氨氣純化器 - Thiết bị tinh chế khí | Baisheng Tech
Mã sản phẩmBSS21Thiết bị tinh chế khí全自動型純化器
Thiết bị tinh chế khí

氨氣純化器

Tổng quan sản phẩm

適用於 NH₃ 的全自動再生型純化器,多個吸附桶並聯、在常溫純化與高溫再生兩種模式下交替工作,H₂O、O₂、CO₂、NMHC 出口濃度均可控制在 1 ppb 以下,流量 10~100 Nm³/h,使用壽命 20 年以上。

Tính năng & Thông số kỹ thuật

指標表(適用氣體:NH₃)

雜質進口 INLET (ppm)BSS21 出口 (ppb)
工藝ADS
H₂O< 3< 1
O₂< 1< 1
CO₂< 1< 1
NMHC< 1< 1
微粒 PARTICLES≤ 1 pcs/m³ (@0.003μm)
流量範圍10–100 Nm³/h
表列為標準型號的指標與配置,其他特殊需求可另行洽詢。
Yêu cầu báo giá

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Điện thoại+886-2-25981958

Mô tả chi tiết

應用背景

氨氣是 LED、GaN 磊晶與部分薄膜製程的重要反應氣體。氣源中的微量水氣與氧會直接影響磊晶品質與元件良率,因此高階製程通常會在用氣端加裝純化設備。

工藝介紹

BSS21 系列氨氣純化器透過多個吸附桶並聯,在常溫純化與高溫再生兩種模式下交替工作,使用壽命大於 20 年。

產品特點

・全自動運行,24 小時不間斷供氣 ・配置爆破片及安全閥卸壓、高溫機械連鎖與報警功能 ・PLC 控制,具備報警、高溫聯鎖與資料記錄功能

安全提醒

氨氣具毒性與腐蝕性,設備配置、排放與洩漏偵測請依現場特殊氣體安全規範辦理。