 0.05 |
Có sẵn cả loại tủ và loại gắn tường. Bảng chỉ liệt kê chỉ tiêu và cấu hình của các model tiêu chuẩn; các yêu cầu đặc biệt khác vui lòng liên hệ.
Mô tả chi tiết
Khác biệt so với POU nhiệt độ thường
Thiết bị POU nhiệt độ thường chủ yếu dựa vào hấp phụ xúc tác, tác dụng xảy ra ở "bề mặt" chất hấp phụ. Loại gia nhiệt vận hành hợp kim getter ở nhiệt độ cao, huy động được toàn bộ dung lượng thể tích của hợp kim. Vì vậy với cùng thể tích, loại gia nhiệt có hiệu suất khử tạp cao hơn, tuổi thọ dài hơn, và khử được CH₄ cùng N₂ mà loại nhiệt độ thường không xử lý nổi. Cái giá phải trả là cần nguồn điện, cần thời gian gia nhiệt, và getter cố định tạp chất bằng phản ứng hóa học không thuận nghịch nên sau khi bão hòa không tái sinh được mà chỉ thay mới.Vì sao CH₄ và N₂ là ranh giới
Hơi ẩm, oxy và cacbon monoxit có tính phân cực hoặc tính phản ứng nên chất hấp phụ ở nhiệt độ thường vẫn giữ được. Metan là phân tử đối xứng không phân cực, còn phân tử nitơ có liên kết ba rất bền và cực kỳ ổn định về mặt hóa học — cả hai đều rất khó bị lớp hấp phụ chặn lại ở nhiệt độ thường. Muốn xử lý chúng phải dùng hợp kim getter ở nhiệt độ cao để phá vỡ phân tử và cố định thành hợp chất bền, và đó chính là lý do tồn tại của loại gia nhiệt.Đặc điểm sản phẩm
・Không cần gửi thiết bị về nhà máy — hết tuổi thọ thay trực tiếp cột getter tại hiện trường, vận hành không cần bảo trì ・Với chất lượng khí nguồn từ 5N trở lên, tuổi thọ cột getter đạt 3–5 năm hoặc hơn ・Dải lưu lượng lựa chọn 0.2–150 LPM ・Tích hợp các chức năng tự động: nguồn điện, nhiệt độ, cảnh báo hết tuổi thọ ・Khử H₂O, O₂, CO, CO₂, H₂, NMHC, N₂ và CH₄ xuống < 1 ppb; cũng có thể xử lý axit, bazơ và hợp chất khó nóng chảyKhí áp dụng
N₂, H₂, O₂, Ar, He, Xe, CDA, CO₂, CH₄ và tương tự.Quy trình và ngành áp dụng
・Phòng thí nghiệm phân tích: khí mang độ tinh khiết cao cho GC/GC-MS, ICP-MS, nơi metan và nitơ tồn dư đẩy đường nền lên trực tiếp ・MOCVD và epitaxy: khí mang lưu lượng nhỏ nhưng yêu cầu CH₄, N₂ rất ngặt ・Buồng găng tay và môi trường trơ: duy trì oxy và hơi ẩm ở mức ppb ・Vật liệu đặc biệt và quang điện: khí bảo vệ cho lò phản ứng nhỏ và lò thiêu kết ・Đường ống khí tích hợp trong máy: nhỏ gọn và gắn tường được nên dễ bố trí vào khoang khí sẵn có của máyBố trí hiện trường và lưu ý lắp đặt
・Tính trước thời gian gia nhiệt: getter chỉ có khả năng khử tạp khi đạt nhiệt độ làm việc, nên sau khởi động phải chờ hệ thống lên nhiệt và đầu ra ổn định rồi mới đưa khí công nghệ vào ・Chênh áp tối đa 0.05 MPa: đây là giới hạn tổn thất áp qua thiết bị, phải đưa vào cân đối áp suất khi thiết kế đường ống, nếu không phía sau có thể thiếu áp cấp ・Chọn bản dạng tủ hay gắn tường: bản gắn tường tiết kiệm diện tích sàn, phù hợp đặt cạnh máy; bản dạng tủ tiện quản lý và bảo trì tập trung ・Nguồn điện và tản nhiệt: thân máy làm việc ở nhiệt độ cao nên vị trí lắp phải có khoảng trống tản nhiệt, tránh vật dễ cháy và lối đi người thường qua lại ・Nên bố trí đường bypass: khi thay cột getter vẫn duy trì được cấp khí độ tinh khiết thấp hơn, không phải dừng cả chuyềnBảo trì và tái sinh
・Cột getter là vật tư tiêu hao, sau khi bão hòa thay trực tiếp tại hiện trường, không cần gửi về nhà máy ・Với chất lượng khí nguồn từ 5N trở lên, tuổi thọ khoảng 3–5 năm; khí nguồn càng bẩn tuổi thọ càng ngắn, nên chu kỳ thay thực tế căn cứ vào cảnh báo tuổi thọ và phân tích đầu ra ・Chức năng cảnh báo tuổi thọ tích hợp sẽ báo khi gần hết, nhưng vẫn nên kết hợp phân tích đầu ra để xác nhận ・Cột getter đã tháo chứa hợp chất sau phản ứng, phải xử lý theo quy định chất thải, không được vứt bỏ tùy tiệnSo sánh với các model lân cận
| Model | Lưu lượng | Khử CH₄ / N₂ | Xử lý vật tư tiêu hao | Cần điện |
|---|---|---|---|---|
| BSH (model này) | 0.2–150 LPM | Có | Thay cột getter tại hiện trường | Có |
| BSP POU nhiệt độ thường | 5–4000 SLPM | Không | Gửi về nhà máy tái sinh | Không |
| BSS5-G / BSS7-G | 10–300 Nm³/h | Có | Thay bình getter tại hiện trường | Có |
