가스 정제기
가열형 가스 정제기
제품 개요
합금 게터를 고온에서 작동시키는 소유량 정제기입니다. 표면 흡착에만 의존하는 상온형과 달리 합금의 체적 용량 전체를 활용하므로 제거 효율이 높고, 상온형이 처리하기 어려운 CH₄ 와 N₂ 도 제거합니다. 유량 0.2~150 LPM 이며 캐비닛형과 벽걸이형 두 가지를 제공합니다.
제품 특성
선정 파라미터 표
| 모델 | 최대 유량 (LPM) | 연결 형식 | 최대 차압 (MPa) |
|---|---|---|---|
| BSH001 | 0.2 | 1/8" 페럴 피팅 | 0.05 |
| BSH003 | 5 | 1/4"VCR | 0.05 |
| BSH050 | 50 | 1/4"VCR | 0.05 |
| BSH075 | 75 | 1/4"VCR | 0.05 |
| BSH100 | 100 | 1/2"VCR | 0.05 |
| BSH150 | 150 | 1/2"VCR | 0.05 |
캐비닛형과 벽걸이형 모두 공급 가능합니다. 표에는 표준 모델의 지표와 구성만 기재되어 있습니다. 기타 특수 요구 사항은 별도로 문의해 주십시오.
상세 설명
상온 POU 와의 차이
상온 POU 정제기는 주로 촉매 흡착에 의존하며 작용은 흡착제의 「표면」에서 일어납니다. 가열형은 합금 게터를 고온에서 작동시켜 합금의 체적 용량 전체를 씁니다. 따라서 같은 체적이면 가열형의 제거 효율이 높고 수명도 길며, 상온형이 처리하지 못하는 CH₄ 와 N₂ 도 제거합니다. 대가는 전원이 필요하고 승온 시간이 걸리며, 게터가 비가역 화학 반응으로 불순물을 고정하므로 포화 후에는 재생이 불가능하고 교체만 가능하다는 점입니다.CH₄ 와 N₂ 가 분수령인 이유
수분, 산소, 일산화탄소는 극성이 있거나 반응성이 있어 상온 흡착제로도 붙잡을 수 있습니다. 메탄은 비극성 대칭 분자이고 질소 분자는 매우 강한 삼중 결합을 가져 화학적으로 대단히 안정하므로, 둘 다 상온에서는 흡착층에 걸리기 어렵습니다. 이들을 처리하려면 고온의 합금 게터로 분자를 분해해 안정한 화합물로 고정해야 하며, 그것이 바로 가열형이 존재하는 이유입니다.제품 특징
・설비를 반송할 필요가 없으며, 수명이 다하면 현장에서 게터 컬럼을 직접 교체하는 무보수 운용 ・가스원 품질 5N 이상 조건에서 게터 컬럼 수명은 3~5 년 이상 ・선택 가능 유량 0.2~150 LPM ・전원, 온도, 수명 예고 등 자동 제어 기능 내장 ・H₂O, O₂, CO, CO₂, H₂, NMHC, N₂, CH₄ 를 < 1 ppb 까지 제거하며, 산·염기·난용성 화합물 제거도 제공 가능적용 가스
N₂, H₂, O₂, Ar, He, Xe, CDA, CO₂, CH₄ 등.적용 공정과 산업
・분석 실험실: GC/GC-MS, ICP-MS 의 고순도 캐리어 가스. 메탄과 질소 잔류가 베이스라인을 곧바로 끌어올립니다 ・MOCVD 와 에피택시: 소유량이지만 CH₄, N₂ 요구가 엄격한 캐리어 가스 ・글러브 박스와 불활성 환경: 박스 내 산소와 수분을 ppb 급으로 유지 ・특수 소재와 광전: 소형 반응로, 소결로의 보호 가스 ・장비 내장 가스 배관: 작고 벽걸이가 가능해 기존 장비의 가스 박스 공간에 넣기 쉽습니다현장 배치와 설치 요점
・승온 시간을 감안할 것: 게터는 작동 온도에 도달해야 제거 능력을 발휘하므로, 기동 후 시스템이 온도에 이르고 출구가 안정된 뒤 공정 가스를 도입하십시오 ・최대 차압 0.05 MPa: 기기를 가로지르는 허용 압력 손실의 상한이며 배관 설계의 압력 예산에 반영해야 합니다. 그러지 않으면 하류 공급 압력이 부족할 수 있습니다 ・캐비닛형과 벽걸이형 중 선택: 벽걸이형은 바닥 면적을 아껴 장비 옆에 알맞고, 캐비닛형은 집중 관리와 정비에 편리합니다 ・전원과 방열: 본체가 고온에서 작동하므로 설치 위치에 방열 공간을 두고 가연물과 사람이 자주 지나는 동선을 피하십시오 ・바이패스 배관 설치 권장: 게터 컬럼 교체 중에도 낮은 순도의 공급을 유지할 수 있어 라인 전체를 세우지 않아도 됩니다유지보수와 재생
・게터 컬럼은 소모품으로, 포화 후 현장에서 바로 교체하며 반송이 필요 없습니다 ・가스원 품질 5N 이상에서 수명은 약 3~5 년이며, 가스가 더러울수록 수명이 짧아지므로 실제 교체 주기는 수명 예고와 출구 분석으로 판단하십시오 ・내장 수명 예고 기능이 종점이 가까워지면 알려 주지만, 출구 측 분석으로 확인하는 것도 함께 권장합니다 ・떼어 낸 게터 컬럼에는 반응 후 화합물이 들어 있어 폐기물 규정에 따라 처리해야 하며 임의로 버려서는 안 됩니다인접 기종과의 선택
| 기종 | 유량 | CH₄ / N₂ 제거 | 소모품 처리 | 전원 필요 |
|---|---|---|---|---|
| BSH (본 기종) | 0.2–150 LPM | 가능 | 현장에서 게터 컬럼 교체 | 필요 |
| BSP 상온 POU | 5–4000 SLPM | 불가 | 공장 반송 재생 | 불필요 |
| BSS5-G / BSS7-G | 10–300 Nm³/h | 가능 | 현장에서 게터 탑 교체 | 필요 |
