เครื่องทำก๊าซบริสุทธิ์
เครื่องทำบริสุทธิ์ไนโตรเจน
รายละเอียดสินค้า
เครื่องทำบริสุทธิ์ไนโตรเจนอัตราไหลสูงแบบรีเจนอัตโนมัติเต็มรูปแบบ BSS8 ใช้ถังดูดซับตั้งแต่สองถังขึ้นไปต่อขนานกัน สลับทำงานระหว่างโหมดทำบริสุทธิ์ที่อุณหภูมิปกติกับโหมดรีเจนที่อุณหภูมิสูง จ่ายก๊าซต่อเนื่อง 24 ชั่วโมง อัตราการไหลสูงถึง 50000 Nm³/h หากต้องกำจัด CH₄ ด้วยโปรดเลือก BSS9 อายุใช้งานกว่า 20 ปี
คุณสมบัติและข้อมูลจำเพาะ
ตารางชี้วัด (ก๊าซที่ใช้ได้: N₂)
| สิ่งเจือปน | ทางเข้า INLET (ppm) | BSS8 ทางออก (ppb) |
|---|---|---|
| เทคโนโลยี | — | ADS |
| H₂O | < 5 | < 1 |
| O₂ | < 3 | < 1 |
| CO | < 1 | < 1 |
| CO₂ | < 1 | < 1 |
| H₂ | < 2 | < 1 |
| CH₄ | < 0.5 | — (หากต้องกำจัด CH₄ โปรดเลือก BSS9) |
| NMHC | < 1 | < 1 |
| อนุภาค PARTICLES | — | ≤ 1 pcs/m³ (@0.003μm) |
| ช่วงอัตราการไหล | — | 10–50000 Nm³/h |
ตารางแสดงเฉพาะสเปกและการกำหนดค่าของรุ่นมาตรฐาน หากมีความต้องการพิเศษอื่น ๆ โปรดติดต่อสอบถาม
คำอธิบายโดยละเอียด
แนะนำกระบวนการ
ซีรีส์ BSS8 ใช้ถังดูดซับตั้งแต่สองถังขึ้นไปต่อขนานกัน สลับทำงานระหว่างโหมดทำบริสุทธิ์ที่อุณหภูมิปกติกับโหมดรีเจนที่อุณหภูมิสูง ถังหนึ่งจ่ายก๊าซขณะอีกถังรีเจน จึงจ่ายก๊าซได้ต่อเนื่อง 24 ชั่วโมง อายุใช้งานกว่า 20 ปี การสลับถังดำเนินการโดย PLC อัตโนมัติตามเวลาหรือตามความเข้มข้นทางออก เจ้าหน้าที่หน้างานไม่ต้องเข้าไปยุ่ง หากแหล่งก๊าซมี CH₄ และกระบวนการรับไม่ได้ ให้ใช้ BSS9 ซึ่งมีถังเร่งปฏิกิริยาอุณหภูมิสูงต่ออนุกรมไว้ด้านหน้า
องค์ประกอบของระบบ
・ส่วนทางเดินก๊าซ: สี่รูปแบบการผสม ได้แก่ ถังดูดซับหลายถังต่อขนาน ถัง getter หลายถังต่อขนาน ถังดูดซับต่ออนุกรมกับถัง getter และถังเร่งปฏิกิริยาหนึ่งถังคู่กับถังดูดซับหลายถัง พร้อมด้วยวาล์ว ท่อ และเครื่องแลกเปลี่ยนความร้อน ・ส่วนควบคุมไฟฟ้า: PLC ชิ้นส่วนให้ความร้อน ตัวควบคุมอุณหภูมิ เซ็นเซอร์ความดัน และหน้าจอสัมผัส รับผิดชอบการควบคุม การแจ้งเตือน อินเตอร์ล็อกอุณหภูมิสูง และการบันทึกข้อมูลของทั้งระบบจุดเด่นของผลิตภัณฑ์
・ใช้วัสดุดูดซับที่สั่งทำเฉพาะ การทำบริสุทธิ์จึงเสถียรและเชื่อถือได้ ・เดินเครื่องปลอดภัย มีแผ่นระเบิดและวาล์วนิรภัยระบายความดัน อินเตอร์ล็อกเชิงกลอุณหภูมิสูงและระบบแจ้งเตือน ・ทำงานอัตโนมัติเต็มรูปแบบ จ่ายก๊าซต่อเนื่อง 24 ชั่วโมง ・อัตราการทำบริสุทธิ์สูง หนึ่งชุดครอบคลุม 10–50000 Nm³/h อายุใช้งานกว่า 20 ปี ・อนุภาคทางออก ≤ 1 pcs/m³ (@0.003 μm) ต่อเข้าท่อประธานไนโตรเจนความบริสุทธิ์สูงของโรงงานได้โดยตรงกระบวนการและอุตสาหกรรมที่ใช้งาน
ไนโตรเจนเป็นก๊าซปริมาณมากที่ใช้เยอะที่สุดในโรงงานเวเฟอร์ ตั้งแต่การเป่าเครื่องจักร การเติมกลับห้องกระบวนการ สภาพแวดล้อมขนส่งเวเฟอร์ ไปจนถึงการคงความดันในท่อของโรงงาน แทบทุกขั้นตอนใช้ทั้งนั้น ปริมาณการใช้ที่มากหมายความว่าผลกระทบจากการปนเปื้อนก็ถูกขยายตามไปด้วย การทำบริสุทธิ์แบบรวมศูนย์ที่ระดับโรงงานจึงแทบเป็นมาตรฐาน ・ท่อประธานไนโตรเจนความบริสุทธิ์สูงของโรงงานเวเฟอร์ 12 นิ้ว ・การจ่ายก๊าซเฉื่อยปริมาณมากในโรงงานจอแสดงผลและโรงงานเซลล์แสงอาทิตย์ ・ห้องแห้งของแบตเตอรี่ลิเทียม: รักษาสภาพแวดล้อมเฉื่อยที่จุดน้ำค้างต่ำมาก ・การอบชุบโลหะและโลหะผง: ก๊าซป้องกันสำหรับเตาอุณหภูมิสูง ・การบรรจุด้วยไนโตรเจนในสายการผลิตอาหารและยาที่ไวต่อความชื้นและออกซิเจนการจัดวางหน้างานและข้อควรระวังในการติดตั้ง
・โดยทั่วไปติดตั้งในเขตงานระบบของโรงงาน: ทั้งขนาดและน้ำหนักไม่น้อย ต้องวางแผนเส้นทางขนย้าย น้ำหนักที่พื้นรับได้ และพื้นที่สำหรับบำรุงรักษา ・ก๊าซทิ้งจากการรีเจนต้องมีเส้นทางแยกต่างหาก: ช่วงรีเจนอุณหภูมิสูงจะปล่อยก๊าซที่มีสิ่งเจือปน ต้องนำไปยังจุดปล่อยที่ปลอดภัย ・ไฟฟ้าและการระบายความร้อน: ความต้องการด้านสาธารณูปโภคของส่วนให้ความร้อนและเครื่องแลกเปลี่ยนความร้อนต่างกันตามรุ่น เมื่อเลือกรุ่นโปรดแจ้งเงื่อนไขไฟฟ้าที่หน้างานมีอยู่ ・วาล์วตัดตอนหน้าหลังและบายพาส: ช่วงหยุดซ่อมประจำปียังคงจ่ายก๊าซพื้นฐานได้ ・ติดตั้งเครื่องวิเคราะห์ออนไลน์ที่ทางออก: การเฝ้าระวังออกซิเจนและความชื้นแบบต่อเนื่องคือพื้นฐานในการตัดสินจังหวะสลับถังและการตรวจรับ ・การต่อลงดินและอินเตอร์ล็อกความปลอดภัย: ยืนยันว่าอินเตอร์ล็อกของส่วนอุณหภูมิสูงทำงานถูกต้องก่อนนำเข้าใช้งานการบำรุงรักษาและการรีเจน
・การรีเจนเป็นการทำงานปกติของตัวเครื่องเอง PLC จัดตารางให้อัตโนมัติ ไม่ต้องใช้คนเข้าไปยุ่ง ・วัสดุดูดซับมีอายุออกแบบกว่า 20 ปีในสภาพแหล่งก๊าซปกติ จัดเป็นวัสดุสิ้นเปลืองรอบยาวมาก ・จุดเน้นของการบำรุงรักษาประจำวันคือการทำงานของวาล์ว ชิ้นส่วนควบคุมอุณหภูมิ และการสอบเทียบเซ็นเซอร์ ควรบรรจุไว้ในรายการซ่อมบำรุงประจำปี ・เครื่องมือวัดหน้างานอ่านความเข้มข้น H₂O ทางออกใน N₂ ได้ถึงระดับ 0.001–0.006 ppbV ใช้เป็นค่าฐานสำหรับการตรวจรับเลือกอย่างไรระหว่างรุ่นใกล้เคียง
| รุ่น | เทคโนโลยี | กำจัด CH₄ | อัตราการไหล | เหมาะกับงานใด |
|---|---|---|---|---|
| BSS8 (รุ่นนี้) | ADS | ไม่ได้ | 10–50000 Nm³/h | ไนโตรเจนความบริสุทธิ์สูงของโรงงานทั่วไป |
| BSS9 | CAT+ADS | ได้ | 10–20000 Nm³/h | แหล่งก๊าซมี CH₄ และกระบวนการไวต่อสิ่งนี้ |
| BSS8-H (รุ่นแรงดันสูง) | ADS | ไม่ได้ | 10–100 Nm³/h | จ่ายก๊าซแรงดันสูงถึง 240 Bar |
| BSS14 อุณหภูมิปกติอัตราไหลสูง | ดูดซับที่อุณหภูมิปกติ | ไม่ได้ | 100–5000 Nm³/h | จ่ายชั่วคราวหรือเครื่องสำรอง |
