가스 정제기
암모니아 정제기
제품 개요
NH₃ 에 적용하는 전자동 재생형 정제기입니다. 다수의 흡착탑을 병렬로 배치해 상온 정제와 고온 재생을 번갈아 수행하며 H₂O, O₂, CO₂, NMHC 의 출구 농도를 모두 1 ppb 이하로 제어합니다. 유량 10~100 Nm³/h, 사용 수명 20 년 이상입니다.
제품 특성
지표표 (적용 가스: NH₃)
| 불순물 | 입구 INLET (ppm) | BSS21 출구 (ppb) |
|---|---|---|
| 방식 | — | ADS |
| H₂O | < 3 | < 1 |
| O₂ | < 1 | < 1 |
| CO₂ | < 1 | < 1 |
| NMHC | < 1 | < 1 |
| 미립자 PARTICLES | — | ≤ 1 pcs/m³ (@0.003μm) |
| 유량 범위 | — | 10–100 Nm³/h |
표에는 표준 모델의 지표와 구성만 기재되어 있습니다. 기타 특수 요구 사항은 별도로 문의해 주십시오.
상세 설명
적용 배경
암모니아는 LED, GaN 에피택시, 일부 박막 공정의 중요한 반응 가스입니다. 가스원의 미량 수분과 산소가 에피택시 품질과 소자 수율에 직접 영향을 주므로 고급 공정에서는 보통 사용점에 정제 설비를 추가합니다. GaN 계 에피택시에서 암모니아는 질소원이며 사용량이 많고 체류 시간도 길어, 가스 속 물과 산소가 고온에서 반응에 참여해 결함 밀도를 높이고 발광 효율을 떨어뜨립니다. 이런 영향은 완제품 전기적 시험에서야 드러나는 경우가 많아 원인을 되짚기 어려우므로, 앞단에서 가스원을 잘 관리하는 것이 가장 비용이 적게 드는 방법입니다.공정 소개
BSS21 시리즈는 다수의 흡착탑을 병렬로 배치해 상온 정제와 고온 재생을 번갈아 수행하며 사용 수명은 20 년 이상입니다.제품 특징
・전자동 운전으로 24 시간 무중단 공급 ・파열판과 안전밸브로 방압하고 고온 기계 인터록과 경보 기능을 갖춤 ・PLC 제어로 경보, 고온 인터록, 데이터 기록 기능을 제공 ・출구의 H₂O, O₂, CO₂, NMHC 모두 < 1 ppb ・출구 미립자 ≤ 1 pcs/m³ (@0.003 μm)적용 공정과 산업
・LED 와 GaN 에피택시(MOCVD): 암모니아를 질소원으로 사용 ・질화규소 박막 증착(SiN CVD): 암모니아와 실란의 반응 ・전력 소자와 RF 소자: GaN-on-Si / GaN-on-SiC 공정 ・질화 열처리: 금속 표면 경화 처리 ・전자급 암모니아의 분장·충전 스테이션현장 배치와 설치 요점
・암모니아는 독성과 부식성이 있어 전 계통을 특수 가스 규정에 따라 설계: 전용 가스 캐비닛, 배기(Exhaust), 누설 검지, 비상 차단을 포함합니다 ・재질 적합성 확인: 암모니아는 구리와 구리 합금을 부식시키므로 배관과 밸브에 구리가 들어가서는 안 됩니다 ・배출은 처리를 거쳐야 함: 재생 배기와 퍼지 가스에는 암모니아가 들어 있어 스크러버(Scrubber)나 전용 처리 계통으로 유도해야 하며 직접 배출은 금지입니다 ・건조와 퍼지: 계통에 물이 있으면 암모니아가 부식성 암모니아수를 형성하므로, 설치 후와 정비 후 모두 건조 불활성 가스로 철저히 퍼지해야 합니다 ・인력 보호: 작업 구역에는 적절한 개인 보호구와 비상 샤워 설비가 필요합니다 ・액체 암모니아 기화의 안정적 공급: 상류 기화 능력이 부족하면 유량과 압력이 흔들려 정제 효과에 영향을 줍니다유지보수와 재생
・흡착탑은 PLC 가 자동으로 재생 일정을 잡으며 흡착 재료 설계 수명은 20 년 이상 ・어떤 분해 작업이든 그 전에 완전히 퍼지하고 잔류 암모니아 농도가 안전값까지 내려갔는지 확인해야 합니다 ・일상 유지보수의 핵심: 누설 검지기 교정, 배기 계통의 부압 확인, 밸브 동작과 온도 제어 교정 ・부식성이 있으므로 연차 정기 보수에서는 개스킷과 밀봉재의 열화 상태도 함께 점검하십시오인접 기종과의 선택
| 기종 | 적용 가스 | 유량 | 비고 |
|---|---|---|---|
| BSS21 (본 기종) | NH₃ | 10–100 Nm³/h | 전자동 재생, 생산 라인 사용량에 적합 |
| BSP 상온 POU (배합 72) | NH₃ 등 특수 가스 | 5–4000 SLPM | 소유량 사용점, 공장 반송 재생 |
| BSP 상온 POU (배합 44) | NH₃ 를 포함한 혼합 가스 | 5–4000 SLPM | 유기물 제거가 주목적 |
