氣體純化器
加熱型氣體純化器
產品概述
以合金吸氣劑（Getter）在高溫下工作的小流量純化器。相較於只靠表面吸附的常溫型，加熱型能利用整個合金的體積容量，除雜效率更佳，並且可去除常溫型難以處理的 CH₄ 與 N₂。流量 0.2～150 LPM，提供櫃體式與壁掛式兩種型式。
產品特性
選型參數表
| 型號 | 最大流量 (LPM) | 接口形式 | 最大壓差 (MPa) |
|---|---|---|---|
| BSH001 | 0.2 | 1/8" 卡套接頭 | 0.05 |
| BSH003 | 5 | 1/4"VCR | 0.05 |
| BSH050 | 50 | 1/4"VCR | 0.05 |
| BSH075 | 75 | 1/4"VCR | 0.05 |
| BSH100 | 100 | 1/2"VCR | 0.05 |
| BSH150 | 150 | 1/2"VCR | 0.05 |
櫃體式與壁掛式皆可供應。表列為標準型號的指標與配置，其他特殊需求可另行洽詢。
詳細說明
與常溫 POU 的差異
常溫 POU 純化器主要依靠催化吸附，作用發生在吸附劑「表面」；加熱型則以合金吸氣劑在高溫下工作，能用到整個合金的體積容量。因此在相同體積下，加熱型的除雜效率更高、使用壽命更長，並且能去除常溫型處理不了的 CH₄ 與 N₂。 代價是需要供電、需要升溫時間，而且吸氣劑是以不可逆的化學反應固定雜質，飽和後不能再生、只能更換。為什麼 CH₄ 和 N₂ 是分水嶺
水氣、氧、一氧化碳這類分子有極性或反應性，常溫吸附劑就抓得住。甲烷是非極性的對稱分子，氮分子有很強的三鍵、化學上非常穩定 —— 兩者在常溫下都很難被吸附床攔截。要處理它們，得靠高溫下的合金吸氣劑把分子拆開並固定成穩定化合物，這就是加熱型存在的理由。產品特點
・設備無須返廠，壽命到期直接現場更換吸氣柱（GETTER），免維護操作 ・在氣源品質 ≥ 5N 的條件下，吸氣柱壽命可達 3～5 年以上 ・可選流量 0.2～150 LPM ・內建電源、溫度、壽命預警等自控功能 ・可去除 H₂O、O₂、CO、CO₂、H₂、NMHC、N₂、CH₄ 等雜質至 < 1 ppb；亦可提供酸、鹼與難熔化合物的去除適用氣體
N₂、H₂、O₂、Ar、He、Xe、CDA、CO₂、CH₄ 等。適用製程與產業
・分析實驗室：GC／GC-MS、ICP-MS 的高純載氣，甲烷與氮殘留會直接推高基線 ・MOCVD 與磊晶：小流量但對 CH₄、N₂ 要求嚴格的載氣 ・手套箱與惰性環境：維持箱內氧與水氣在 ppb 等級 ・特殊材料與光電：小型反應爐、燒結爐的保護氣 ・機台內建氣體管路：體積小、可壁掛，容易塞進既有機台的配氣空間現場配置與安裝要點
・預留升溫時間：吸氣劑需達到工作溫度才有除雜能力，開機後要等系統到溫、出口穩定再導入製程 ・最大壓差 0.05 MPa：這是允許的跨機壓損上限，管路設計時要把它算進壓力預算，否則下游可能供壓不足 ・櫃體式與壁掛式擇一：壁掛式省地面空間、適合機台旁；櫃體式便於集中管理與維護 ・電源與散熱：本體工作溫度高，安裝位置要留散熱空間，並避開易燃物與人員經常碰觸的路徑 ・建議配旁通管路：更換吸氣柱時仍可維持低純度供氣，不必整線停機維護與再生
・吸氣柱屬於消耗品，飽和後現場直接更換，不需返廠 ・氣源品質 ≥ 5N 時壽命約 3～5 年；氣源愈髒、壽命愈短，實際更換週期以壽命預警與出口分析為準 ・機台內建的壽命預警功能會在接近終點時提示，但仍建議搭配出口端分析確認 ・更換下來的吸氣柱含反應後的化合物，須依廢棄物規範處理，不可隨意丟棄與相鄰機種怎麼選
| 機種 | 流量 | 可否去除 CH₄／N₂ | 耗材處理 | 是否需要電力 |
|---|---|---|---|---|
| BSH（本機種） | 0.2–150 LPM | 可 | 現場更換吸氣柱 | 是 |
| BSP 常溫 POU | 5–4000 SLPM | 否 | 返廠再生 | 否 |
| BSS5-G／BSS7-G | 10–300 Nm³/h | 可 | 現場更換吸氣桶 | 是 |
