ガス精製装置
高圧 POU ガス精製装置
製品概要
インライン POU 精製装置の高圧型で、最高使用圧力は 18 MPa（HP）および 24 MPa（SP）です。高圧ボンベからの直接供給、高圧プロセス、あるいは減圧前に精製が必要な場合に適し、出口純度は同様に ppb レベルに達します。
特長・仕様
高圧 POU 選定パラメータ表
| 型番 | 最大流量 (SLPM) | 最高使用圧力 (MPa) | 継手形式 | 全長 OAL (Face to Face) | 管径 OD (mm) |
|---|---|---|---|---|---|
| BSP100-HP | 100 | 18 | 1/4"MVCR | 15.55"±0.03 | 60 |
| BSP100-SP | 100 | 24 | 1/4"MVCR | 15.63"±0.03 | 60 |
| BSP250-HP | 250 | 18 | 1/4"MVCR | 19.88"±0.03 | 102 |
| BSP250-SP | 250 | 24 | 1/4"MVCR | 20.04"±0.03 | 102 |
| BSP500-HP | 500 | 18 | 1/2"MVCR | 22.95"±0.03 | 133 |
| BSP500-SP | 500 | 24 | 1/2"MVCR | 23.19"±0.03 | 133 |
| BSP1000-HP | 1000 | 18 | 1/2"MVCR | 42.09"±0.06 | 180 |
| BSP1000-SP | 1000 | 24 | 1/2"MVCR | 45.55"±0.06 | 180 |
表は標準型番の指標と構成のみを示しています。その他の特殊仕様についてはお問い合わせください。
詳細説明
適用場面
一般的な POU 精製装置の最高使用圧力は 1.73 MPa 前後で、高圧ボンベの直接供給、高圧キャリアガス、あるいは減圧弁の前で精製を完了させる必要があるプロセスには対応できません。高圧型は筒体を肉厚化し高圧等級の継手を用いることで、使用圧力を 18 MPa（HP）または 24 MPa（SP）まで引き上げています。減圧前に精製する理由
同じ不純物質量でも、高圧側では体積濃度が低くガス密度が高いため、吸着床の単位体積あたりの処理効率が良くなります。さらに重要なのは、減圧弁そのものが潜在的な汚染源であることです。弁座材の脱ガス、作動時の微粒子脱落はいずれも減圧部で発生します。精製装置を減圧前に置くと減圧以降の配管は保護できず、減圧後に置くと高圧側の効率が得られません。実務ではどちらの構成も用いられ、汚染源がどの区間にあるかで決まりますので、選定時は現場の配管順序も併せてお知らせください。型番サフィックスの意味
・HP：高圧型、最高使用圧力 18 MPa ・SP：超高圧型、最高使用圧力 24 MPa製品特長
・常温触媒吸着方式で、加熱も再生ガスも不要 ・高精度フィルター内蔵、ろ過精度 0.003 μm ・工場返送による再生が可能、装置寿命 20 年以上 ・不純物除去能力は同流量の標準 POU と同等（ガス源品質 5N 以上で H₂O、O₂、CO、CO₂、H₂、NMHC < 1 ppb）適用ガス
N₂、H₂、O₂、Ar、He、Kr、Ne、Xe、CDA、CH₄、CO₂ などの大口ガスと各種特殊ガス。適用プロセスと業界
・ボンベやカードル（バンドル）から直接供給し、ユーティリティ幹線を経由せずに装置へ送るキャリアガス系統 ・高圧プロセス用ガス：一部の堆積、アニール、加圧チャンバー ・ガス充填・分装ステーション：充填前にガス源品質を引き上げる用途 ・研究機関とパイロットライン：配管が短く使用量が少なく、高圧源から直接採取する場合現場配置と設置のポイント
・圧力等級は系統全体で揃える：精製装置を 18／24 MPa にした後は、前後の配管部品、バルブ、フレキ管もすべて同等級である必要があり、精製装置だけを交換することはできません ・放圧と排気経路の確保：高圧部には必ず安全放圧を設け、排気は安全な位置へ導いてください ・継手の締付トルクは規定どおりに：MVCR のメタル面シールは高圧下でトルクとガスケット状態により敏感になります。再分解時はガスケットを交換してください ・設置後は保圧試験を実施：不活性ガスで加圧して静置し、圧力降下がないことを確認してからプロセスガスを導入してください ・標準型と同様に電源も再生ガスも不要ですメンテナンスと再生
工場返送再生の考え方は標準 POU と同じで、間隔は 1～2 年です。違いは、分解作業の前に完全に放圧し圧力がゼロであることを確認しなければならない点です。残圧のある状態で継手を緩めることは絶対に避けてください。近い機種との選び分け
| 機種 | 最高使用圧力 | 流量 | 適用場面 |
|---|---|---|---|
| BSP-HP（本機種） | 18 MPa（HP）／24 MPa（SP） | 100–1000 SLPM | 高圧ボンベ直供給、減圧前の精製 |
| BSP 標準型 | 1.73–6.9 MPa | 5–4000 SLPM | ユーティリティ供給後の使用点 |
| BSS-HP 高圧型 | 24 MPa（240 Bar） | 10–100 Nm³/h | 大流量高圧、全自動再生が必要な場合 |
