氣體純化器
高壓 POU 氣體純化器
產品概述
POU 管式純化器的高壓型，最大工作壓力達 18 MPa（HP）與 24 MPa（SP），適用於高壓鋼瓶供氣、高壓製程或需在減壓前先行純化的場合，出口純度同樣可達 ppb 級。
產品特性
高壓 POU 選型參數表
| 型號 | 最大流量 (SLPM) | 最大工作壓力 (MPa) | 接口形式 | 長度 OAL (Face to Face) | 管徑 OD (mm) |
|---|---|---|---|---|---|
| BSP100-HP | 100 | 18 | 1/4"MVCR | 15.55"±0.03 | 60 |
| BSP100-SP | 100 | 24 | 1/4"MVCR | 15.63"±0.03 | 60 |
| BSP250-HP | 250 | 18 | 1/4"MVCR | 19.88"±0.03 | 102 |
| BSP250-SP | 250 | 24 | 1/4"MVCR | 20.04"±0.03 | 102 |
| BSP500-HP | 500 | 18 | 1/2"MVCR | 22.95"±0.03 | 133 |
| BSP500-SP | 500 | 24 | 1/2"MVCR | 23.19"±0.03 | 133 |
| BSP1000-HP | 1000 | 18 | 1/2"MVCR | 42.09"±0.06 | 180 |
| BSP1000-SP | 1000 | 24 | 1/2"MVCR | 45.55"±0.06 | 180 |
表列為標準型號的指標與配置，其他特殊需求可另行洽詢。
詳細說明
適用情境
一般 POU 純化器的最大工作壓力多在 1.73 MPa 附近，遇到高壓鋼瓶直供、高壓載氣或製程要求在減壓閥前先完成純化時並不適用。高壓型以加厚筒身與高壓等級接頭，將工作壓力提升到 18 MPa（HP）或 24 MPa（SP）。為什麼要在減壓前純化
同樣的雜質質量，在高壓側的體積濃度較低、氣體密度較高，吸附床的單位處理效率比較好；更重要的是減壓閥本身就是一個潛在污染源 —— 閥座材質脫氣、動作時的微粒脫落都發生在減壓段。把純化器放在減壓前，等於連減壓段之後的管路一起保護不到；放在減壓後則失去高壓側的效率。實務上兩種配置都有人用，取決於污染源在哪一段，選型時請一併說明現場的管路順序。型號後綴說明
・HP：高壓型，最大工作壓力 18 MPa ・SP：超高壓型，最大工作壓力 24 MPa產品特點
・常溫催化吸附，無需加熱、無需再生氣源 ・內建高精度過濾器，過濾精度 0.003μm ・可返廠再生，設備壽命 20 年以上 ・雜質去除能力與同流量的標準 POU 一致（H₂O、O₂、CO、CO₂、H₂、NMHC < 1 ppb，氣源品質 ≥ 5N）適用氣體
N₂、H₂、O₂、Ar、He、Kr、Ne、Xe、CDA、CH₄、CO₂ 等大宗氣體與多種特殊氣體。適用製程與產業
・鋼瓶／集束瓶（Bundle）直供的載氣系統，不經廠務主幹直接進機台 ・高壓製程用氣：部分沉積、退火與加壓腔體 ・氣體充填與分裝站：在充填前先把氣源品質拉高 ・研究機構與試量產線：管路短、用量小，直接從高壓源取氣現場配置與安裝要點
・壓力等級要全鏈一致：純化器升到 18／24 MPa 後，前後的管件、閥件與撓性管都必須是同等級，不可只換純化器 ・設置洩壓與排氣路徑：高壓段必須有安全洩壓，且排氣要導到安全位置 ・接頭鎖固扭力依規範：MVCR 面密封在高壓下對扭力與墊片狀態更敏感，重複拆裝時應更換墊片 ・安裝後做保壓測試：以惰性氣體加壓靜置，確認無壓降再導入製程氣 ・與標準型一樣不需要電力與再生氣源維護與再生
返廠再生的邏輯與標準 POU 相同，間隔 1～2 年。差別在於拆裝作業必須先完整洩壓並確認壓力歸零，不可在殘壓狀態下鬆開接頭。與相鄰機種怎麼選
| 機種 | 最大工作壓力 | 流量 | 適用場合 |
|---|---|---|---|
| BSP-HP（本機種） | 18 MPa（HP）／24 MPa（SP） | 100–1000 SLPM | 高壓鋼瓶直供、減壓前純化 |
| BSP 標準型 | 1.73–6.9 MPa | 5–4000 SLPM | 一般廠務供氣後的用氣點 |
| BSS-HP 高壓型 | 24 MPa（240 Bar） | 10–100 Nm³/h | 大流量高壓、需全自動再生 |
