氣體純化器
氮氣純化器
產品概述
大流量全自動再生型氮氣純化器。BSS8 以兩組以上吸附桶並聯，在常溫純化與高溫再生兩種模式下交替工作，24 小時不間斷供氣，流量可達 50000 Nm³/h。需要同時去除 CH₄ 時請選 BSS9。使用壽命 20 年以上。
產品特性
指標表（適用氣體：N₂）
| 雜質 | 進口 INLET (ppm) | BSS8 出口 (ppb) |
|---|---|---|
| 工藝 | — | ADS |
| H₂O | < 5 | < 1 |
| O₂ | < 3 | < 1 |
| CO | < 1 | < 1 |
| CO₂ | < 1 | < 1 |
| H₂ | < 2 | < 1 |
| CH₄ | < 0.5 | —（需去除 CH₄ 請選 BSS9） |
| NMHC | < 1 | < 1 |
| 微粒 PARTICLES | — | ≤ 1 pcs/m³ (@0.003μm) |
| 流量範圍 | — | 10–50000 Nm³/h |
表列為標準型號的指標與配置，其他特殊需求可另行洽詢。
詳細說明
工藝介紹
BSS8 系列氮氣純化器透過兩個或多個吸附桶並聯，在常溫純化與高溫再生兩種模式下交替工作，其中一組供氣、另一組再生，達成 24 小時不間斷供氣，使用壽命大於 20 年。 吸附桶切換由 PLC 依時間或出口濃度自動執行，現場人員不需介入。若氣源含 CH₄ 且製程無法接受，請改用在前段串聯高溫催化桶的 BSS9。
系統組成
・氣路部分：多個吸附桶並聯、多個吸氣桶並聯、吸附桶與吸氣桶串聯、單個催化桶配多個吸附桶等四種組合模式，加上閥件、管路、換熱器等 ・電控部分：PLC、加熱元器件、溫度控制器、壓力感測器、觸控螢幕等，負責整套系統的控制、報警、高溫聯鎖與資料記錄產品特點
・採用定製吸附材料，氣體純化穩定可靠 ・運行安全可靠，配置爆破片及安全閥卸壓、高溫機械連鎖與報警功能 ・全自動運行，24 小時不間斷供氣 ・純化流量大，單套可覆蓋 10～50000 Nm³/h，使用壽命 20 年以上 ・出口微粒 ≤ 1 pcs/m³ (@0.003μm)，可直接接入廠務高純氮主幹適用製程與產業
氮氣是晶圓廠用量最大的大宗氣體 —— 從機台吹掃、腔體回填、晶圓傳輸環境到廠務管路保壓，幾乎每個環節都在用。用量大代表污染的後果也放大，因此廠務端的集中純化幾乎是標準配置。 ・12 吋晶圓廠的廠務高純氮主幹 ・面板廠與太陽能廠的大宗惰性氣體供應 ・鋰電池乾燥房：維持極低露點的惰性環境 ・金屬熱處理與粉末冶金：高溫爐的保護氣 ・食品與製藥充氮包裝：對水氣與氧敏感的產線現場配置與安裝要點
・位置通常在廠務區：設備尺寸與重量都不小，需要規劃搬運路徑、基礎承重與維護空間 ・再生排氣要有獨立路徑：高溫再生階段會排出帶雜質的氣體，須導至安全排放點 ・電力與冷卻：加熱段與換熱器的公用需求依機型而異，選型時一併提供現場可用的電力條件 ・前後隔離閥與旁通：歲修時可繞過純化器維持基本供氣 ・出口端配線上分析儀：氧與水氣的線上監測是判斷切換時機與驗收的依據 ・接地與安全聯鎖：高溫段需確認機械連鎖動作正常後才可投入運轉維護與再生
・再生是設備自身的常規動作，由 PLC 自動排程，不需人工介入 ・吸附材料在正常氣源條件下設計壽命 20 年以上，屬於長週期耗材 ・日常維護重點在閥件動作、溫控元件與感測器校驗，建議納入年度歲修項目 ・現場量測儀器的實際讀值可以到 N₂ 出口 H₂O 濃度 0.001～0.006 ppbV 的等級，可作為驗收基準與相鄰機種怎麼選
| 機種 | 工藝 | 可否去除 CH₄ | 流量 | 適用場合 |
|---|---|---|---|---|
| BSS8（本機種） | ADS | 否 | 10–50000 Nm³/h | 一般廠務高純氮 |
| BSS9 | CAT+ADS | 可 | 10–20000 Nm³/h | 氣源含 CH₄ 且製程敏感 |
| BSS8-H（高壓型） | ADS | 否 | 10–100 Nm³/h | 最高 240 Bar 高壓供氣 |
| BSS14 大流量常溫型 | 常溫吸附 | 否 | 100–5000 Nm³/h | 臨時供應或備機 |
