氣體純化器
氧氣純化器
產品概述
大流量氧氣純化器。BSS6-A 為多個吸附桶並聯的純吸附式，H₂O 與 CO₂ 可控制在 0.1 ppb 以下、流量達 50000 Nm³/h；BSS6 在前段串聯催化桶，可額外去除 CO、H₂、CH₄、NMHC。使用壽命 20 年以上。
產品特性
指標表（適用氣體：O₂）
| 雜質 | 進口 INLET (ppm) | BSS6-A 出口 (ppb) | BSS6 出口 (ppb) |
|---|---|---|---|
| 工藝 | — | ADS | CAT+ADS |
| H₂O | < 3 | < 0.1 | < 1 |
| CO | < 1 | — | < 1 |
| CO₂ | < 2 | < 0.1 | < 1 |
| H₂ | < 1 | — | < 1 |
| CH₄ | < 25 | — | < 1 |
| NMHC | < 1 | — | < 1 |
| 微粒 PARTICLES | — | ≤ 1 pcs/m³ (@0.003μm) | ≤ 1 pcs/m³ (@0.003μm) |
| 流量範圍 | — | 10–50000 Nm³/h | 10–10000 Nm³/h |
表列為標準型號的指標與配置，其他特殊需求可另行洽詢。
詳細說明
工藝介紹
BSS6-A 系列氧氣純化器透過多個吸附桶並聯，在常溫純化與高溫再生兩種模式下交替工作，使用壽命大於 20 年。 BSS6 系列則在吸附桶前串聯催化桶：催化桶在高溫下工作、無需再生；後段多個吸附桶並聯，同樣在常溫純化與高溫再生兩種模式下交替工作。加上催化段後可額外處理 CO、H₂、CH₄ 與 NMHC。
選型建議
・氣源雜質以 H₂O、CO₂ 為主，且要求極低（0.1 ppb 級）→ BSS6-A ・氣源含 CO、H₂、CH₄、NMHC，需要一併去除 → BSS6 值得注意的是純吸附式（BSS6-A）在 H₂O 與 CO₂ 的出口指標反而更嚴（< 0.1 ppb vs < 1 ppb），因為它專注處理這兩項；加了催化段之後涵蓋面變廣，但單項指標放寬到 1 ppb。選型時要看製程真正在意的是「更深」還是「更廣」。適用製程與產業
・氧化製程（Thermal Oxidation）：閘極氧化層的品質直接受氧氣純度影響 ・CVD／ALD 的氧源：水氣與碳氫化合物會造成膜中雜質與界面缺陷 ・玻璃與石英加工：氫氧焰的氧源，雜質影響光學均勻性 ・醫療與分析用高純氧：需要穩定可追溯的品質 ・鋰電池與新材料：對碳污染敏感的燒結與熱處理製程現場配置與安裝要點
・全系統脫脂（Oil-free）是必要條件：氧氣是強氧化性氣體，管路、閥件、墊片與吸附材料都必須經過脫脂與相容性確認，任何油脂殘留在高壓純氧下都是著火風險 ・專用工具與專用區域：氧氣系統的工具不可與可燃氣體系統混用 ・流速與材質限制：管件材質與最大流速須依純氧系統規範選定，避免衝擊點燃 ・再生排氣路徑：高溫再生階段的排氣須導至安全排放點 ・禁止使用一般潤滑劑：閥件與螺紋只能使用氧氣相容的潤滑材料 ・安裝與驗收建議由熟悉純氧系統規範的人員執行維護與再生
・吸附桶由 PLC 自動排程再生，吸附材料設計壽命 20 年以上 ・催化桶（BSS6 機型）在設計氣源條件下無需再生與更換 ・日常維護重點：閥件動作、溫控與感測器校驗、以及脫脂狀態的維持 —— 任何拆裝後的零件都必須重新脫脂才能裝回 ・年度歲修建議納入安全閥與爆破片檢查與相鄰機種怎麼選
| 機種 | 工藝 | H₂O／CO₂ 出口 | 可否去除 CO／H₂／CH₄ | 流量 |
|---|---|---|---|---|
| BSS6-A | ADS | < 0.1 ppb | 否 | 10–50000 Nm³/h |
| BSS6 | CAT+ADS | < 1 ppb | 可 | 10–10000 Nm³/h |
| BSP 常溫 POU（配方 84 等） | 常溫吸附 | ppb～ppt 級 | 視配方 | 5–4000 SLPM |
