ガス精製装置
水素精製装置
製品概要
大流量の水素精製装置です。プロセス要件に応じて吸着式（BSS7-A）、ゲッター式（BSS7-G）、吸着＋ゲッター複合式（BSS7-H）の三方式をご用意しており、出口不純物は 1 ppb 以下に制御できます。流量は 10～1000 Nm³/h をカバーします。
特長・仕様
指標表（適用ガス：H₂）
| 不純物 | 入口 INLET (ppm) | BSS7-A 出口 (ppb) | BSS7-G 出口 (ppb) | BSS7-H 出口 (ppb) |
|---|---|---|---|---|
| 方式 | — | ADS | GET | ADS+GET |
| H₂O | < 5 | < 1 | < 1 | < 1 |
| O₂ | < 3 | < 1 | < 1 | < 1 |
| CO | < 1 | < 1 | < 1 | < 1 |
| CO₂ | < 1 | < 1 | < 1 | < 1 |
| N₂ | < 1 | — | < 1 | < 1 |
| Ar | < 1 | — | — | — |
| CH₄ | < 0.5 | — | < 1 | < 1 |
| NMHC | < 1 | < 1 | < 1 | < 1 |
| 微粒子 PARTICLES | — | ≤ 1 pcs/m³ (@0.003μm) | ≤ 1 pcs/m³ (@0.003μm) | ≤ 1 pcs/m³ (@0.003μm) |
| 流量範囲 | — | 10–1000 Nm³/h | 10–300 Nm³/h | 10–300 Nm³/h |
表は標準型番の指標と構成のみを示しています。その他の特殊仕様についてはお問い合わせください。
詳細説明
三方式の違い
BSS7-A（吸着式、ADS）
複数の吸着塔を並列に配し、常温精製と高温再生の二モードで交互に運転します。使用寿命は 20 年以上。流量が比較的大きく再生サイクルを許容できる場合に適します。BSS7-G（ゲッター式、GET）
一つまたは複数のゲッター塔を並列に配し、高温で精製します。再生は不可で、飽和後はゲッター塔を現場で直接交換します。使用寿命は 3 年以上。構造がシンプルで除去深度が高い方式です。BSS7-H（複合式、ADS+GET）
吸着塔とゲッター塔を直列に接続します。前段は二つの吸着塔を並列に配し、常温精製と高温再生の二モードで交互に運転（寿命 20 年以上）。後段は複数のゲッター塔を並列に配し、高温で同時に精製します。再生は不可で、飽和後は直接交換できます（寿命 5 年以上）。大流量と深い除去を両立します。
選定のご提案
・通常の除去のみで流量が比較的大きい場合 → BSS7-A ・深い除去（N₂、CH₄ を含む）が必要で流量が中程度の場合 → BSS7-G ・両者を兼ねる場合 → BSS7-H適用プロセスと業界
・エピタキシャル：水素はシリコンエピタキシャルと化合物半導体 MOCVD の主要キャリアガスであり、水分と酸素は界面酸化と欠陥を直接引き起こします ・アニールと還元プロセス：高温下の還元雰囲気で、不純物が膜質と電気特性に影響します ・光ファイバープリフォーム：堆積と焼結工程の高純度水素 ・燃料電池と水素エネルギー試験：CO に特に敏感で、微量の CO が触媒を被毒させます ・ガラスと金属の熱処理：酸化を防ぐ保護雰囲気現場配置と設置のポイント
・水素は可燃性ガスであり、系統全体を可燃性ガス規則に従って設計：換気、ガス検知、緊急遮断、防爆区分の設定を含みます ・再生排気とパージガスの処理：再生段階で排出されるガスは水素を含むため、安全な排出または燃焼処理へ導く必要があります ・酸素系統と工具・配管部品を共用しない：交差汚染は高純度系統でも安全面でも問題になります ・接地と静電気対策：配管と装置本体の双方を確実に接地してください ・出口側に CO と水分の分析を：CO は水素系統で最も見落とされやすく、影響の大きい不純物の一つです ・装置寸法とユーティリティ要件は方式と流量により異なります。選定時に現場条件を併せてお知らせくださいメンテナンスと再生
・BSS7-A：吸着塔は PLC が自動でスケジュールして再生します。吸着材料の設計寿命は 20 年以上 ・BSS7-G：ゲッター塔は再生不可で、飽和後は現場交換。寿命は 3 年以上 ・BSS7-H：前段の吸着塔は自動再生（20 年以上）、後段のゲッター塔は定期交換（5 年以上） ・三方式いずれも、日常メンテナンスの重点はバルブ動作、温度制御素子、安全インターロックの定期点検です近い機種との選び分け
| 機種 | 方式 | N₂／CH₄ の除去 | Ar の除去 | 流量 |
|---|---|---|---|---|
| BSS7-A | ADS | 不可 | 不可 | 10–1000 Nm³/h |
| BSS7-G | GET | 可能 | 不可 | 10–300 Nm³/h |
| BSS7-H | ADS+GET | 可能 | 不可 | 10–300 Nm³/h |
| BSS7-C 深冷型 | 液体窒素深冷 ADS | 可能 | 可能 | 10–1000 Nm³/h |
