Gas Purifiers
氫氣純化器
Product Overview
大流量氫氣純化器，依製程需求提供吸附式（BSS7-A）、吸氣式（BSS7-G）與吸附＋吸氣複合式（BSS7-H）三種工藝，出口雜質可控制在 1 ppb 以下，流量涵蓋 10～1000 Nm³/h。
Features & Specifications
指標表（適用氣體：H₂）
| 雜質 | 進口 INLET (ppm) | BSS7-A 出口 (ppb) | BSS7-G 出口 (ppb) | BSS7-H 出口 (ppb) |
|---|---|---|---|---|
| 工藝 | — | ADS | GET | ADS+GET |
| H₂O | < 5 | < 1 | < 1 | < 1 |
| O₂ | < 3 | < 1 | < 1 | < 1 |
| CO | < 1 | < 1 | < 1 | < 1 |
| CO₂ | < 1 | < 1 | < 1 | < 1 |
| N₂ | < 1 | — | < 1 | < 1 |
| Ar | < 1 | — | — | — |
| CH₄ | < 0.5 | — | < 1 | < 1 |
| NMHC | < 1 | < 1 | < 1 | < 1 |
| 微粒 PARTICLES | — | ≤ 1 pcs/m³ (@0.003μm) | ≤ 1 pcs/m³ (@0.003μm) | ≤ 1 pcs/m³ (@0.003μm) |
| 流量範圍 | — | 10–1000 Nm³/h | 10–300 Nm³/h | 10–300 Nm³/h |
表列為標準型號的指標與配置，其他特殊需求可另行洽詢。
