เครื่องทำก๊าซบริสุทธิ์
เครื่องทำบริสุทธิ์ก๊าซแบบ POU อุณหภูมิและความดันปกติ
รายละเอียดสินค้า
เครื่องทำบริสุทธิ์แบบท่อที่ติดตั้งไว้หน้าจุดใช้งาน (Point of Use) กำจัดสิ่งเจือปนปริมาณน้อยในก๊าซด้วยการดูดซับเชิงเร่งปฏิกิริยาที่อุณหภูมิและความดันปกติ ความบริสุทธิ์ทางออกถึงระดับ ppb ครอบคลุมอัตราการไหล 5–4000 SLPM ขนาดข้อต่อ ความยาวตัวถัง และรูปแบบแผงล้วนสั่งทำตามความต้องการหน้างานได้
คุณสมบัติและข้อมูลจำเพาะ
ตารางพารามิเตอร์เลือกรุ่น POU มาตรฐาน
| รุ่น | อัตราการไหลสูงสุด (SLPM) | อัตราการไหลมาตรฐาน (SLPM) | ความดันใช้งานสูงสุด (MPa) | รูปแบบข้อต่อ | ความยาว OAL (Face to Face) | เส้นผ่านศูนย์กลางท่อ OD (mm) |
|---|---|---|---|---|---|---|
| BSP005 | 5 | 0.5 | 6.9 | 1/4"MVCR | 84.1 (3.31"±.03) | 38.1 (1.5") |
| BSP010 | 10 | 1.5 | 6.9 | 1/4"MVCR | 127 (5.00"±.03) | 38.1 (1.5") |
| BSP010A | 10 | 1.5 | 6.9 | 1/4"MVCR | 114.3 (4.50"±.03) | 38.1 (1.5") |
| BSP050 | 50 | 5 | 1.73 | 1/4"MVCR | 208.3 (8.20"±.03) | 50.8 (2.0") |
| BSP050A | 50 | 5 | 1.73 | 1/4"MVCR | 160 (6.30"±.03) | 50.8 (2.0") |
| BSP060 | 60 | 9 | 1.73 | 1/4"MVCR | 208.3 (8.20"±.03) | 76.2 (3.0") |
| BSP075 | 75 | 10 | 1.73 | 1/4"MVCR | 201.7 (7.94"±.03) | 76.2 (3.0") |
| BSP100 | 100 | 12 | 1.73 | 1/4"MVCR | 317.5 (12.50"±.03) | 50.8 (2.0") |
| BSP120 | 120 | 25 | 1.73 | 1/4"MVCR | 254 (10.00"±.03) | 76.2 (3.0") |
| BSP250 | 250 | 40 | 1.73 | 1/2"MVCR | 462.28 (18.20"±.03) | 76.2 (3.0") |
| BSP300 | 300 | 80 | 1.73 | 1/2"MVCR | 439.42 (17.3"±.06) | 101.6 (4.0") |
| BSP500 | 500 | 80 | 1.73 | 1/2"MVCR | 508 (20.00"±.06) | 101.6 (4.0") |
| BSP800 | 800 | 200 | 1.73 | 1/2"MVCR | 702 (27.64"±.06) | 152.4 (6.0") |
| BSP1000 | 1000 | 300 | 1.73 | 1/2"MVCR | 999.24 (39.34"±.06) | 152.4 (6.0") |
| BSP1500 | 1500 | 400 | 1.73 | 3/4"MVCR | 1134.4 (44.66"±.06) | 152.4 (6.0") |
| BSP2000 | 2000 | 1000 | 1.73 | 3/4"MVCR | 1290.32 (50.8"±.06) | 152.4 (6.0") |
| BSP2500 | 2500 | 1100 | 1.73 | 1"MVCR | 1302.4 (51.28"±.06) | 152.4 (6.0") |
| BSP4000 | 4000 | 2000 | 1.73 | 1"VCR | แผงประกอบ | แผงประกอบ |
ตารางแสดงเฉพาะสเปกและการกำหนดค่าของรุ่นมาตรฐาน หากมีความต้องการพิเศษอื่น ๆ โปรดติดต่อสอบถาม
คำอธิบายโดยละเอียด
หลักการทำงาน
ซีรีส์ P ใช้เทคโนโลยีการดูดซับเชิงเร่งปฏิกิริยา เก็บสิ่งเจือปนจากก๊าซตั้งต้นไว้บนผิวของสารดูดซับที่อุณหภูมิห้อง เนื่องจากไม่ต้องให้ความร้อนและไม่ต้องใช้ก๊าซรีเจน ตัวเครื่องจึงเล็กและต้นทุนติดตั้งต่ำ เหมาะกับการติดตั้งตรงจุดใช้งานหน้าเครื่องกระบวนการ "อุณหภูมิและความดันปกติ" หมายถึงกลไกการทำบริสุทธิ์ไม่ได้ขับเคลื่อนด้วยความร้อน ไม่ได้แปลว่าตัวถังทนได้แค่ความดันบรรยากาศ รุ่นมาตรฐานมีความดันใช้งานสูงสุด 1.73–6.9 MPa และเมื่อต้องการความดันสูงกว่านั้นมีรุ่นแรงดันสูง (BSP-HP)จุดเด่นของผลิตภัณฑ์
・ส่งกลับโรงงานเพื่อรีเจนได้ทุก 1–2 ปี อายุใช้งานของเครื่องกว่า 20 ปี ・มีตัวกรองความละเอียดสูงในตัว ความละเอียดการกรอง 0.003 μm ・เลือกอัตราการไหลได้ตั้งแต่ 5 ถึง 4000 SLPM ・เมื่อคุณภาพแหล่งก๊าซตั้งแต่ 5N ขึ้นไป กำจัด H₂O, O₂, CO, CO₂, H₂ และ NMHC ได้ถึง < 1 ppb อีกทั้งยังรองรับการกำจัดกรด ด่าง และสารประกอบทนไฟ ・ขนาดข้อต่อ ความยาวตัวถัง และรูปแบบแผงล้วนสั่งทำได้ก๊าซที่ใช้ได้
N₂, H₂, O₂, Ar, He, Kr, Ne, Xe, CDA, CH₄, CO₂, Cl₂, BF₃, HCl, GeCl₄, GeH₄, H₂S, H₂Se, HBr, SiHCl₃, SO₂ และก๊าซพิเศษอื่นอีกกว่าสามสิบชนิดกระบวนการและอุตสาหกรรมที่ใช้งาน
คุณค่าของเครื่องทำบริสุทธิ์ POU อยู่ที่ "ช่วงสุดท้าย" ระหว่างทางจากระบบจ่ายก๊าซของโรงงานไปยังเครื่องจักร ก๊าซต้องผ่านท่อ วาล์ว และข้อต่อเป็นระยะหลายสิบถึงหลายร้อยเมตร การคายก๊าซจากผิวท่อ การรั่วซึมขนาดเล็ก และสิ่งตกค้างในท่อตัน ล้วนทำให้ก๊าซที่ออกจากแหล่งมาอย่างสะอาดกลับสกปรกอีกครั้ง การติดตั้งเครื่องทำบริสุทธิ์ที่หน้าเครื่องจึงเป็นด่านสุดท้ายก่อนสิ่งเจือปนจะเข้าสู่ห้องกระบวนการ ・เซมิคอนดักเตอร์ต้นน้ำ: ก๊าซพาและก๊าซเป่าสำหรับอิพิแทกซี การกัด CVD และ ALD ・เซมิคอนดักเตอร์สารประกอบและ LED: ก๊าซพาของ MOCVD และท่อก๊าซพิเศษ ・จอแสดงผลและแผงภาพ: การป้องกันด้วยก๊าซเฉื่อยในขั้นตอนระเหยเคลือบและบรรจุ ・ห้องปฏิบัติการวิเคราะห์: ก๊าซพาและก๊าซเชื้อเพลิงของ GC/GC-MS และ ICP-MS ป้องกันเส้นฐานเลื่อนและพีคหลอก ・ใยแก้วนำแสงและวัสดุพิเศษ: ก๊าซป้องกันสำหรับการเคลือบพรีฟอร์มและเตาดึงเส้นใยการจัดวางหน้างานและข้อควรระวังในการติดตั้ง
・ติดตั้งให้ใกล้จุดใช้งานมากที่สุด: ท่อระหว่างเครื่องทำบริสุทธิ์กับเครื่องจักรยิ่งยาว โอกาสปนเปื้อนซ้ำยิ่งมาก ・ต้องมีการกรองอนุภาคด้านหน้า: เครื่องมีตัวกรอง 0.003 μm ในตัวอยู่แล้ว แต่ถ้าแหล่งก๊าซมีฝุ่นหรือละอองน้ำมัน ควรเพิ่มตัวกรองต้นทางเพื่อไม่ให้สารดูดซับเสื่อมก่อนเวลา ・แนะนำให้ติดตั้งบายพาสและวาล์วตัดตอนทั้งสองด้าน: เวลาเปลี่ยนหรือส่งกลับโรงงานจะไม่ต้องหยุดไลน์ ・ห้ามต่อทางเข้าทางออกสลับกัน: ตัวถังมีเครื่องหมายบอกทิศทางการไหล หากต่อกลับด้าน ก๊าซใหม่จะเข้าทางฝั่งที่อิ่มตัวแล้ว ・หลังติดตั้งต้องเป่าไล่ด้วยก๊าซที่ทำบริสุทธิ์แล้ว: อากาศและความชื้นที่เข้ามาระหว่างงานเดินท่อต้องถูกไล่ออกก่อน มิฉะนั้นคุณภาพทางออกในช่วงแรกจะไม่ถึงเกณฑ์ ・ไม่ต้องใช้ไฟฟ้าและไม่ต้องใช้ก๊าซรีเจน นี่คือจุดที่ซีรีส์นี้ประหยัดค่าติดตั้งมากที่สุดเมื่อเทียบกับแบบให้ความร้อนและแบบอัตโนมัติเต็มรูปแบบการบำรุงรักษาและการรีเจน
・ในสภาพแหล่งก๊าซปกติ รอบการส่งกลับโรงงานเพื่อรีเจนคือ 1–2 ปี อายุจริงขึ้นกับความเข้มข้นสิ่งเจือปนและปริมาณการใช้จริง ・สารดูดซับที่อิ่มตัวแล้วห้ามแกะหรือทิ้งที่หน้างาน ต้องส่งทั้งกระบอกกลับไปจัดการ ・แนะนำให้ติดตั้งเครื่องวิเคราะห์ออนไลน์ (ความชื้นหรือออกซิเจน) ที่ทางออก หรือเก็บตัวอย่างเป็นระยะ การตัดสินเวลาเปลี่ยนจากข้อมูลที่วัดได้แม่นยำกว่าการนับชั่วโมงใช้งานมาก ・เครื่องมือวัดหน้างานอ่านความเข้มข้น H₂O ทางออกใน CDA และ N₂ ได้ถึงระดับ 0.001–0.006 ppbV ใช้เป็นค่าฐานอ้างอิงสำหรับการตรวจรับและการเฝ้าระวังประจำวันเลือกอย่างไรระหว่างรุ่นใกล้เคียง
| รุ่น | อัตราการไหล | ต้องใช้ไฟฟ้า | กำจัด CH₄ / N₂ | การใช้งานทั่วไป |
|---|---|---|---|---|
| BSP (รุ่นนี้) | 5–4000 SLPM | ไม่ | ไม่ | จุดใช้งานหน้าเครื่องจักร |
| BSP-HP | 100–1000 SLPM | ไม่ | ไม่ | จ่ายตรงจากถังแรงดันสูง ทำบริสุทธิ์ก่อนลดความดัน |
| BSH แบบให้ความร้อน | 0.2–150 LPM | ใช่ | ได้ | อัตราการไหลต่ำแต่ต้องกำจัดลึก |
| BSS14 อุณหภูมิปกติอัตราไหลสูง | 100–5000 Nm³/h | ไม่ | ไม่ | จ่ายชั่วคราวหรือเครื่องสำรองระดับโรงงาน |
ก๊าซที่ทำบริสุทธิ์ได้และความบริสุทธิ์ทางออก
ก๊าซและสิ่งเจือปนแต่ละชุดใช้สูตรสารดูดซับต่างกัน เมื่อเลือกรุ่นโปรดแจ้งชนิดก๊าซ อัตราการไหล และคุณภาพที่ต้องการหลังทำบริสุทธิ์มาพร้อมกัน| สูตร | ก๊าซที่ใช้ได้ | สิ่งเจือปนที่กำจัดได้และความบริสุทธิ์ทางออก |
|---|---|---|
| 51 | AsH₃, PH₃ | H₂O < 1 ppbV; O₂ < 1 ppbV; โลหะ < 1 ppbV |
| 23 | CDA, O₂, N₂, Ar, He, Kr, Ne, Xe, H₂, D₂, N₂O, NO, CF₄ | H₂O < 100 pptV; CO₂ < 100 pptV; กรดระเหย < 1 pptV; ด่างระเหย < 1 pptV; สารอินทรีย์ < 1 pptV; สารประกอบทนไฟ < 5 pptV; โลหะ < 1 ppbV |
| 44 | CDA, O₂, N₂, Ar, He, Ne, Kr, Xe, H₂, CO₂, C₂H₆, C₃H₈, C₄H₁₀, C₂H₂, C₃H₆, C₂H₄, NH₃ | สารอินทรีย์ควบแน่นได้ (>C6) < 1 pptV; สารอินทรีย์ควบแน่นไม่ได้ (>C3) < 5 pptV; สารประกอบทนไฟ (as HMDSO) < 1 pptV; C₃H₇NO (DMF) < 100 pptV |
| 48 | CDA, O₂, N₂, Ar, He, Ne, Kr, Xe | H₂O < 100 pptV; สารอินทรีย์ควบแน่นได้ (as Toluene) < 1 pptV; สารอินทรีย์ควบแน่นไม่ได้ (as Butane) < 5 pptV; สารประกอบทนไฟ (as HMDSO) < 1 pptV; กรดระเหย (as SO₂) < 1 pptV; ด่างระเหย (as NH₃) < 10 pptV |
| 84 | CO₂ | H₂O < 1 ppbV; O₂ < 200 pptV; กรดระเหย < 1 pptV; ด่างระเหย < 1 pptV; สารประกอบทนไฟ < 1 pptV; สารอินทรีย์ควบแน่นได้ < 1 pptV |
| 62 | CO | H₂O < 1 ppbV; O₂ < 1 ppbV; CO₂ < 1 ppbV |
| 61 | HBr | H₂O < 1 ppbV |
| 32 | B₂H₆, BCl₃, CClH₃, GeCl₄, GeH₄, H₂S, H₂Se, NF₃, SiCl₄, SiF₄, SiH₂Cl₂, SiHCl₃, SO₂, CHClF₂, BF₃ | H₂O < 1 ppbV; โลหะ < 1 ppbV |
| 60 | HCl, Cl₂ | ไฮโดรคาร์บอน (as Toluene) < 1 pptV; Fe / Ni / Mo / Cr / Mn < 14 pptV; H₂O < 15 ppbV |
| 22 | CDA, O₂, CO₂, N₂, Ar, He, Ne, Kr, Xe, H₂, D₂, NH₃, AsH₃, PH₃, GeH₄, SiH₄, N₂O, NO, CF₄, C₂H₂, (CH₃)₂NH (DMA), (CH₃)₂N₂H₂ (DMHz) | H₂O < 100 pptV |
| 94 | H₂, N₂, Ar, He, Ne, Kr, Xe, H₂/N₂, ก๊าซผสม H₂/ก๊าซเฉื่อย | H₂O < 100 pptV; CO₂ < 100 pptV; O₂ < 250 pptV; CO < 1 ppbV; กรดระเหย (as SO₂) < 1 pptV; ด่างระเหย (as NH₃) < 10 pptV; CxHy (45–100 amu) < 10 pptV; CxHy (>100 amu) < 1 pptV; สารประกอบทนไฟ (as HMDSO) < 1 pptV |
| 43 | N₂, Ar, He, Kr, Ne, Xe, H₂, CDA, O₂, CO₂ | กรดระเหย < 1 pptV; ด่างระเหย < 5 pptV; สารอินทรีย์ < 1 pptV; สารประกอบทนไฟ < 1 pptV; โลหะ < 1 ppbV |
| 99 | H₂, O₂, N₂, Ar, He, Ne, Kr, Xe, H₂/N₂, ก๊าซผสม H₂/ก๊าซเฉื่อย | H₂O, O₂, CO และ CO₂ ทั้งหมด < 100 pptV |
| 95 | N₂, Ar, He, Kr, Ne, Xe, CF₄, CH₄, C₂H₆, C₃H₈, C₄H₁₀ | H₂O, O₂, CO, CO₂ และ H₂ ทั้งหมด < 100 pptV; สารประกอบกำมะถัน < 1 ppbV |
| 72 | NH₃, C₂H₄, GeH₄, CSiH₆, C₂H₇N, C₃H₆, SF₆, ก๊าซผสม H₂/SiH₄, C₂H₈N₂, CH₃SiH₃, ก๊าซผสม H₂/SiH₄ | H₂O, O₂ และ CO₂ ทั้งหมด < 1 ppb; สารอินทรีย์ (>C4) < 1 ppb; โลหะ < 1 ppb |
| 82 | SiH₄ | H₂O, CO₂, O₂, CO และสารประกอบกำมะถัน ทั้งหมด < 1 ppb; กำจัดโลหะได้ถึง < 1 ppb |
