เครื่องทำก๊าซบริสุทธิ์
เครื่องทำบริสุทธิ์ก๊าซแบบ POU แรงดันสูง
รายละเอียดสินค้า
รุ่นแรงดันสูงของเครื่องทำบริสุทธิ์ POU แบบท่อ ความดันใช้งานสูงสุด 18 MPa (HP) และ 24 MPa (SP) เหมาะกับการจ่ายตรงจากถังแรงดันสูง กระบวนการแรงดันสูง หรือกรณีที่ต้องทำบริสุทธิ์ก่อนลดความดัน โดยความบริสุทธิ์ทางออกยังคงอยู่ในระดับ ppb
คุณสมบัติและข้อมูลจำเพาะ
ตารางพารามิเตอร์เลือกรุ่น POU แรงดันสูง
| รุ่น | อัตราการไหลสูงสุด (SLPM) | ความดันใช้งานสูงสุด (MPa) | รูปแบบข้อต่อ | ความยาว OAL (Face to Face) | เส้นผ่านศูนย์กลางท่อ OD (mm) |
|---|---|---|---|---|---|
| BSP100-HP | 100 | 18 | 1/4"MVCR | 15.55"±0.03 | 60 |
| BSP100-SP | 100 | 24 | 1/4"MVCR | 15.63"±0.03 | 60 |
| BSP250-HP | 250 | 18 | 1/4"MVCR | 19.88"±0.03 | 102 |
| BSP250-SP | 250 | 24 | 1/4"MVCR | 20.04"±0.03 | 102 |
| BSP500-HP | 500 | 18 | 1/2"MVCR | 22.95"±0.03 | 133 |
| BSP500-SP | 500 | 24 | 1/2"MVCR | 23.19"±0.03 | 133 |
| BSP1000-HP | 1000 | 18 | 1/2"MVCR | 42.09"±0.06 | 180 |
| BSP1000-SP | 1000 | 24 | 1/2"MVCR | 45.55"±0.06 | 180 |
ตารางแสดงเฉพาะสเปกและการกำหนดค่าของรุ่นมาตรฐาน หากมีความต้องการพิเศษอื่น ๆ โปรดติดต่อสอบถาม
คำอธิบายโดยละเอียด
สถานการณ์ที่เหมาะสม
เครื่องทำบริสุทธิ์ POU ทั่วไปมีความดันใช้งานสูงสุดราว 1.73 MPa ซึ่งไม่ครอบคลุมการจ่ายตรงจากถังแรงดันสูง ก๊าซพาแรงดันสูง หรือกระบวนการที่ต้องทำบริสุทธิ์ให้เสร็จก่อนวาล์วลดความดัน รุ่นแรงดันสูงใช้ตัวถังหนาขึ้นและข้อต่อระดับแรงดันสูง ยกความดันใช้งานขึ้นเป็น 18 MPa (HP) หรือ 24 MPa (SP)ทำไมต้องทำบริสุทธิ์ก่อนลดความดัน
ที่มวลสิ่งเจือปนเท่ากัน ฝั่งแรงดันสูงมีความเข้มข้นเชิงปริมาตรต่ำกว่าและความหนาแน่นก๊าซสูงกว่า ชั้นดูดซับจึงทำงานได้มีประสิทธิภาพต่อหน่วยปริมาตรมากกว่า ที่สำคัญกว่านั้น วาล์วลดความดันเองก็เป็นแหล่งปนเปื้อนที่เป็นไปได้ ทั้งการคายก๊าซของวัสดุบ่าวาล์วและการหลุดของอนุภาคขณะวาล์วทำงานล้วนเกิดในช่วงลดความดัน การวางเครื่องทำบริสุทธิ์ไว้ก่อนลดความดันจะทำให้ท่อหลังวาล์วไม่ได้รับการป้องกัน ส่วนการวางไว้หลังลดความดันก็เสียประสิทธิภาพของฝั่งแรงดันสูงไป ในทางปฏิบัติใช้ทั้งสองแบบขึ้นกับว่าแหล่งปนเปื้อนอยู่ช่วงใด ดังนั้นเมื่อเลือกรุ่นโปรดอธิบายลำดับท่อที่หน้างานมาด้วยความหมายของอักษรต่อท้ายรุ่น
・HP: รุ่นแรงดันสูง ความดันใช้งานสูงสุด 18 MPa ・SP: รุ่นแรงดันสูงพิเศษ ความดันใช้งานสูงสุด 24 MPaจุดเด่นของผลิตภัณฑ์
・ดูดซับเชิงเร่งปฏิกิริยาที่อุณหภูมิห้อง ไม่ต้องให้ความร้อนและไม่ต้องใช้ก๊าซรีเจน ・มีตัวกรองความละเอียดสูงในตัว ความละเอียดการกรอง 0.003 μm ・ส่งกลับโรงงานเพื่อรีเจนได้ อายุใช้งานของเครื่องกว่า 20 ปี ・ความสามารถในการกำจัดสิ่งเจือปนเทียบเท่า POU มาตรฐานที่อัตราการไหลเดียวกัน (H₂O, O₂, CO, CO₂, H₂ และ NMHC < 1 ppb เมื่อคุณภาพแหล่งก๊าซตั้งแต่ 5N ขึ้นไป)ก๊าซที่ใช้ได้
N₂, H₂, O₂, Ar, He, Kr, Ne, Xe, CDA, CH₄, CO₂ และก๊าซปริมาณมากอื่น ๆ รวมถึงก๊าซพิเศษหลายชนิดกระบวนการและอุตสาหกรรมที่ใช้งาน
・ระบบก๊าซพาที่จ่ายตรงจากถังหรือชุดถัง (bundle) โดยไม่ผ่านท่อประธานของโรงงาน ・ก๊าซสำหรับกระบวนการแรงดันสูง: การเคลือบบางชนิด การอบอ่อน และห้องอัดความดัน ・สถานีบรรจุและแบ่งบรรจุก๊าซ: ยกคุณภาพแหล่งก๊าซก่อนบรรจุ ・สถาบันวิจัยและไลน์นำร่อง: ท่อสั้น ใช้ปริมาณน้อย ดึงก๊าซตรงจากแหล่งแรงดันสูงการจัดวางหน้างานและข้อควรระวังในการติดตั้ง
・ระดับความดันต้องเท่ากันทั้งสาย: เมื่อยกเครื่องทำบริสุทธิ์เป็น 18/24 MPa แล้ว อุปกรณ์ท่อ วาล์ว และสายอ่อนทั้งด้านหน้าและด้านหลังต้องอยู่ระดับเดียวกัน เปลี่ยนเฉพาะเครื่องทำบริสุทธิ์ไม่พอ ・ต้องมีการระบายความดันและเส้นทางระบายออก: ช่วงแรงดันสูงต้องมีการระบายความดันนิรภัย และทางระบายต้องนำไปยังตำแหน่งปลอดภัย ・ขันข้อต่อตามแรงบิดที่กำหนด: ซีลหน้าแบบ MVCR ไวต่อแรงบิดและสภาพปะเก็นมากขึ้นภายใต้แรงดันสูง เมื่อถอดประกอบซ้ำต้องเปลี่ยนปะเก็น ・หลังติดตั้งต้องทดสอบคงความดัน: อัดด้วยก๊าซเฉื่อยแล้วทิ้งไว้ ยืนยันว่าความดันไม่ตกจึงค่อยนำก๊าซกระบวนการเข้า ・เช่นเดียวกับรุ่นมาตรฐาน ไม่ต้องใช้ไฟฟ้าและไม่ต้องใช้ก๊าซรีเจนการบำรุงรักษาและการรีเจน
ตรรกะการส่งกลับโรงงานเพื่อรีเจนเหมือน POU มาตรฐาน รอบ 1–2 ปี ต่างกันตรงที่ก่อนถอดต้องระบายความดันจนหมดและยืนยันว่าความดันเป็นศูนย์ ห้ามคลายข้อต่อขณะยังมีความดันตกค้างเด็ดขาดเลือกอย่างไรระหว่างรุ่นใกล้เคียง
| รุ่น | ความดันสูงสุด | อัตราการไหล | เหมาะกับงานใด |
|---|---|---|---|
| BSP-HP (รุ่นนี้) | 18 MPa (HP) / 24 MPa (SP) | 100–1000 SLPM | จ่ายตรงจากถังแรงดันสูง ทำบริสุทธิ์ก่อนลดความดัน |
| BSP มาตรฐาน | 1.73–6.9 MPa | 5–4000 SLPM | จุดใช้งานหลังระบบจ่ายก๊าซของโรงงาน |
| BSS-HP รุ่นแรงดันสูง | 24 MPa (240 Bar) | 10–100 Nm³/h | อัตราไหลสูงที่แรงดันสูง ต้องรีเจนอัตโนมัติ |
