เครื่องทำก๊าซบริสุทธิ์
เครื่องทำบริสุทธิ์ก๊าซแบบให้ความร้อน
รายละเอียดสินค้า
เครื่องทำบริสุทธิ์อัตราการไหลต่ำที่ใช้ getter โลหะผสมทำงานที่อุณหภูมิสูง ต่างจากแบบอุณหภูมิปกติที่อาศัยการดูดซับที่ผิวเพียงอย่างเดียว แบบให้ความร้อนใช้ความจุเชิงปริมาตรทั้งก้อนของโลหะผสม จึงกำจัดสิ่งเจือปนได้มีประสิทธิภาพกว่า และกำจัด CH₄ กับ N₂ ที่แบบอุณหภูมิปกติจัดการไม่ได้ อัตราการไหล 0.2–150 LPM มีทั้งแบบตู้และแบบติดผนัง
คุณสมบัติและข้อมูลจำเพาะ
ตารางพารามิเตอร์เลือกรุ่น
| รุ่น | อัตราการไหลสูงสุด (LPM) | รูปแบบข้อต่อ | ความดันแตกต่างสูงสุด (MPa) |
|---|---|---|---|
| BSH001 | 0.2 | ข้อต่อคอมเพรสชัน 1/8" | 0.05 |
| BSH003 | 5 | 1/4"VCR | 0.05 |
| BSH050 | 50 | 1/4"VCR | 0.05 |
| BSH075 | 75 | 1/4"VCR | 0.05 |
| BSH100 | 100 | 1/2"VCR | 0.05 |
| BSH150 | 150 | 1/2"VCR | 0.05 |
มีให้เลือกทั้งแบบตู้และแบบติดผนัง ตารางแสดงเฉพาะสเปกและการกำหนดค่าของรุ่นมาตรฐาน หากมีความต้องการพิเศษอื่น ๆ โปรดติดต่อสอบถาม
คำอธิบายโดยละเอียด
ต่างจาก POU อุณหภูมิปกติอย่างไร
เครื่อง POU อุณหภูมิปกติอาศัยการดูดซับเชิงเร่งปฏิกิริยาเป็นหลัก ซึ่งเกิดขึ้นที่ "ผิว" ของสารดูดซับ ส่วนแบบให้ความร้อนเดินเครื่อง getter โลหะผสมที่อุณหภูมิสูง จึงใช้ความจุเชิงปริมาตรของโลหะผสมได้ทั้งก้อน ที่ขนาดเท่ากัน แบบให้ความร้อนจึงกำจัดสิ่งเจือปนได้ดีกว่าและอายุยาวกว่า อีกทั้งจัดการ CH₄ และ N₂ ที่แบบอุณหภูมิปกติทำไม่ได้ สิ่งที่ต้องแลกคือ ต้องใช้ไฟฟ้า ต้องมีเวลาอุ่นเครื่อง และ getter ตรึงสิ่งเจือปนด้วยปฏิกิริยาเคมีที่ย้อนกลับไม่ได้ เมื่ออิ่มตัวแล้วจึงรีเจนไม่ได้ ทำได้เพียงเปลี่ยนใหม่ทำไม CH₄ กับ N₂ จึงเป็นเส้นแบ่ง
ความชื้น ออกซิเจน และคาร์บอนมอนอกไซด์มีขั้วหรือมีความว่องไวต่อปฏิกิริยา สารดูดซับที่อุณหภูมิห้องจึงจับได้ ส่วนมีเทนเป็นโมเลกุลสมมาตรไม่มีขั้ว และโมเลกุลไนโตรเจนมีพันธะสามที่แข็งแรงมากจนเสถียรทางเคมีอย่างยิ่ง ทั้งคู่จึงถูกชั้นดูดซับที่อุณหภูมิห้องดักได้ยาก การจะจัดการกับมันต้องใช้ getter โลหะผสมที่อุณหภูมิสูงเพื่อสลายโมเลกุลและตรึงไว้เป็นสารประกอบเสถียร และนั่นคือเหตุผลที่แบบให้ความร้อนมีอยู่จุดเด่นของผลิตภัณฑ์
・ไม่ต้องส่งเครื่องกลับโรงงาน เมื่อหมดอายุเปลี่ยนแท่ง getter ที่หน้างานได้เลย ใช้งานแบบไม่ต้องบำรุงรักษา ・เมื่อคุณภาพแหล่งก๊าซตั้งแต่ 5N ขึ้นไป อายุแท่ง getter อยู่ที่ 3–5 ปีหรือมากกว่า ・เลือกอัตราการไหลได้ตั้งแต่ 0.2 ถึง 150 LPM ・มีระบบควบคุมอัตโนมัติในตัวสำหรับไฟฟ้า อุณหภูมิ และการเตือนหมดอายุ ・กำจัด H₂O, O₂, CO, CO₂, H₂, NMHC, N₂ และ CH₄ ได้ถึง < 1 ppb อีกทั้งยังรองรับการกำจัดกรด ด่าง และสารประกอบทนไฟก๊าซที่ใช้ได้
N₂, H₂, O₂, Ar, He, Xe, CDA, CO₂, CH₄ และอื่น ๆ ในลักษณะเดียวกันกระบวนการและอุตสาหกรรมที่ใช้งาน
・ห้องปฏิบัติการวิเคราะห์: ก๊าซพาความบริสุทธิ์สูงสำหรับ GC/GC-MS และ ICP-MS ซึ่งมีเทนและไนโตรเจนตกค้างจะดันเส้นฐานขึ้นโดยตรง ・MOCVD และอิพิแทกซี: ก๊าซพาอัตราไหลต่ำแต่มีข้อกำหนด CH₄ และ N₂ เข้มงวด ・กล่องถุงมือและสภาพแวดล้อมเฉื่อย: รักษาออกซิเจนและความชื้นไว้ที่ระดับ ppb ・วัสดุพิเศษและออปโตอิเล็กทรอนิกส์: ก๊าซป้องกันสำหรับเตาปฏิกรณ์ขนาดเล็กและเตาซินเตอร์ ・ท่อก๊าซที่ติดตั้งในตัวเครื่องจักร: ขนาดเล็กและติดผนังได้ จึงแทรกเข้าไปในพื้นที่จ่ายก๊าซเดิมของเครื่องได้ง่ายการจัดวางหน้างานและข้อควรระวังในการติดตั้ง
・เผื่อเวลาอุ่นเครื่อง: getter จะกำจัดสิ่งเจือปนได้ก็ต่อเมื่อถึงอุณหภูมิทำงาน หลังเปิดเครื่องจึงต้องรอให้ระบบขึ้นอุณหภูมิและทางออกนิ่งก่อนจึงนำก๊าซกระบวนการเข้า ・ความดันแตกต่างสูงสุด 0.05 MPa: นี่คือขีดจำกัดความดันตกคร่อมเครื่องที่ยอมรับได้ ต้องนำไปคิดในงบประมาณความดันของการออกแบบท่อ มิฉะนั้นความดันจ่ายด้านท้ายอาจไม่พอ ・เลือกแบบตู้หรือแบบติดผนัง: แบบติดผนังประหยัดพื้นที่พื้นและเหมาะวางข้างเครื่องจักร ส่วนแบบตู้สะดวกต่อการจัดการและบำรุงรักษาแบบรวมศูนย์ ・ไฟฟ้าและการระบายความร้อน: ตัวเครื่องทำงานที่อุณหภูมิสูง ตำแหน่งติดตั้งจึงต้องเว้นที่ระบายความร้อน และหลีกเลี่ยงวัสดุติดไฟกับเส้นทางที่คนเดินผ่านบ่อย ・แนะนำให้ติดตั้งท่อบายพาส: ขณะเปลี่ยนแท่ง getter ยังจ่ายก๊าซความบริสุทธิ์ต่ำกว่าได้ ไม่ต้องหยุดทั้งไลน์การบำรุงรักษาและการรีเจน
・แท่ง getter เป็นวัสดุสิ้นเปลือง เมื่ออิ่มตัวเปลี่ยนที่หน้างานได้เลย ไม่ต้องส่งกลับโรงงาน ・เมื่อคุณภาพแหล่งก๊าซตั้งแต่ 5N ขึ้นไป อายุประมาณ 3–5 ปี ก๊าซยิ่งสกปรกอายุยิ่งสั้น รอบการเปลี่ยนจริงจึงยึดตามการเตือนหมดอายุและการวิเคราะห์ทางออก ・ฟังก์ชันเตือนหมดอายุในตัวจะแจ้งเมื่อใกล้จุดสิ้นสุด แต่ยังแนะนำให้ยืนยันด้วยการวิเคราะห์ที่ทางออก ・แท่ง getter ที่ถอดออกมามีสารประกอบหลังทำปฏิกิริยา ต้องจัดการตามระเบียบของเสีย ห้ามทิ้งตามอำเภอใจเลือกอย่างไรระหว่างรุ่นใกล้เคียง
| รุ่น | อัตราการไหล | กำจัด CH₄ / N₂ | การจัดการวัสดุสิ้นเปลือง | ต้องใช้ไฟฟ้า |
|---|---|---|---|---|
| BSH (รุ่นนี้) | 0.2–150 LPM | ได้ | เปลี่ยนแท่ง getter ที่หน้างาน | ใช่ |
| BSP POU อุณหภูมิปกติ | 5–4000 SLPM | ไม่ได้ | ส่งกลับโรงงานเพื่อรีเจน | ไม่ |
| BSS5-G / BSS7-G | 10–300 Nm³/h | ได้ | เปลี่ยนถัง getter ที่หน้างาน | ใช่ |
