ガス精製装置
酸素精製装置
製品概要
大流量の酸素精製装置です。BSS6-A は複数の吸着塔を並列に配した純吸着式で、H₂O と CO₂ を 0.1 ppb 以下に制御し流量は 50000 Nm³/h に達します。BSS6 は前段に触媒塔を直列配置し、CO、H₂、CH₄、NMHC も除去できます。使用寿命は 20 年以上です。
特長・仕様
指標表（適用ガス：O₂）
| 不純物 | 入口 INLET (ppm) | BSS6-A 出口 (ppb) | BSS6 出口 (ppb) |
|---|---|---|---|
| 方式 | — | ADS | CAT+ADS |
| H₂O | < 3 | < 0.1 | < 1 |
| CO | < 1 | — | < 1 |
| CO₂ | < 2 | < 0.1 | < 1 |
| H₂ | < 1 | — | < 1 |
| CH₄ | < 25 | — | < 1 |
| NMHC | < 1 | — | < 1 |
| 微粒子 PARTICLES | — | ≤ 1 pcs/m³ (@0.003μm) | ≤ 1 pcs/m³ (@0.003μm) |
| 流量範囲 | — | 10–50000 Nm³/h | 10–10000 Nm³/h |
表は標準型番の指標と構成のみを示しています。その他の特殊仕様についてはお問い合わせください。
詳細説明
工程紹介
BSS6-A シリーズ酸素精製装置は複数の吸着塔を並列に配し、常温精製と高温再生の二モードで交互に運転します。使用寿命は 20 年以上です。 BSS6 シリーズは吸着塔の前段に触媒塔を直列配置します。触媒塔は高温で作動し再生不要で、後段の複数吸着塔は同様に常温精製と高温再生の二モードで交互に運転します。触媒段を加えることで CO、H₂、CH₄、NMHC も処理できます。
選定のご提案
・ガス源の不純物が H₂O、CO₂ 中心で、要求が極めて厳しい（0.1 ppb レベル）場合 → BSS6-A ・ガス源が CO、H₂、CH₄、NMHC を含み、併せて除去が必要な場合 → BSS6 注目すべきは、純吸着式（BSS6-A）のほうが H₂O と CO₂ の出口指標が厳しい（< 0.1 ppb 対 < 1 ppb）点です。この二項目に集中しているためで、触媒段を加えるとカバー範囲は広がるものの単項目の指標は 1 ppb まで緩和されます。選定時は、プロセスが本当に求めているのが「より深く」なのか「より広く」なのかをご確認ください。適用プロセスと業界
・酸化プロセス（Thermal Oxidation）：ゲート酸化膜の品質は酸素純度に直接左右されます ・CVD／ALD の酸素源：水分と炭化水素が膜中の不純物と界面欠陥を引き起こします ・ガラスと石英の加工：水素酸素炎の酸素源で、不純物が光学的均一性に影響します ・医療用・分析用の高純度酸素：安定かつトレーサブルな品質が必要な用途 ・リチウム電池と新材料：炭素汚染に敏感な焼結と熱処理プロセス現場配置と設置のポイント
・系統全体の脱脂（Oil-free）が必須条件：酸素は強い酸化性ガスであり、配管、バルブ、ガスケット、吸着材料はすべて脱脂と適合性確認が必要です。高圧純酸素中の油脂残留はいかなるものでも着火リスクになります ・専用工具と専用エリア：酸素系統の工具を可燃性ガス系統と共用してはいけません ・流速と材質の制限：配管部品の材質と最大流速は純酸素系統の規則に従って選定し、衝撃着火を避けてください ・再生排気の経路：高温再生段階の排気は安全な排出点へ導く必要があります ・一般的な潤滑剤の使用禁止：バルブとねじ部には酸素適合性のある潤滑材のみ使用できます ・設置と検収は純酸素系統の規則に精通した要員が実施することを推奨しますメンテナンスと再生
・吸着塔は PLC が自動でスケジュールして再生します。吸着材料の設計寿命は 20 年以上 ・触媒塔（BSS6 機種）は設計時のガス源条件では再生も交換も不要です ・日常メンテナンスの重点：バルブ動作、温度制御とセンサーの校正、および脱脂状態の維持。分解した部品はすべて再脱脂してから戻す必要があります ・年次定期修理には安全弁と破裂板の点検を組み込むことを推奨します近い機種との選び分け
| 機種 | 方式 | H₂O／CO₂ 出口 | CO／H₂／CH₄ の除去 | 流量 |
|---|---|---|---|---|
| BSS6-A | ADS | < 0.1 ppb | 不可 | 10–50000 Nm³/h |
| BSS6 | CAT+ADS | < 1 ppb | 可能 | 10–10000 Nm³/h |
| BSP 常温 POU（配合 84 など） | 常温吸着 | ppb～ppt レベル | 配合による | 5–4000 SLPM |
