Purificadores de gas
Purificador de amoníaco
Descripción del producto
Purificador de regeneración totalmente automática para NH₃. Varios lechos de adsorción en paralelo alternan entre purificación a temperatura ambiente y regeneración a alta temperatura, manteniendo H₂O, O₂, CO₂ y NMHC por debajo de 1 ppb a la salida, con un rango de caudal de 10 a 100 Nm³/h y una vida útil superior a 20 años.
Características y especificaciones
Tabla de prestaciones (gas aplicable: NH₃)
| Impureza | Entrada INLET (ppm) | Salida BSS21 (ppb) |
|---|---|---|
| Proceso | — | ADS |
| H₂O | < 3 | < 1 |
| O₂ | < 1 | < 1 |
| CO₂ | < 1 | < 1 |
| NMHC | < 1 | < 1 |
| Partículas | — | ≤ 1 pcs/m³ (@0.003μm) |
| Rango de caudal | — | 10–100 Nm³/h |
La tabla recoge únicamente la especificación y la configuración de los modelos estándar; consulte para otros requisitos especiales.
Descripción detallada
Contexto
El amoníaco es un gas de reacción importante en LED, epitaxia de GaN y algunos procesos de capa fina. Las trazas de humedad y oxígeno en el gas de origen afectan directamente a la calidad epitaxial y al rendimiento del dispositivo, por lo que los procesos avanzados suelen añadir purificación en el punto de uso. En la epitaxia de GaN el amoníaco es la fuente de nitrógeno, se consume en cantidad y con tiempos de residencia largos, de modo que el agua y el oxígeno del gas participan en la reacción a alta temperatura, elevando la densidad de defectos y reduciendo la eficiencia de emisión. Ese efecto suele aparecer solo en el ensayo eléctrico final, donde rastrear la causa es difícil, lo que convierte el mantener limpio el gas aguas arriba en el enfoque más económico.Descripción del proceso
La serie BSS21 opera con varios lechos de adsorción en paralelo, alternando entre purificación a temperatura ambiente y regeneración a alta temperatura, con una vida útil superior a 20 años.Características del producto
・Operación totalmente automática con suministro ininterrumpido las 24 horas ・Discos de ruptura y válvulas de seguridad para el alivio, con enclavamientos mecánicos de alta temperatura y alarmas ・Control por PLC con funciones de alarma, enclavamiento de alta temperatura y registro de datos ・H₂O, O₂, CO₂ y NMHC a la salida todos < 1 ppb ・Partículas a la salida ≤ 1 pcs/m³ (@0,003 μm)Procesos y sectores de aplicación
・Epitaxia de LED y GaN (MOCVD), con amoníaco como fuente de nitrógeno ・Deposición de capas de nitruro de silicio (SiN CVD), donde el amoníaco reacciona con silano ・Dispositivos de potencia y RF: procesos GaN-on-Si y GaN-on-SiC ・Tratamiento térmico de nitruración: endurecimiento superficial de metales ・Estaciones de trasvase y llenado de amoníaco de grado electrónicoNotas de instalación y disposición
・El amoníaco es tóxico y corrosivo, así que diseñe todo el sistema conforme a la normativa de gases especiales: armario de gas dedicado, extracción, detección de fugas y corte de emergencia ・Confirme la compatibilidad de materiales: el amoníaco corroe el cobre y sus aleaciones, así que la tubería y las válvulas deben estar libres de cobre ・La descarga debe tratarse: el venteo de regeneración y el gas de purga contienen amoníaco y deben ir a un lavador o a un sistema de tratamiento dedicado, nunca directamente a la atmósfera ・Secado y purga: el agua en el sistema forma disolución amoniacal corrosiva, así que purgue a fondo con gas inerte seco tanto tras la instalación como tras cada intervención ・Protección del personal: la zona de trabajo necesita equipos de protección individual adecuados y duchas de emergencia ・Vaporización estable del amoníaco líquido: una capacidad de vaporización insuficiente aguas arriba provoca oscilaciones de caudal y presión que socavan la purificaciónMantenimiento y regeneración
・Los lechos de adsorción se regeneran automáticamente según programación del PLC, con adsorbente diseñado para más de 20 años ・Antes de cualquier desmontaje, purgue por completo y confirme que la concentración residual de amoníaco ha bajado a un valor seguro ・El mantenimiento rutinario se centra en la calibración de los detectores de fuga, la confirmación de presión negativa en la extracción y la calibración de la actuación de válvulas y del control de temperatura ・Por el servicio corrosivo, la revisión anual debe incluir también la comprobación del deterioro de juntas y elementos de estanqueidadCómo elegir entre modelos próximos
| Modelo | Gas aplicable | Caudal | Notas |
|---|---|---|---|
| BSS21 (este modelo) | NH₃ | 10–100 Nm³/h | Regeneración totalmente automática, dimensionado para líneas de producción |
| BSP POU ambiente (formulación 72) | NH₃ y otros gases especiales | 5–4000 SLPM | Punto de uso a bajo caudal, regeneración en fábrica |
| BSP POU ambiente (formulación 44) | Mezclas con NH₃ | 5–4000 SLPM | Orientado sobre todo a la eliminación de orgánicos |
