氣體純化器
高壓氣體純化器
產品概述
最大工作壓力可達 240 Bar（24 MPa）的高壓純化器，涵蓋吸附自動再生型與吸氣（Getter）型兩類，適用氣體包含 N₂、H₂ 與 Ar、He、Kr、Ne、Xe 等稀有氣體，流量 10～100 Nm³/h，可實現無人看守自動運行。
產品特性
指標表
| 設備型號 | 工藝氣體 | 流量範圍 (Nm³/h) | 最大工作壓力 (MPa) | 可去除雜質 |
|---|---|---|---|---|
| BSS8-H | N₂ | 10–100 | 24 | H₂O、O₂、CO、CO₂、H₂、NMHC < 1 ppb |
| BSS5-A-H | Ar、He、Kr、Ne、Xe | 10–100 | 24 | H₂O、O₂、CO、CO₂、H₂、NMHC < 1 ppb |
| BSS5-G-H | Ar、He、Kr、Ne、Xe | 10–100 | 24 | H₂O、O₂、CO、CO₂、H₂、THC < 1 ppb |
| BSS9-G-H | N₂ | 10–100 | 24 | H₂O、O₂、CO、CO₂、H₂、THC < 1 ppb |
| BSS7-G-H | H₂ | 10–100 | 24 | H₂O、O₂、CO、CO₂、N₂、THC < 1 ppb |
表列為標準型號的指標與配置，其他特殊需求可另行洽詢。
