เครื่องทำบริสุทธิ์แอมโมเนีย - เครื่องทำก๊าซบริสุทธิ์ | Baisheng Tech
รหัสสินค้าBSS21เครื่องทำก๊าซบริสุทธิ์เครื่องทำบริสุทธิ์อัตโนมัติเต็มรูปแบบ
เครื่องทำก๊าซบริสุทธิ์

เครื่องทำบริสุทธิ์แอมโมเนีย

รายละเอียดสินค้า

เครื่องทำบริสุทธิ์ชนิดฟื้นสภาพอัตโนมัติเต็มรูปแบบสำหรับ NH₃ ถังดูดซับหลายถังต่อขนานกัน สลับทำงานระหว่างโหมดทำบริสุทธิ์ที่อุณหภูมิปกติกับโหมดฟื้นสภาพที่อุณหภูมิสูง ควบคุมความเข้มข้นที่ทางออกของ H₂O O₂ CO₂ และ NMHC ให้ต่ำกว่า 1 ppb ทั้งหมด อัตราการไหล 10–100 Nm³/h อายุใช้งานมากกว่า 20 ปี

คุณสมบัติและข้อมูลจำเพาะ

ตารางค่าชี้วัด (ก๊าซที่ใช้ได้:NH₃)

สิ่งเจือปนทางเข้า INLET (ppm)BSS21 ทางออก (ppb)
กระบวนการADS
H₂O< 3< 1
O₂< 1< 1
CO₂< 1< 1
NMHC< 1< 1
อนุภาค PARTICLES≤ 1 pcs/m³ (@0.003μm)
ช่วงอัตราการไหล10–100 Nm³/h
ตารางนี้แสดงค่าชี้วัดและการจัดวางของรุ่นมาตรฐาน ความต้องการพิเศษอื่น ๆ สอบถามเพิ่มเติมได้
ขอใบเสนอราคา

Email:sales@baisheng-tech.com

โทรศัพท์+886-2-25981958

คำอธิบายโดยละเอียด

Background

Ammonia is a key reactant in LED, GaN epitaxy and several thin-film processes. Trace moisture and oxygen in the source gas directly affect epitaxial quality and device yield, so advanced processes normally add purification at the point of use.

Process Description

The BSS21 series runs multiple adsorption beds in parallel, alternating between ambient-temperature purification and high-temperature regeneration, with a service life over 20 years.

Product Features

・Fully automatic operation with 24-hour uninterrupted supply ・Bursting discs and relief valves for pressure release, high-temperature mechanical interlock and alarms ・PLC control with alarm, high-temperature interlock and data logging

Safety Note

Ammonia is toxic and corrosive. Equipment configuration, exhaust handling and leak detection must follow the site's specialty gas safety standards.