Thiết bị tinh chế khí
Thiết bị tinh chế khí amoniac
Tổng quan sản phẩm
Thiết bị tinh chế tái sinh tự động hoàn toàn dùng cho NH₃. Nhiều bình hấp phụ ghép song song, luân phiên giữa tinh chế nhiệt độ thường và tái sinh nhiệt độ cao, kiểm soát nồng độ đầu ra của H₂O, O₂, CO₂, NMHC đều dưới 1 ppb. Lưu lượng 10–100 Nm³/h, tuổi thọ trên 20 năm.
Tính năng & Thông số kỹ thuật
Bảng chỉ tiêu (khí áp dụng: NH₃)
| Tạp chất | Đầu vào INLET (ppm) | BSS21 đầu ra (ppb) |
|---|---|---|
| Công nghệ | — | ADS |
| H₂O | < 3 | < 1 |
| O₂ | < 1 | < 1 |
| CO₂ | < 1 | < 1 |
| NMHC | < 1 | < 1 |
| Hạt PARTICLES | — | ≤ 1 pcs/m³ (@0.003μm) |
| Dải lưu lượng | — | 10–100 Nm³/h |
Bảng chỉ liệt kê chỉ tiêu và cấu hình của các model tiêu chuẩn; các yêu cầu đặc biệt khác vui lòng liên hệ.
Mô tả chi tiết
Bối cảnh ứng dụng
Amoniac là khí phản ứng quan trọng trong LED, epitaxy GaN và một số quy trình màng mỏng. Hơi ẩm và oxy vi lượng trong khí nguồn ảnh hưởng trực tiếp chất lượng epitaxy và hiệu suất linh kiện, nên các quy trình cao cấp thường lắp thêm thiết bị tinh chế tại điểm sử dụng. Trong epitaxy hệ GaN, amoniac là nguồn nitơ, dùng nhiều và thời gian lưu dài, nên nước và oxy trong khí sẽ tham gia phản ứng ở nhiệt độ cao, làm tăng mật độ khuyết tật và giảm hiệu suất phát sáng. Loại ảnh hưởng này thường chỉ lộ ra ở khâu kiểm tra điện của thành phẩm, rất khó truy ngược nguyên nhân, nên giữ sạch khí nguồn ở phía trước là cách rẻ nhất.Giới thiệu công nghệ
Dòng BSS21 ghép song song nhiều bình hấp phụ, luân phiên giữa tinh chế nhiệt độ thường và tái sinh nhiệt độ cao, tuổi thọ trên 20 năm.Đặc điểm sản phẩm
・Vận hành tự động hoàn toàn, cấp khí liên tục 24 giờ ・Trang bị đĩa nổ và van an toàn để xả áp, khóa liên động cơ khí nhiệt độ cao và chức năng cảnh báo ・Điều khiển bằng PLC, có chức năng cảnh báo, khóa liên động nhiệt độ cao và ghi dữ liệu ・H₂O, O₂, CO₂, NMHC ở đầu ra đều < 1 ppb ・Hạt ở đầu ra ≤ 1 pcs/m³ (@0.003 μm)Quy trình và ngành áp dụng
・Epitaxy LED và GaN (MOCVD): amoniac làm nguồn nitơ ・Lắng đọng màng nitrua silic (SiN CVD): amoniac phản ứng với silan ・Linh kiện công suất và linh kiện RF: quy trình GaN-on-Si / GaN-on-SiC ・Xử lý nhiệt thấm nitơ: làm cứng bề mặt kim loại ・Trạm chiết và nạp amoniac cấp điện tửBố trí hiện trường và lưu ý lắp đặt
・Amoniac có độc tính và ăn mòn, toàn hệ phải thiết kế theo quy định khí đặc biệt: gồm tủ khí chuyên dụng, hút khí (Exhaust), dò rò và ngắt khẩn cấp ・Xác nhận tính tương thích vật liệu: amoniac ăn mòn đồng và hợp kim đồng, đường ống và van không được chứa đồng ・Khí thải phải qua xử lý: khí tái sinh và khí thổi có chứa amoniac, phải đưa vào tháp rửa (Scrubber) hoặc hệ xử lý chuyên dụng, không được xả thẳng ・Sấy khô và thổi sạch: khi trong hệ có nước, amoniac tạo thành dung dịch amoniac ăn mòn, nên sau lắp đặt và sau mỗi lần bảo trì đều phải thổi sạch triệt để bằng khí trơ khô ・Bảo hộ cho nhân sự: khu vực làm việc cần trang bị bảo hộ cá nhân phù hợp và thiết bị tắm rửa khẩn cấp ・Cấp ổn định từ hóa hơi amoniac lỏng: năng lực hóa hơi phía trên không đủ sẽ gây dao động lưu lượng và áp suất, ảnh hưởng hiệu quả tinh chếBảo trì và tái sinh
・Bình hấp phụ do PLC tự lên lịch tái sinh, vật liệu hấp phụ có tuổi thọ thiết kế trên 20 năm ・Trước bất kỳ thao tác tháo dỡ nào đều phải thổi sạch hoàn toàn và xác nhận nồng độ amoniac tồn dư đã giảm về mức an toàn ・Trọng tâm bảo trì hằng ngày: hiệu chuẩn thiết bị dò rò, xác nhận áp âm của hệ hút khí, tác động van và hiệu chuẩn điều khiển nhiệt độ ・Do tính ăn mòn, bảo dưỡng hằng năm nên kiểm tra thêm tình trạng lão hóa của gioăng và vật liệu làm kínSo sánh với các model lân cận
| Model | Khí áp dụng | Lưu lượng | Ghi chú |
|---|---|---|---|
| BSS21 (model này) | NH₃ | 10–100 Nm³/h | Tái sinh tự động, phù hợp lượng dùng của dây chuyền |
| BSP POU nhiệt độ thường (công thức 72) | NH₃ và khí đặc biệt khác | 5–4000 SLPM | Điểm sử dụng lưu lượng nhỏ, gửi về nhà máy tái sinh |
| BSP POU nhiệt độ thường (công thức 44) | Khí hỗn hợp chứa NH₃ | 5–4000 SLPM | Chủ yếu nhắm vào khử chất hữu cơ |
