ガス精製装置
加熱型ガス精製装置
製品概要
合金ゲッターを高温で作動させる小流量精製装置です。表面吸着のみに依存する常温型と異なり、加熱型は合金の体積容量全体を活用するため除去効率が高く、常温型では処理しにくい CH₄ と N₂ も除去できます。流量は 0.2～150 LPM で、キャビネット型と壁掛型をご用意しています。
特長・仕様
選定パラメータ表
| 型番 | 最大流量 (LPM) | 継手形式 | 最大差圧 (MPa) |
|---|---|---|---|
| BSH001 | 0.2 | 1/8" スウェージ継手 | 0.05 |
| BSH003 | 5 | 1/4"VCR | 0.05 |
| BSH050 | 50 | 1/4"VCR | 0.05 |
| BSH075 | 75 | 1/4"VCR | 0.05 |
| BSH100 | 100 | 1/2"VCR | 0.05 |
| BSH150 | 150 | 1/2"VCR | 0.05 |
キャビネット型・壁掛型のいずれも供給可能です。表は標準型番の指標と構成のみを示しています。その他の特殊仕様についてはお問い合わせください。
詳細説明
常温 POU との違い
常温 POU 精製装置は主に触媒吸着に依存し、作用は吸着剤の「表面」で起こります。加熱型は合金ゲッターを高温で作動させ、合金の体積容量全体を使えます。したがって同じ体積であれば加熱型のほうが除去効率が高く寿命も長く、常温型では処理できない CH₄ と N₂ も除去できます。 その代償として、電源が必要で昇温時間がかかり、またゲッターは不可逆的な化学反応で不純物を固定するため、飽和後は再生できず交換のみとなります。CH₄ と N₂ が分水嶺になる理由
水分、酸素、一酸化炭素は極性または反応性があるため、常温の吸着剤でも捕捉できます。メタンは非極性の対称分子であり、窒素分子は非常に強い三重結合を持ち化学的に極めて安定しているため、いずれも常温では吸着床で捕らえにくい不純物です。これらを処理するには高温下の合金ゲッターで分子を分解し安定な化合物として固定する必要があり、それが加熱型の存在理由です。製品特長
・装置の返送は不要。寿命到達時は現場でゲッター筒を直接交換でき、メンテナンスフリー運用が可能 ・ガス源品質 5N 以上の条件でゲッター筒の寿命は 3～5 年以上 ・選択可能な流量 0.2～150 LPM ・電源、温度、寿命予告などの自動制御機能を内蔵 ・H₂O、O₂、CO、CO₂、H₂、NMHC、N₂、CH₄ を < 1 ppb まで除去。酸・塩基・難溶融化合物の除去にも対応適用ガス
N₂、H₂、O₂、Ar、He、Xe、CDA、CO₂、CH₄ など。適用プロセスと業界
・分析ラボ：GC／GC-MS、ICP-MS の高純度キャリアガス。メタンと窒素の残留はベースラインを直接押し上げます ・MOCVD とエピタキシャル：小流量ながら CH₄、N₂ の要求が厳しいキャリアガス ・グローブボックスと不活性環境：箱内の酸素と水分を ppb レベルに維持 ・特殊材料と光電：小型反応炉、焼結炉の保護ガス ・装置内蔵のガス配管：小型で壁掛可能なため、既存装置のガスボックス空間に収まりやすい現場配置と設置のポイント
・昇温時間を見込む：ゲッターは作動温度に達して初めて除去能力を発揮します。起動後はシステムが所定温度に達し出口が安定してからプロセスガスを導入してください ・最大差圧 0.05 MPa：装置を跨ぐ許容圧力損失の上限です。配管設計の圧力収支に組み込まないと、下流の供給圧力が不足するおそれがあります ・キャビネット型と壁掛型の選択：壁掛型は床面積を節約でき装置横に適し、キャビネット型は集中管理とメンテナンスに便利です ・電源と放熱：本体は高温で作動するため、設置場所には放熱スペースを確保し、可燃物や人が頻繁に触れる動線を避けてください ・バイパス配管の設置を推奨：ゲッター筒の交換中も低純度での供給を維持でき、ライン全体を停止せずに済みますメンテナンスと再生
・ゲッター筒は消耗品で、飽和後は現場で直接交換します。返送は不要です ・ガス源品質 5N 以上で寿命は約 3～5 年。ガス源が汚れているほど寿命は短くなるため、実際の交換周期は寿命予告と出口分析で判断してください ・装置内蔵の寿命予告機能は終点が近づくと通知しますが、出口側の分析による確認も併せて推奨します ・取り外したゲッター筒は反応後の化合物を含むため、廃棄物規則に従って処理し、無造作に廃棄しないでください近い機種との選び分け
| 機種 | 流量 | CH₄／N₂ の除去 | 消耗品の扱い | 電源要否 |
|---|---|---|---|---|
| BSH（本機種） | 0.2–150 LPM | 可能 | 現場でゲッター筒を交換 | 必要 |
| BSP 常温 POU | 5–4000 SLPM | 不可 | 工場返送再生 | 不要 |
| BSS5-G／BSS7-G | 10–300 Nm³/h | 可能 | 現場でゲッター塔を交換 | 必要 |
