เครื่องทำก๊าซบริสุทธิ์
เครื่องทำบริสุทธิ์ออกซิเจน
รายละเอียดสินค้า
เครื่องทำบริสุทธิ์ออกซิเจนอัตราไหลสูง BSS6-A เป็นแบบดูดซับล้วนที่ใช้ถังหลายถังต่อขนาน ควบคุม H₂O และ CO₂ ได้ต่ำกว่า 0.1 ppb อัตราการไหลถึง 50000 Nm³/h ส่วน BSS6 เพิ่มถังเร่งปฏิกิริยาไว้ด้านหน้า จึงกำจัด CO, H₂, CH₄ และ NMHC ได้ด้วย อายุใช้งานกว่า 20 ปี
คุณสมบัติและข้อมูลจำเพาะ
ตารางชี้วัด (ก๊าซที่ใช้ได้: O₂)
| สิ่งเจือปน | ทางเข้า INLET (ppm) | BSS6-A ทางออก (ppb) | BSS6 ทางออก (ppb) |
|---|---|---|---|
| เทคโนโลยี | — | ADS | CAT+ADS |
| H₂O | < 3 | < 0.1 | < 1 |
| CO | < 1 | — | < 1 |
| CO₂ | < 2 | < 0.1 | < 1 |
| H₂ | < 1 | — | < 1 |
| CH₄ | < 25 | — | < 1 |
| NMHC | < 1 | — | < 1 |
| อนุภาค PARTICLES | — | ≤ 1 pcs/m³ (@0.003μm) | ≤ 1 pcs/m³ (@0.003μm) |
| ช่วงอัตราการไหล | — | 10–50000 Nm³/h | 10–10000 Nm³/h |
ตารางแสดงเฉพาะสเปกและการกำหนดค่าของรุ่นมาตรฐาน หากมีความต้องการพิเศษอื่น ๆ โปรดติดต่อสอบถาม
คำอธิบายโดยละเอียด
แนะนำกระบวนการ
ซีรีส์ BSS6-A ใช้ถังดูดซับหลายถังต่อขนานกัน สลับระหว่างการทำบริสุทธิ์ที่อุณหภูมิปกติกับการรีเจนที่อุณหภูมิสูง อายุใช้งานกว่า 20 ปี ส่วนซีรีส์ BSS6 ต่อถังเร่งปฏิกิริยาอนุกรมไว้หน้าถังดูดซับ ถังเร่งปฏิกิริยาทำงานที่อุณหภูมิสูงและไม่ต้องรีเจน ขณะที่ถังดูดซับหลายถังด้านหลังต่อขนานกันและสลับระหว่างการทำบริสุทธิ์ที่อุณหภูมิปกติกับการรีเจนที่อุณหภูมิสูงเช่นกัน เมื่อเพิ่มช่วงเร่งปฏิกิริยาแล้วจึงจัดการ CO, H₂, CH₄ และ NMHC ได้ด้วย
คำแนะนำในการเลือกรุ่น
・สิ่งเจือปนในแหล่งก๊าซเป็น H₂O และ CO₂ เป็นหลัก และมีข้อกำหนดเข้มงวดมาก (ระดับ 0.1 ppb) → BSS6-A ・แหล่งก๊าซมี CO, H₂, CH₄, NMHC ที่ต้องกำจัดไปพร้อมกัน → BSS6 ที่น่าสังเกตคือแบบดูดซับล้วน (BSS6-A) กลับมีข้อกำหนดทางออกของ H₂O และ CO₂ เข้มกว่า (< 0.1 ppb เทียบกับ < 1 ppb) เพราะมันทุ่มไปที่สองรายการนี้ พอเพิ่มช่วงเร่งปฏิกิริยาแล้วขอบเขตกว้างขึ้นแต่ตัวเลขรายข้อผ่อนมาที่ 1 ppb เมื่อเลือกรุ่นต้องดูว่ากระบวนการต้องการ "ลึกกว่า" หรือ "กว้างกว่า" กันแน่กระบวนการและอุตสาหกรรมที่ใช้งาน
・กระบวนการออกซิเดชัน (Thermal Oxidation): คุณภาพชั้นออกไซด์เกตขึ้นกับความบริสุทธิ์ของออกซิเจนโดยตรง ・แหล่งออกซิเจนสำหรับ CVD/ALD: ความชื้นและไฮโดรคาร์บอนทำให้เกิดสิ่งเจือปนในฟิล์มและข้อบกพร่องที่รอยต่อ ・การขึ้นรูปแก้วและควอตซ์: แหล่งออกซิเจนของเปลวไฮโดรเจน-ออกซิเจน สิ่งเจือปนกระทบความสม่ำเสมอเชิงแสง ・ออกซิเจนความบริสุทธิ์สูงทางการแพทย์และการวิเคราะห์: ต้องการคุณภาพที่เสถียรและตรวจสอบย้อนกลับได้ ・แบตเตอรี่ลิเทียมและวัสดุใหม่: การซินเตอร์และการอบชุบที่ไวต่อการปนเปื้อนคาร์บอนการจัดวางหน้างานและข้อควรระวังในการติดตั้ง
・การล้างไขมันทั้งระบบ (Oil-free) เป็นเงื่อนไขบังคับ: ออกซิเจนเป็นก๊าซออกซิไดซ์แรง ท่อ วาล์ว ปะเก็น และวัสดุดูดซับต้องผ่านการล้างไขมันและยืนยันความเข้ากันได้ คราบน้ำมันใด ๆ ในออกซิเจนบริสุทธิ์ความดันสูงล้วนเป็นความเสี่ยงต่อการติดไฟ ・เครื่องมือเฉพาะและพื้นที่เฉพาะ: เครื่องมือของระบบออกซิเจนห้ามใช้ปนกับระบบก๊าซติดไฟ ・ข้อจำกัดด้านความเร็วและวัสดุ: วัสดุอุปกรณ์ท่อและความเร็วสูงสุดต้องเลือกตามระเบียบระบบออกซิเจนบริสุทธิ์ เพื่อเลี่ยงการติดไฟจากการกระแทก ・เส้นทางก๊าซทิ้งจากการรีเจน: ก๊าซที่ปล่อยในช่วงรีเจนอุณหภูมิสูงต้องนำไปยังจุดปล่อยที่ปลอดภัย ・ห้ามใช้สารหล่อลื่นทั่วไป: วาล์วและเกลียวใช้ได้เฉพาะวัสดุหล่อลื่นที่เข้ากันได้กับออกซิเจน ・แนะนำให้ผู้ที่คุ้นเคยกับระเบียบระบบออกซิเจนบริสุทธิ์เป็นผู้ติดตั้งและตรวจรับการบำรุงรักษาและการรีเจน
・ถังดูดซับรีเจนอัตโนมัติตามตารางของ PLC วัสดุดูดซับมีอายุออกแบบกว่า 20 ปี ・ถังเร่งปฏิกิริยา (รุ่น BSS6) ในสภาพแหล่งก๊าซตามที่ออกแบบไว้ไม่ต้องรีเจนและไม่ต้องเปลี่ยน ・จุดเน้นของการบำรุงรักษาประจำวัน: การทำงานของวาล์ว การสอบเทียบการควบคุมอุณหภูมิและเซ็นเซอร์ และการรักษาสภาพที่ล้างไขมันแล้ว ชิ้นส่วนที่ถอดออกมาทุกชิ้นต้องล้างไขมันใหม่ก่อนประกอบกลับ ・การซ่อมบำรุงประจำปีควรรวมการตรวจวาล์วนิรภัยและแผ่นระเบิดเลือกอย่างไรระหว่างรุ่นใกล้เคียง
| รุ่น | เทคโนโลยี | H₂O / CO₂ ทางออก | กำจัด CO / H₂ / CH₄ | อัตราการไหล |
|---|---|---|---|---|
| BSS6-A | ADS | < 0.1 ppb | ไม่ได้ | 10–50000 Nm³/h |
| BSS6 | CAT+ADS | < 1 ppb | ได้ | 10–10000 Nm³/h |
| BSP POU อุณหภูมิปกติ (สูตร 84 เป็นต้น) | ดูดซับที่อุณหภูมิปกติ | ระดับ ppb ถึง ppt | ขึ้นกับสูตร | 5–4000 SLPM |
