加熱型氣體純化器

製品概要

以合金吸氣劑（Getter）在高溫下工作的小流量純化器。相較於只靠表面吸附的常溫型，加熱型能利用整個合金的體積容量，除雜效率更佳，並且可去除常溫型難以處理的 CH₄ 與 N₂。流量 0.2～150 LPM，提供櫃體式與壁掛式兩種型式。

特長・仕様

選型參數表

型號	最大流量 (LPM)	接口形式	最大壓差 (MPa)
BSH001	0.2	1/8" 卡套接頭	0.05
BSH003	5	1/4"VCR	0.05
BSH050	50	1/4"VCR	0.05
BSH075	75	1/4"VCR	0.05
BSH100	100	1/2"VCR	0.05
BSH150	150	1/2"VCR	0.05

櫃體式與壁掛式皆可供應。表列為標準型號的指標與配置，其他特殊需求可另行洽詢。

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詳細説明

與常溫 POU 的差異

常溫 POU 純化器主要依靠催化吸附，作用發生在吸附劑「表面」；加熱型則以合金吸氣劑在高溫下工作，能用到整個合金的體積容量。因此在相同體積下，加熱型的除雜效率更高、使用壽命更長，並且能去除常溫型處理不了的 CH₄ 與 N₂。

產品特點

・設備無須返廠，壽命到期直接現場更換吸氣柱（GETTER），免維護操作・在氣源品質 ≥ 5N 的條件下，吸氣柱壽命可達 3～5 年以上・可選流量 0.2～150 LPM ・內建電源、溫度、壽命預警等自控功能・可去除 H₂O、O₂、CO、CO₂、H₂、NMHC、N₂、CH₄ 等雜質至 < 1 ppb；亦可提供酸、鹼與難熔化合物的去除