เครื่องทำก๊าซบริสุทธิ์
เครื่องทำบริสุทธิ์ไฮโดรเจนแบบไครโอเจนิก
รายละเอียดสินค้า
เครื่องทำบริสุทธิ์ไฮโดรเจนแบบเย็นจัดที่ใช้ไนโตรเจนเหลวเป็นแหล่งความเย็น ถังดูดซับหลายถังต่อขนานกัน สลับระหว่างการทำบริสุทธิ์ที่อุณหภูมิต่ำกับการรีเจนที่อุณหภูมิสูง กำจัด CH₄, N₂ และ Ar ในไฮโดรเจนได้ลึก ซึ่งเป็นสิ่งเจือปนที่การดูดซับอุณหภูมิปกติจัดการได้ยาก อัตราการไหล 10–1000 Nm³/h อายุใช้งานกว่า 20 ปี
คุณสมบัติและข้อมูลจำเพาะ
ตารางชี้วัด (ก๊าซที่ใช้ได้: H₂)
| สิ่งเจือปน | ทางเข้า INLET (ppm) | BSS7-C ทางออก (ppb) |
|---|---|---|
| เทคโนโลยี | — | ADS (เย็นจัดด้วยไนโตรเจนเหลว) |
| H₂O | < 5 | < 1 |
| O₂ | < 3 | < 1 |
| CO | < 1 | < 1 |
| CO₂ | < 1 | < 1 |
| N₂ | < 1 | < 1 |
| Ar | < 1 | < 1 |
| CH₄ | < 0.5 | < 1 |
| NMHC | < 1 | < 1 |
| อนุภาค PARTICLES | — | ≤ 1 pcs/m³ (@0.003μm) |
| ช่วงอัตราการไหล | — | 10–1000 Nm³/h |
ตารางแสดงเฉพาะสเปกและการกำหนดค่าของรุ่นมาตรฐาน หากมีความต้องการพิเศษอื่น ๆ โปรดติดต่อสอบถาม
คำอธิบายโดยละเอียด
ทำไมต้องใช้ความเย็นจัด
ความจุในการดูดซับสิ่งเจือปนของสารดูดซับเพิ่มขึ้นอย่างชัดเจนเมื่ออุณหภูมิลดลง โมเลกุลอย่าง CH₄, N₂ และ Ar มีจุดเดือดต่ำและมีขั้วอ่อน ที่อุณหภูมิปกติจึงมีแรงกระทำกับสารดูดซับอ่อนเกินกว่าจะดักได้อย่างมีประสิทธิภาพ ต่อเมื่อลดถังดูดซับลงสู่ช่วงอุณหภูมิไนโตรเจนเหลวเท่านั้น จึงจะจับโมเลกุลเหล่านี้ไว้ได้อย่างมั่นคง นี่ยังเป็นตำแหน่งเฉพาะตัวของซีรีส์นี้ในสายผลิตภัณฑ์ทั้งหมดด้วย: อาร์กอนเป็นสิ่งเจือปนเดียวที่มีแต่ความเย็นจัดเท่านั้นจึงจัดการได้ เส้นทางเร่งปฏิกิริยา (เช่น BSS9) รับมือมีเทนได้ เส้นทาง getter (เช่น BSS7-G) รับมือไนโตรเจนและมีเทนได้ แต่ทั้งคู่ทำอะไรอาร์กอนอะตอมเดี่ยวไม่ได้เลยแนะนำกระบวนการ
ซีรีส์ BSS7-C ใช้ถังดูดซับหลายถังต่อขนานกัน ใช้ไนโตรเจนเหลวเป็นแหล่งความเย็น สลับระหว่างการทำบริสุทธิ์ที่อุณหภูมิต่ำกับการรีเจนที่อุณหภูมิสูง ขณะที่ถังชุดหนึ่งอยู่ในสถานะทำบริสุทธิ์ที่อุณหภูมิต่ำ อีกชุดจะรีเจนที่อุณหภูมิสูง จึงจ่ายก๊าซได้ต่อเนื่อง อายุใช้งานกว่า 20 ปีสถานการณ์ที่เหมาะสม
กระบวนการเซมิคอนดักเตอร์ ใยแก้วนำแสง หรือวัสดุพิเศษ ที่มีข้อกำหนดระดับ ppb สำหรับ CH₄, N₂ และ Ar ในไฮโดรเจน หากกระบวนการสนใจเพียง H₂O, O₂, CO, CO₂ โดยทั่วไปเลือกซีรีส์ BSS7 แบบอุณหภูมิปกติก็เพียงพอ ไม่ต้องแบกต้นทุนเดินเครื่องของไนโตรเจนเหลวกระบวนการและอุตสาหกรรมที่ใช้งาน
・อิพิแทกซีในโหนดเทคโนโลยีขั้นสูง: ขั้นตอนที่มีข้อกำหนดสิ่งเจือปนรวมในก๊าซพาเข้มงวดที่สุด ・พรีฟอร์มใยแก้วนำแสง: อาร์กอนตกค้างกระทบความสม่ำเสมอของดัชนีหักเหในชั้นที่เคลือบ ・MOCVD ของเซมิคอนดักเตอร์สารประกอบ: พื้นฐานไนโตรเจนรบกวนการควบคุมการเจือสาร ・การวิจัยขั้นสูงและมาตรวิทยา: ต้องการไฮโดรเจนที่ความบริสุทธิ์ใกล้ขีดจำกัดทางทฤษฎี ・การทำบริสุทธิ์ไฮโดรเจนที่นำกลับมาใช้ใหม่: ก๊าซที่นำกลับมามีชนิดสิ่งเจือปนซับซ้อนกว่าก๊าซใหม่ และความเย็นจัดครอบคลุมได้กว้างที่สุดการจัดวางหน้างานและข้อควรระวังในการติดตั้ง
・แหล่งจ่ายไนโตรเจนเหลวเป็นเงื่อนไขเบื้องต้น: ต้องมีการจ่ายไนโตรเจนเหลวที่เสถียรพร้อมถังเก็บ ท่อหุ้มฉนวนสุญญากาศ และการเฝ้าระดับของเหลว ในโรงงานที่ยังไม่มีระบบไนโตรเจนเหลว ต้นทุนสร้างส่วนนี้มักสูงกว่าตัวเครื่องทำบริสุทธิ์เสียอีก ・การหุ้มฉนวนและการป้องกันน้ำแข็งเกาะในส่วนเย็น: ต้องเลี่ยงการเกิดน้ำแข็งเกาะและน้ำกลั่นตัวหยดลงบนอุปกรณ์ไฟฟ้ารอบกล่องเย็น ・การป้องกันอันตรายจากความเย็นจัด: ท่อและวาล์วอุณหภูมิต่ำต้องมีป้ายและการกั้น เพื่อไม่ให้คนสัมผัสโดยตรง ・การแยกความร้อนระหว่างส่วนรีเจนกับส่วนเย็น: การกระแทกทางความร้อนขณะสลับโหมดเป็นกุญแจต่ออายุเครื่อง จึงต้องเดินเครื่องตามเส้นโค้งขึ้นลงอุณหภูมิที่ออกแบบไว้ ・ระเบียบความปลอดภัยของไฮโดรเจนใช้บังคับเช่นเดียวกัน: การระบายอากาศ การตรวจจับ การตัดฉุกเฉิน และการแบ่งโซนป้องกันการระเบิด ขาดข้อใดข้อหนึ่งไม่ได้ ・ติดตั้งเครื่องมือที่วิเคราะห์อาร์กอนได้ที่ทางออก: เครื่องวิเคราะห์ความชื้นและออกซิเจนทั่วไปมองไม่เห็นอาร์กอน การตรวจรับต้องใช้เครื่องมือให้ถูกชนิดการบำรุงรักษาและการรีเจน
・ถังดูดซับรีเจนตามตารางอัตโนมัติของระบบ วัสดุดูดซับมีอายุออกแบบกว่า 20 ปี ・ปริมาณไนโตรเจนเหลวที่ใช้และต้นทุนเดินเครื่องต้องนำมารวมในการประเมินโดยรวม นี่คือความต่างที่ใหญ่ที่สุดระหว่างเส้นทางเย็นจัดกับเส้นทางอุณหภูมิปกติ ・จุดเน้นของการบำรุงรักษาประจำวัน: ระดับของเหลวและสภาพฉนวน การทำงานของวาล์วอุณหภูมิต่ำ และเส้นโค้งขึ้นลงอุณหภูมิเป็นปกติหรือไม่ ・หลังหยุดเครื่องเป็นเวลานาน การกลับมาใช้งานต้องลดอุณหภูมิอย่างช้า ๆ ตามขั้นตอน เพื่อเลี่ยงความเสียหายจากความเค้นทางความร้อนเลือกอย่างไรระหว่างรุ่นใกล้เคียง
| รุ่น | สิ่งเจือปนยากที่กำจัดได้ | ไนโตรเจนเหลว | อัตราการไหล | ต้นทุนเดินเครื่อง |
|---|---|---|---|---|
| BSS7-C (รุ่นนี้) | CH₄, N₂, Ar | ต้องใช้ | 10–1000 Nm³/h | สูง |
| BSS7-G / BSS7-H | CH₄, N₂ | ไม่ต้อง | 10–300 Nm³/h | ปานกลาง |
| BSS7-A | ไม่จัดการทั้งหมด | ไม่ต้อง | 10–1000 Nm³/h | ต่ำ |
