ガス精製装置
アンモニア精製装置
製品概要
NH₃ に適用する全自動再生型の精製装置です。複数の吸着塔を並列に配し、常温精製と高温再生の二モードで交互に運転することで、H₂O、O₂、CO₂、NMHC の出口濃度をいずれも 1 ppb 以下に制御します。流量は 10～100 Nm³/h、使用寿命は 20 年以上です。
特長・仕様
指標表（適用ガス：NH₃）
| 不純物 | 入口 INLET (ppm) | BSS21 出口 (ppb) |
|---|---|---|
| 方式 | — | ADS |
| H₂O | < 3 | < 1 |
| O₂ | < 1 | < 1 |
| CO₂ | < 1 | < 1 |
| NMHC | < 1 | < 1 |
| 微粒子 PARTICLES | — | ≤ 1 pcs/m³ (@0.003μm) |
| 流量範囲 | — | 10–100 Nm³/h |
表は標準型番の指標と構成のみを示しています。その他の特殊仕様についてはお問い合わせください。
詳細説明
適用の背景
アンモニアは LED、GaN エピタキシャル、および一部の薄膜プロセスにおける重要な反応ガスです。ガス源中の微量の水分と酸素はエピタキシャル品質と素子歩留まりに直接影響するため、高度なプロセスでは通常、使用点に精製設備を追加します。 GaN 系エピタキシャルではアンモニアが窒素源であり、使用量が多く滞留時間も長いため、ガス中の水と酸素が高温下で反応に関与し、欠陥密度の上昇と発光効率の低下を招きます。この種の影響は完成品の電気特性試験で初めて表れることが多く原因追跡が難しいため、前段でガス源を整えることが最もコストの低い対策になります。工程紹介
BSS21 シリーズアンモニア精製装置は複数の吸着塔を並列に配し、常温精製と高温再生の二モードで交互に運転します。使用寿命は 20 年以上です。製品特長
・全自動運転で 24 時間連続供給 ・破裂板と安全弁による放圧、高温機械インターロックと警報機能を装備 ・PLC 制御で、警報、高温インターロック、データ記録の機能を備えます ・出口の H₂O、O₂、CO₂、NMHC はいずれも < 1 ppb ・出口微粒子 ≤ 1 pcs/m³ (@0.003 μm)適用プロセスと業界
・LED と GaN エピタキシャル（MOCVD）：アンモニアを窒素源として使用 ・窒化ケイ素薄膜堆積（SiN CVD）：アンモニアとシランの反応 ・パワーデバイスと RF デバイス：GaN-on-Si／GaN-on-SiC プロセス ・窒化熱処理：金属表面の硬化処理 ・電子級アンモニアの分装・充填ステーション現場配置と設置のポイント
・アンモニアは毒性と腐食性があり、系統全体を特殊ガス規則に従って設計：専用ガスキャビネット、排気（Exhaust）、漏洩検知、緊急遮断を含みます ・材質適合性の確認：アンモニアは銅と銅合金を腐食するため、配管とバルブに銅を含めてはいけません ・排出は処理が必要：再生排気とパージガスはアンモニアを含むため、スクラバー（Scrubber）または専用処理系統へ導く必要があり、直接排出はできません ・乾燥とパージ：系統に水があるとアンモニアが腐食性のアンモニア水を形成するため、設置後もメンテナンス後も乾燥不活性ガスで十分にパージしてください ・要員の防護：作業エリアには適切な個人防護具と緊急シャワー設備が必要です ・液体アンモニア気化の安定供給：上流の気化能力が不足すると流量と圧力の変動を招き、精製効果に影響しますメンテナンスと再生
・吸着塔は PLC が自動でスケジュールして再生します。吸着材料の設計寿命は 20 年以上 ・分解作業の前には必ず十分にパージし、残留アンモニア濃度が安全値まで下がったことを確認してください ・日常メンテナンスの重点：漏洩検知器の校正、排気系統の負圧確認、バルブ動作と温度制御の校正 ・腐食性があるため、年次定期修理ではガスケットとシール材の劣化状況も併せて点検してください近い機種との選び分け
| 機種 | 適用ガス | 流量 | 備考 |
|---|---|---|---|
| BSS21（本機種） | NH₃ | 10–100 Nm³/h | 全自動再生、生産ラインの使用量に対応 |
| BSP 常温 POU（配合 72） | NH₃ などの特殊ガス | 5–4000 SLPM | 小流量の使用点向け、工場返送再生 |
| BSP 常温 POU（配合 44） | NH₃ を含む混合ガス | 5–4000 SLPM | 有機物除去を主目的とする構成 |
