가스 정제기
산소 정제기
제품 개요
대유량 산소 정제기입니다. BSS6-A 는 다수의 흡착탑을 병렬로 둔 순수 흡착식으로 H₂O 와 CO₂ 를 0.1 ppb 이하로 제어하며 유량은 50000 Nm³/h 에 이릅니다. BSS6 은 앞단에 촉매탑을 직렬로 두어 CO, H₂, CH₄, NMHC 도 제거합니다. 사용 수명은 20 년 이상입니다.
제품 특성
지표표 (적용 가스: O₂)
| 불순물 | 입구 INLET (ppm) | BSS6-A 출구 (ppb) | BSS6 출구 (ppb) |
|---|---|---|---|
| 방식 | — | ADS | CAT+ADS |
| H₂O | < 3 | < 0.1 | < 1 |
| CO | < 1 | — | < 1 |
| CO₂ | < 2 | < 0.1 | < 1 |
| H₂ | < 1 | — | < 1 |
| CH₄ | < 25 | — | < 1 |
| NMHC | < 1 | — | < 1 |
| 미립자 PARTICLES | — | ≤ 1 pcs/m³ (@0.003μm) | ≤ 1 pcs/m³ (@0.003μm) |
| 유량 범위 | — | 10–50000 Nm³/h | 10–10000 Nm³/h |
표에는 표준 모델의 지표와 구성만 기재되어 있습니다. 기타 특수 요구 사항은 별도로 문의해 주십시오.
상세 설명
공정 소개
BSS6-A 시리즈는 다수의 흡착탑을 병렬로 배치해 상온 정제와 고온 재생을 번갈아 수행하며 사용 수명은 20 년 이상입니다. BSS6 시리즈는 흡착탑 앞에 촉매탑을 직렬로 둡니다. 촉매탑은 고온에서 작동하며 재생이 필요 없고, 후단의 다수 흡착탑은 마찬가지로 상온 정제와 고온 재생을 번갈아 수행합니다. 촉매 단계를 더하면 CO, H₂, CH₄, NMHC 도 처리할 수 있습니다.
선정 제안
・가스원 불순물이 H₂O, CO₂ 위주이고 요구가 매우 엄격한 경우(0.1 ppb 급) → BSS6-A ・가스원에 CO, H₂, CH₄, NMHC 가 있어 함께 제거해야 하는 경우 → BSS6 주목할 점은 순수 흡착식(BSS6-A)이 오히려 H₂O 와 CO₂ 의 출구 지표가 더 엄격하다는 것입니다(< 0.1 ppb 대 < 1 ppb). 이 두 항목에 집중하기 때문이며, 촉매 단계를 더하면 포괄 범위는 넓어지지만 개별 지표는 1 ppb 로 완화됩니다. 선정 시 공정이 정말 원하는 것이 「더 깊게」인지 「더 넓게」인지 확인해야 합니다.적용 공정과 산업
・산화 공정(Thermal Oxidation): 게이트 산화막의 품질은 산소 순도에 직접 좌우됩니다 ・CVD/ALD 의 산소원: 수분과 탄화수소가 막 중 불순물과 계면 결함을 일으킵니다 ・유리와 석영 가공: 수소·산소 화염의 산소원으로 불순물이 광학적 균일성에 영향을 줍니다 ・의료용·분석용 고순도 산소: 안정적이고 추적 가능한 품질이 필요한 용도 ・리튬전지와 신소재: 탄소 오염에 민감한 소결과 열처리 공정현장 배치와 설치 요점
・전 계통 탈지(Oil-free)는 필수 조건: 산소는 강한 산화성 가스이므로 배관, 밸브, 개스킷, 흡착 재료 모두 탈지와 적합성 확인을 거쳐야 하며, 고압 순산소 속의 어떠한 유지 잔류도 발화 위험입니다 ・전용 공구와 전용 구역: 산소 계통의 공구는 가연성 가스 계통과 혼용해서는 안 됩니다 ・유속과 재질 제한: 배관 부품 재질과 최대 유속은 순산소 계통 규정에 따라 선정해 충격 발화를 피해야 합니다 ・재생 배기 경로: 고온 재생 단계의 배기는 안전한 배출점으로 유도해야 합니다 ・일반 윤활제 사용 금지: 밸브와 나사부에는 산소 적합 윤활재만 사용할 수 있습니다 ・설치와 검수는 순산소 계통 규정에 밝은 인력이 수행할 것을 권장합니다유지보수와 재생
・흡착탑은 PLC 가 자동으로 재생 일정을 잡으며 흡착 재료 설계 수명은 20 년 이상 ・촉매탑(BSS6 기종)은 설계된 가스원 조건에서 재생도 교체도 필요 없습니다 ・일상 유지보수의 핵심: 밸브 동작, 온도 제어와 센서 교정, 그리고 탈지 상태 유지 — 분해한 부품은 모두 다시 탈지해야 조립할 수 있습니다 ・연차 정기 보수에는 안전밸브와 파열판 점검을 포함할 것을 권장합니다인접 기종과의 선택
| 기종 | 방식 | H₂O / CO₂ 출구 | CO / H₂ / CH₄ 제거 | 유량 |
|---|---|---|---|---|
| BSS6-A | ADS | < 0.1 ppb | 불가 | 10–50000 Nm³/h |
| BSS6 | CAT+ADS | < 1 ppb | 가능 | 10–10000 Nm³/h |
| BSP 상온 POU (배합 84 등) | 상온 흡착 | ppb~ppt 급 | 배합에 따라 | 5–4000 SLPM |
