Thiết bị tinh chế khí
Thiết bị tinh chế khí nitơ
Tổng quan sản phẩm
Thiết bị tinh chế nitơ lưu lượng lớn, tái sinh tự động hoàn toàn. BSS8 ghép song song từ hai bình hấp phụ trở lên, luân phiên giữa chế độ tinh chế nhiệt độ thường và tái sinh nhiệt độ cao để cấp khí liên tục 24 giờ, lưu lượng đạt tới 50000 Nm³/h. Khi cần khử cả CH₄ vui lòng chọn BSS9. Tuổi thọ trên 20 năm.
Tính năng & Thông số kỹ thuật
Bảng chỉ tiêu (khí áp dụng: N₂)
| Tạp chất | Đầu vào INLET (ppm) | BSS8 đầu ra (ppb) |
|---|---|---|
| Công nghệ | — | ADS |
| H₂O | < 5 | < 1 |
| O₂ | < 3 | < 1 |
| CO | < 1 | < 1 |
| CO₂ | < 1 | < 1 |
| H₂ | < 2 | < 1 |
| CH₄ | < 0.5 | — (cần khử CH₄ vui lòng chọn BSS9) |
| NMHC | < 1 | < 1 |
| Hạt PARTICLES | — | ≤ 1 pcs/m³ (@0.003μm) |
| Dải lưu lượng | — | 10–50000 Nm³/h |
Bảng chỉ liệt kê chỉ tiêu và cấu hình của các model tiêu chuẩn; các yêu cầu đặc biệt khác vui lòng liên hệ.
Mô tả chi tiết
Giới thiệu công nghệ
Dòng BSS8 ghép song song hai bình hấp phụ trở lên, luân phiên giữa chế độ tinh chế nhiệt độ thường và tái sinh nhiệt độ cao — một bình cấp khí trong khi bình kia tái sinh — nhờ đó cấp khí liên tục 24 giờ, tuổi thọ trên 20 năm. Việc chuyển đổi bình do PLC tự động thực hiện theo thời gian hoặc theo nồng độ đầu ra, nhân viên hiện trường không phải can thiệp. Nếu khí nguồn chứa CH₄ mà quy trình không chấp nhận được, hãy dùng BSS9 với bình xúc tác nhiệt độ cao mắc nối tiếp phía trước.
Cấu thành hệ thống
・Phần đường khí: bốn kiểu tổ hợp gồm nhiều bình hấp phụ song song, nhiều bình getter song song, bình hấp phụ nối tiếp bình getter, và một bình xúc tác kèm nhiều bình hấp phụ, cùng với van, đường ống, bộ trao đổi nhiệt ・Phần điều khiển điện: PLC, phần tử gia nhiệt, bộ điều khiển nhiệt độ, cảm biến áp suất, màn hình cảm ứng, đảm nhiệm điều khiển, cảnh báo, khóa liên động nhiệt độ cao và ghi dữ liệu cho toàn hệĐặc điểm sản phẩm
・Dùng vật liệu hấp phụ đặt riêng, quá trình tinh chế ổn định và đáng tin cậy ・Vận hành an toàn, trang bị đĩa nổ và van an toàn để xả áp, khóa liên động cơ khí nhiệt độ cao và chức năng cảnh báo ・Vận hành tự động hoàn toàn, cấp khí liên tục 24 giờ ・Lưu lượng tinh chế lớn, một bộ bao phủ 10–50000 Nm³/h, tuổi thọ trên 20 năm ・Hạt ở đầu ra ≤ 1 pcs/m³ (@0.003 μm), có thể đấu thẳng vào tuyến nitơ siêu sạch của nhà máyQuy trình và ngành áp dụng
Nitơ là khí lượng lớn được dùng nhiều nhất trong nhà máy wafer — từ thổi máy, nạp lại buồng, môi trường vận chuyển wafer đến giữ áp đường ống nhà máy, hầu như khâu nào cũng dùng. Lượng dùng lớn đồng nghĩa hậu quả của nhiễm bẩn cũng bị khuếch đại, nên tinh chế tập trung ở cấp nhà máy gần như là cấu hình tiêu chuẩn. ・Tuyến nitơ siêu sạch của nhà máy wafer 12 inch ・Cấp khí trơ lượng lớn cho nhà máy tấm nền và nhà máy pin mặt trời ・Phòng khô pin lithium: duy trì môi trường trơ với điểm sương cực thấp ・Xử lý nhiệt kim loại và luyện kim bột: khí bảo vệ cho lò nhiệt độ cao ・Đóng gói nạp nitơ trong thực phẩm và dược phẩm: các dây chuyền nhạy với hơi ẩm và oxyBố trí hiện trường và lưu ý lắp đặt
・Thường đặt tại khu kỹ thuật nhà máy: kích thước và khối lượng đều không nhỏ, cần quy hoạch tuyến vận chuyển, tải trọng nền và không gian bảo trì ・Khí thải tái sinh phải có đường riêng: giai đoạn tái sinh nhiệt độ cao xả ra khí mang tạp chất, phải dẫn tới điểm xả an toàn ・Điện và làm mát: nhu cầu tiện ích của đoạn gia nhiệt và bộ trao đổi nhiệt khác nhau theo model, khi chọn model vui lòng cung cấp điều kiện điện sẵn có tại hiện trường ・Van cách ly hai đầu và đường bypass: khi bảo dưỡng định kỳ vẫn duy trì được cấp khí cơ bản ・Lắp máy phân tích trực tuyến ở đầu ra: giám sát oxy và hơi ẩm là căn cứ để phán đoán thời điểm chuyển bình và để nghiệm thu ・Tiếp địa và khóa liên động an toàn: phải xác nhận khóa liên động cơ khí của đoạn nhiệt độ cao hoạt động đúng rồi mới đưa vào vận hànhBảo trì và tái sinh
・Tái sinh là thao tác thường quy của chính thiết bị, do PLC tự lên lịch, không cần can thiệp thủ công ・Vật liệu hấp phụ có tuổi thọ thiết kế trên 20 năm trong điều kiện khí nguồn bình thường, thuộc loại vật tư chu kỳ rất dài ・Trọng tâm bảo trì hằng ngày là tác động của van, phần tử điều khiển nhiệt độ và hiệu chuẩn cảm biến, nên đưa vào hạng mục bảo dưỡng định kỳ hằng năm ・Thiết bị đo tại hiện trường có thể đọc nồng độ H₂O đầu ra trong N₂ tới mức 0.001–0.006 ppbV, dùng làm mốc nghiệm thuSo sánh với các model lân cận
| Model | Công nghệ | Khử CH₄ | Lưu lượng | Trường hợp phù hợp |
|---|---|---|---|---|
| BSS8 (model này) | ADS | Không | 10–50000 Nm³/h | Nitơ siêu sạch cấp nhà máy thông thường |
| BSS9 | CAT+ADS | Có | 10–20000 Nm³/h | Khí nguồn chứa CH₄ và quy trình nhạy cảm |
| BSS8-H (loại cao áp) | ADS | Không | 10–100 Nm³/h | Cấp khí cao áp tới 240 Bar |
| BSS14 nhiệt độ thường lưu lượng lớn | Hấp phụ nhiệt độ thường | Không | 100–5000 Nm³/h | Cấp tạm hoặc dự phòng |
