Thiết bị tinh chế khí
Thiết bị tinh chế khí oxy
Tổng quan sản phẩm
Thiết bị tinh chế oxy lưu lượng lớn. BSS6-A là loại hấp phụ thuần túy với nhiều bình ghép song song, kiểm soát H₂O và CO₂ dưới 0.1 ppb, lưu lượng đạt 50000 Nm³/h; BSS6 mắc thêm bình xúc tác phía trước, khử được cả CO, H₂, CH₄, NMHC. Tuổi thọ trên 20 năm.
Tính năng & Thông số kỹ thuật
Bảng chỉ tiêu (khí áp dụng: O₂)
| Tạp chất | Đầu vào INLET (ppm) | BSS6-A đầu ra (ppb) | BSS6 đầu ra (ppb) |
|---|---|---|---|
| Công nghệ | — | ADS | CAT+ADS |
| H₂O | < 3 | < 0.1 | < 1 |
| CO | < 1 | — | < 1 |
| CO₂ | < 2 | < 0.1 | < 1 |
| H₂ | < 1 | — | < 1 |
| CH₄ | < 25 | — | < 1 |
| NMHC | < 1 | — | < 1 |
| Hạt PARTICLES | — | ≤ 1 pcs/m³ (@0.003μm) | ≤ 1 pcs/m³ (@0.003μm) |
| Dải lưu lượng | — | 10–50000 Nm³/h | 10–10000 Nm³/h |
Bảng chỉ liệt kê chỉ tiêu và cấu hình của các model tiêu chuẩn; các yêu cầu đặc biệt khác vui lòng liên hệ.
Mô tả chi tiết
Giới thiệu công nghệ
Dòng BSS6-A ghép song song nhiều bình hấp phụ, luân phiên giữa tinh chế nhiệt độ thường và tái sinh nhiệt độ cao, tuổi thọ trên 20 năm. Dòng BSS6 mắc nối tiếp bình xúc tác phía trước các bình hấp phụ: bình xúc tác làm việc ở nhiệt độ cao, không cần tái sinh; phía sau nhiều bình hấp phụ ghép song song cũng luân phiên giữa tinh chế nhiệt độ thường và tái sinh nhiệt độ cao. Có thêm đoạn xúc tác thì xử lý được cả CO, H₂, CH₄ và NMHC.
Gợi ý chọn model
・Tạp chất khí nguồn chủ yếu là H₂O, CO₂ và yêu cầu rất ngặt (mức 0.1 ppb) → BSS6-A ・Khí nguồn chứa CO, H₂, CH₄, NMHC cần khử đồng thời → BSS6 Đáng chú ý là loại hấp phụ thuần túy (BSS6-A) lại có chỉ tiêu đầu ra H₂O và CO₂ ngặt hơn (< 0.1 ppb so với < 1 ppb) vì nó tập trung xử lý hai hạng mục này; thêm đoạn xúc tác thì phạm vi bao phủ rộng ra nhưng chỉ tiêu từng hạng mục nới lên 1 ppb. Khi chọn model cần xem quy trình thực sự cần "sâu hơn" hay "rộng hơn".Quy trình và ngành áp dụng
・Quá trình oxy hóa (Thermal Oxidation): chất lượng lớp oxit cổng chịu ảnh hưởng trực tiếp từ độ tinh khiết oxy ・Nguồn oxy cho CVD/ALD: hơi ẩm và hydrocacbon gây tạp chất trong màng và khuyết tật mặt tiếp giáp ・Gia công thủy tinh và thạch anh: nguồn oxy cho ngọn lửa hydro-oxy, tạp chất ảnh hưởng độ đồng đều quang học ・Oxy độ tinh khiết cao cho y tế và phân tích: cần chất lượng ổn định và truy xuất được ・Pin lithium và vật liệu mới: quá trình thiêu kết và xử lý nhiệt nhạy với nhiễm bẩn cacbonBố trí hiện trường và lưu ý lắp đặt
・Tẩy dầu mỡ toàn hệ (Oil-free) là điều kiện bắt buộc: oxy là khí oxy hóa mạnh, đường ống, van, gioăng và vật liệu hấp phụ đều phải được tẩy dầu và xác nhận tương thích; bất kỳ vết dầu mỡ nào trong oxy nguyên chất áp cao đều là rủi ro bắt cháy ・Dụng cụ riêng và khu vực riêng: dụng cụ của hệ oxy không được dùng chung với hệ khí cháy ・Giới hạn tốc độ dòng và vật liệu: vật liệu phụ kiện và tốc độ dòng tối đa phải chọn theo quy định hệ oxy nguyên chất để tránh bắt cháy do va đập ・Đường thoát khí tái sinh: khí xả ở giai đoạn tái sinh nhiệt độ cao phải dẫn tới điểm xả an toàn ・Cấm dùng chất bôi trơn thông thường: van và ren chỉ được dùng vật liệu bôi trơn tương thích oxy ・Nên để nhân sự am hiểu quy định hệ oxy nguyên chất thực hiện lắp đặt và nghiệm thuBảo trì và tái sinh
・Bình hấp phụ do PLC tự lên lịch tái sinh, vật liệu hấp phụ có tuổi thọ thiết kế trên 20 năm ・Bình xúc tác (model BSS6) trong điều kiện khí nguồn theo thiết kế không cần tái sinh hay thay thế ・Trọng tâm bảo trì hằng ngày: tác động van, hiệu chuẩn điều khiển nhiệt độ và cảm biến, cùng việc duy trì trạng thái đã tẩy dầu — mọi chi tiết tháo ra đều phải tẩy dầu lại mới được lắp vào ・Bảo dưỡng hằng năm nên có kiểm tra van an toàn và đĩa nổSo sánh với các model lân cận
| Model | Công nghệ | H₂O / CO₂ đầu ra | Khử CO / H₂ / CH₄ | Lưu lượng |
|---|---|---|---|---|
| BSS6-A | ADS | < 0.1 ppb | Không | 10–50000 Nm³/h |
| BSS6 | CAT+ADS | < 1 ppb | Có | 10–10000 Nm³/h |
| BSP POU nhiệt độ thường (công thức 84 v.v.) | Hấp phụ nhiệt độ thường | Mức ppb đến ppt | Tùy công thức | 5–4000 SLPM |
