가스 정제기
질소 정제기
제품 개요
대유량 전자동 재생형 질소 정제기입니다. BSS8 은 두 개 이상의 흡착탑을 병렬로 배치해 상온 정제와 고온 재생 두 모드를 번갈아 운전하며 24 시간 무중단으로 가스를 공급하고, 유량은 50000 Nm³/h 까지 대응합니다. CH₄ 도 함께 제거해야 하면 BSS9 를 선택하십시오. 사용 수명은 20 년 이상입니다.
제품 특성
지표표 (적용 가스: N₂)
| 불순물 | 입구 INLET (ppm) | BSS8 출구 (ppb) |
|---|---|---|
| 방식 | — | ADS |
| H₂O | < 5 | < 1 |
| O₂ | < 3 | < 1 |
| CO | < 1 | < 1 |
| CO₂ | < 1 | < 1 |
| H₂ | < 2 | < 1 |
| CH₄ | < 0.5 | — (CH₄ 제거가 필요하면 BSS9 를 선택하십시오) |
| NMHC | < 1 | < 1 |
| 미립자 PARTICLES | — | ≤ 1 pcs/m³ (@0.003μm) |
| 유량 범위 | — | 10–50000 Nm³/h |
표에는 표준 모델의 지표와 구성만 기재되어 있습니다. 기타 특수 요구 사항은 별도로 문의해 주십시오.
상세 설명
공정 소개
BSS8 시리즈는 두 개 이상의 흡착탑을 병렬로 배치해 상온 정제와 고온 재생 두 모드를 번갈아 운전합니다. 한쪽이 공급하는 동안 다른 쪽이 재생하므로 24 시간 무중단 공급이 가능하며 사용 수명은 20 년 이상입니다. 흡착탑 전환은 PLC 가 시간 또는 출구 농도에 따라 자동으로 수행하며 현장 인력의 개입이 필요 없습니다. 가스원에 CH₄ 가 있고 공정이 이를 허용하지 못한다면, 앞단에 고온 촉매탑을 직렬로 배치한 BSS9 를 사용하십시오.
시스템 구성
・가스 경로부: 흡착탑 병렬, 게터탑 병렬, 흡착탑과 게터탑 직렬, 단일 촉매탑에 다수 흡착탑을 조합하는 네 가지 구성 모드에 밸브, 배관, 열교환기 등을 더한 것 ・전기 제어부: PLC, 가열 소자, 온도 제어기, 압력 센서, 터치스크린 등으로 구성되어 시스템 전체의 제어, 경보, 고온 인터록, 데이터 기록을 담당제품 특징
・맞춤 제작 흡착 재료를 사용해 가스 정제가 안정적이고 신뢰할 수 있음 ・운전이 안전하고 확실하며, 파열판과 안전밸브로 방압하고 고온 기계 인터록과 경보 기능을 갖춤 ・전자동 운전으로 24 시간 무중단 공급 ・정제 유량이 커서 한 세트로 10~50000 Nm³/h 를 커버하며 사용 수명 20 년 이상 ・출구 미립자 ≤ 1 pcs/m³ (@0.003 μm) 로 공장의 고순도 질소 주배관에 직접 연결 가능적용 공정과 산업
질소는 웨이퍼 공장에서 사용량이 가장 많은 대용량 가스입니다. 장비 퍼지, 챔버 복압, 웨이퍼 반송 환경, 공장 배관 보압까지 거의 모든 단계에서 쓰입니다. 사용량이 많다는 것은 오염의 결과도 증폭된다는 뜻이므로, 유틸리티 측의 집중 정제는 사실상 표준 구성입니다. ・12 인치 웨이퍼 공장의 고순도 질소 주배관 ・패널 공장과 태양광 공장의 대용량 불활성 가스 공급 ・리튬전지 드라이룸: 극저 노점의 불활성 환경 유지 ・금속 열처리와 분말야금: 고온로의 보호 가스 ・수분과 산소에 민감한 식품·의약품 라인의 질소 충전 포장현장 배치와 설치 요점
・보통 공장 유틸리티 구역에 설치: 크기와 중량이 모두 작지 않으므로 반입 동선, 기초 하중, 정비 공간을 계획해야 합니다 ・재생 배기는 독립 경로로: 고온 재생 단계에서 불순물을 포함한 가스가 배출되므로 안전한 배출점으로 유도해야 합니다 ・전력과 냉각: 가열부와 열교환기의 유틸리티 요구는 기종마다 다르므로, 선정 시 현장에서 사용 가능한 전력 조건을 함께 알려 주십시오 ・전후 차단 밸브와 바이패스: 정기 보수 때 기본 공급을 유지할 수 있습니다 ・출구 측에 온라인 분석기 설치: 산소와 수분의 온라인 감시가 전환 시기 판단과 검수의 근거가 됩니다 ・접지와 안전 인터록: 고온부의 기계 인터록 동작을 확인한 뒤 운전에 투입하십시오유지보수와 재생
・재생은 설비 자체의 통상 동작이며 PLC 가 자동으로 일정을 잡으므로 사람의 개입이 필요 없습니다 ・흡착 재료는 정상적인 가스원 조건에서 설계 수명 20 년 이상으로, 장주기 소모품에 해당합니다 ・일상 유지보수의 핵심은 밸브 동작, 온도 제어 소자, 센서 교정이며 연차 정기 보수 항목에 포함하는 것을 권장합니다 ・현장 계측기는 N₂ 출구의 H₂O 농도를 0.001~0.006 ppbV 수준까지 읽어내며 검수 기준으로 활용할 수 있습니다인접 기종과의 선택
| 기종 | 방식 | CH₄ 제거 | 유량 | 적합한 용도 |
|---|---|---|---|---|
| BSS8 (본 기종) | ADS | 불가 | 10–50000 Nm³/h | 일반적인 공장 고순도 질소 |
| BSS9 | CAT+ADS | 가능 | 10–20000 Nm³/h | 가스원에 CH₄ 가 있고 공정이 민감한 경우 |
| BSS8-H (고압형) | ADS | 불가 | 10–100 Nm³/h | 최대 240 Bar 고압 공급 |
| BSS14 대유량 상온형 | 상온 흡착 | 불가 | 100–5000 Nm³/h | 임시 공급 또는 예비기 |
