ガス精製装置
窒素精製装置
製品概要
大流量の全自動再生型窒素精製装置です。BSS8 は二塔以上の吸着塔を並列に配し、常温精製と高温再生の二モードで交互に運転して 24 時間連続供給を実現します。流量は 50000 Nm³/h まで対応。CH₄ も同時に除去する必要がある場合は BSS9 をご選定ください。使用寿命は 20 年以上です。
特長・仕様
指標表（適用ガス：N₂）
| 不純物 | 入口 INLET (ppm) | BSS8 出口 (ppb) |
|---|---|---|
| 方式 | — | ADS |
| H₂O | < 5 | < 1 |
| O₂ | < 3 | < 1 |
| CO | < 1 | < 1 |
| CO₂ | < 1 | < 1 |
| H₂ | < 2 | < 1 |
| CH₄ | < 0.5 | —（CH₄ の除去が必要な場合は BSS9 をご選定ください） |
| NMHC | < 1 | < 1 |
| 微粒子 PARTICLES | — | ≤ 1 pcs/m³ (@0.003μm) |
| 流量範囲 | — | 10–50000 Nm³/h |
表は標準型番の指標と構成のみを示しています。その他の特殊仕様についてはお問い合わせください。
詳細説明
工程紹介
BSS8 シリーズ窒素精製装置は二塔以上の吸着塔を並列に配し、常温精製と高温再生の二モードで交互に運転します。一方が供給、他方が再生を担うことで 24 時間連続供給を実現し、使用寿命は 20 年以上です。 吸着塔の切替は PLC が時間または出口濃度に応じて自動実行し、現場作業員の介入は不要です。ガス源に CH₄ が含まれ、プロセスがそれを許容できない場合は、前段に高温触媒塔を直列配置した BSS9 をご使用ください。
システム構成
・ガス経路部：吸着塔の並列、ゲッター塔の並列、吸着塔とゲッター塔の直列、単一触媒塔と複数吸着塔の組合せという四つの構成モードに、バルブ、配管、熱交換器などを加えたもの ・電気制御部：PLC、加熱素子、温度制御器、圧力センサー、タッチパネルなどで構成され、システム全体の制御、警報、高温インターロック、データ記録を担当製品特長
・特注吸着材料を採用し、ガス精製が安定かつ確実 ・運転の安全性が高く、破裂板と安全弁による放圧、高温機械インターロックと警報機能を装備 ・全自動運転で 24 時間連続供給 ・精製流量が大きく、一式で 10～50000 Nm³/h をカバー。使用寿命 20 年以上 ・出口微粒子 ≤ 1 pcs/m³ (@0.003 μm) で、ユーティリティの高純度窒素幹線に直接接続可能適用プロセスと業界
窒素はウェハー工場で最も使用量の多い大口ガスです。装置のパージ、チャンバーの復圧、ウェハー搬送環境、ユーティリティ配管の保圧まで、ほぼすべての工程で使われます。使用量が多いということは汚染の影響も拡大するということであり、ユーティリティ側での集中精製はほぼ標準構成となっています。 ・12 インチウェハー工場のユーティリティ高純度窒素幹線 ・パネル工場・太陽電池工場の大口不活性ガス供給 ・リチウム電池ドライルーム：極低露点の不活性環境の維持 ・金属熱処理と粉末冶金：高温炉の保護ガス ・食品・医薬品の窒素充填包装：水分と酸素に敏感なライン現場配置と設置のポイント
・通常はユーティリティエリアに設置：寸法も重量も小さくないため、搬入経路、基礎荷重、メンテナンススペースの計画が必要です ・再生排気には独立した経路を：高温再生段階では不純物を含むガスが排出されるため、安全な排出点へ導く必要があります ・電力と冷却：加熱部と熱交換器のユーティリティ要件は機種により異なります。選定時に現場で利用可能な電力条件を併せてお知らせください ・前後の遮断弁とバイパス：定期修理時に精製装置を迂回して基本的な供給を維持できます ・出口側にオンライン分析計を：酸素と水分のオンライン監視が、切替時期の判断と検収の根拠になります ・接地と安全インターロック：高温部は機械インターロックの動作を確認してから運転に投入してくださいメンテナンスと再生
・再生は装置自身の通常動作であり、PLC が自動でスケジュールします。人手の介入は不要です ・吸着材料は通常のガス源条件で設計寿命 20 年以上であり、長周期の消耗品にあたります ・日常メンテナンスの重点はバルブ動作、温度制御素子、センサー校正で、年次定期修理の項目に組み込むことを推奨します ・現場測定器では N₂ 出口の H₂O 濃度が 0.001～0.006 ppbV レベルまで読み取れ、検収基準として利用できます近い機種との選び分け
| 機種 | 方式 | CH₄ の除去 | 流量 | 適用場面 |
|---|---|---|---|---|
| BSS8（本機種） | ADS | 不可 | 10–50000 Nm³/h | 一般的なユーティリティ高純度窒素 |
| BSS9 | CAT+ADS | 可能 | 10–20000 Nm³/h | ガス源に CH₄ を含みプロセスが敏感な場合 |
| BSS8-H（高圧型） | ADS | 不可 | 10–100 Nm³/h | 最高 240 Bar の高圧供給 |
| BSS14 大流量常温型 | 常温吸着 | 不可 | 100–5000 Nm³/h | 臨時供給または予備機 |
