เครื่องทำก๊าซบริสุทธิ์
เครื่องทำบริสุทธิ์ไฮโดรเจน
รายละเอียดสินค้า
เครื่องทำบริสุทธิ์ไฮโดรเจนอัตราไหลสูง มีให้เลือกสามเทคโนโลยีตามความต้องการของกระบวนการ ได้แก่ แบบดูดซับ (BSS7-A) แบบ getter (BSS7-G) และแบบผสมดูดซับกับ getter (BSS7-H) ควบคุมสิ่งเจือปนทางออกได้ต่ำกว่า 1 ppb ครอบคลุมอัตราการไหล 10–1000 Nm³/h
คุณสมบัติและข้อมูลจำเพาะ
ตารางชี้วัด (ก๊าซที่ใช้ได้: H₂)
| สิ่งเจือปน | ทางเข้า INLET (ppm) | BSS7-A ทางออก (ppb) | BSS7-G ทางออก (ppb) | BSS7-H ทางออก (ppb) |
|---|---|---|---|---|
| เทคโนโลยี | — | ADS | GET | ADS+GET |
| H₂O | < 5 | < 1 | < 1 | < 1 |
| O₂ | < 3 | < 1 | < 1 | < 1 |
| CO | < 1 | < 1 | < 1 | < 1 |
| CO₂ | < 1 | < 1 | < 1 | < 1 |
| N₂ | < 1 | — | < 1 | < 1 |
| Ar | < 1 | — | — | — |
| CH₄ | < 0.5 | — | < 1 | < 1 |
| NMHC | < 1 | < 1 | < 1 | < 1 |
| อนุภาค PARTICLES | — | ≤ 1 pcs/m³ (@0.003μm) | ≤ 1 pcs/m³ (@0.003μm) | ≤ 1 pcs/m³ (@0.003μm) |
| ช่วงอัตราการไหล | — | 10–1000 Nm³/h | 10–300 Nm³/h | 10–300 Nm³/h |
ตารางแสดงเฉพาะสเปกและการกำหนดค่าของรุ่นมาตรฐาน หากมีความต้องการพิเศษอื่น ๆ โปรดติดต่อสอบถาม
คำอธิบายโดยละเอียด
ความแตกต่างของสามเทคโนโลยี
BSS7-A (แบบดูดซับ, ADS)
ถังดูดซับหลายถังต่อขนานกัน สลับระหว่างการทำบริสุทธิ์ที่อุณหภูมิปกติกับการรีเจนที่อุณหภูมิสูง อายุใช้งานกว่า 20 ปี เหมาะกับอัตราการไหลที่มากกว่าและยอมรับรอบการรีเจนได้BSS7-G (แบบ getter, GET)
ถัง getter หนึ่งถังหรือหลายถังต่อขนานกัน ทำบริสุทธิ์ที่อุณหภูมิสูง รีเจนไม่ได้ เมื่ออิ่มตัวเปลี่ยนถัง getter ที่หน้างานได้เลย อายุใช้งานกว่า 3 ปี โครงสร้างเรียบง่ายและกำจัดได้ลึกBSS7-H (แบบผสม, ADS+GET)
ถังดูดซับต่ออนุกรมกับถัง getter ด้านหน้าใช้ถังดูดซับสองถังต่อขนาน สลับระหว่างการทำบริสุทธิ์ที่อุณหภูมิปกติกับการรีเจนที่อุณหภูมิสูง (อายุกว่า 20 ปี) ด้านหลังใช้ถัง getter หลายถังต่อขนาน ทำบริสุทธิ์ที่อุณหภูมิสูงพร้อมกัน รีเจนไม่ได้ เมื่ออิ่มตัวเปลี่ยนได้เลย (อายุกว่า 5 ปี) จึงได้ทั้งอัตราการไหลสูงและการกำจัดที่ลึก
คำแนะนำในการเลือกรุ่น
・ต้องการกำจัดตามปกติเท่านั้นและอัตราการไหลค่อนข้างมาก → BSS7-A ・ต้องการกำจัดลึก (รวมถึง N₂ และ CH₄) ที่อัตราการไหลปานกลาง → BSS7-G ・ต้องการทั้งสองอย่าง → BSS7-Hกระบวนการและอุตสาหกรรมที่ใช้งาน
・อิพิแทกซี: ไฮโดรเจนเป็นก๊าซพาหลักของอิพิแทกซีซิลิคอนและ MOCVD ของเซมิคอนดักเตอร์สารประกอบ ความชื้นและออกซิเจนทำให้เกิดออกซิเดชันที่รอยต่อและข้อบกพร่องโดยตรง ・การอบอ่อนและกระบวนการรีดักชัน: บรรยากาศรีดิวซ์ที่อุณหภูมิสูง สิ่งเจือปนกระทบคุณภาพฟิล์มและสมบัติทางไฟฟ้า ・พรีฟอร์มใยแก้วนำแสง: ไฮโดรเจนความบริสุทธิ์สูงสำหรับการเคลือบและการซินเตอร์ ・เซลล์เชื้อเพลิงและการทดสอบพลังงานไฮโดรเจน: ไวต่อ CO เป็นพิเศษ เพราะปริมาณเล็กน้อยก็ทำให้ตัวเร่งปฏิกิริยาเป็นพิษ ・การอบชุบแก้วและโลหะ: บรรยากาศป้องกันการเกิดออกซิเดชันการจัดวางหน้างานและข้อควรระวังในการติดตั้ง
・ไฮโดรเจนเป็นก๊าซติดไฟได้ ทั้งระบบต้องออกแบบตามระเบียบก๊าซติดไฟ: รวมถึงการระบายอากาศ การตรวจจับก๊าซ การตัดฉุกเฉิน และการแบ่งโซนป้องกันการระเบิด ・จัดการก๊าซทิ้งจากการรีเจนและก๊าซเป่าไล่ให้เหมาะสม: ก๊าซที่ปล่อยในช่วงรีเจนมีไฮโดรเจน ต้องนำไปปล่อยอย่างปลอดภัยหรือเข้าสู่การเผาทำลาย ・ห้ามใช้เครื่องมือและอุปกรณ์ท่อร่วมกับระบบออกซิเจน: การปนเปื้อนข้ามเป็นปัญหาทั้งด้านความสะอาดและความปลอดภัย ・การต่อลงดินและการป้องกันไฟฟ้าสถิต: ทั้งท่อและตัวเครื่องต้องต่อลงดินอย่างมั่นคง ・ติดตั้งการวิเคราะห์ CO และความชื้นที่ทางออก: CO เป็นสิ่งเจือปนที่ถูกมองข้ามบ่อยที่สุดแต่ส่งผลมากที่สุดในระบบไฮโดรเจน ・ขนาดเครื่องและความต้องการสาธารณูปโภคต่างกันตามเทคโนโลยีและอัตราการไหล เมื่อเลือกรุ่นโปรดแจ้งเงื่อนไขหน้างานมาด้วยการบำรุงรักษาและการรีเจน
・BSS7-A: ถังดูดซับรีเจนอัตโนมัติตามตารางของ PLC วัสดุดูดซับมีอายุออกแบบกว่า 20 ปี ・BSS7-G: ถัง getter รีเจนไม่ได้ เมื่ออิ่มตัวเปลี่ยนที่หน้างาน อายุกว่า 3 ปี ・BSS7-H: ถังดูดซับด้านหน้ารีเจนอัตโนมัติ (กว่า 20 ปี) ส่วนถัง getter ด้านหลังเปลี่ยนตามรอบ (กว่า 5 ปี) ・ทั้งสามเทคโนโลยีมีจุดเน้นของการบำรุงรักษาประจำวันเหมือนกัน คือการตรวจการทำงานของวาล์ว ชิ้นส่วนควบคุมอุณหภูมิ และอินเตอร์ล็อกความปลอดภัยเป็นระยะเลือกอย่างไรระหว่างรุ่นใกล้เคียง
| รุ่น | เทคโนโลยี | กำจัด N₂ / CH₄ | กำจัด Ar | อัตราการไหล |
|---|---|---|---|---|
| BSS7-A | ADS | ไม่ได้ | ไม่ได้ | 10–1000 Nm³/h |
| BSS7-G | GET | ได้ | ไม่ได้ | 10–300 Nm³/h |
| BSS7-H | ADS+GET | ได้ | ไม่ได้ | 10–300 Nm³/h |
| BSS7-C เย็นจัด | ADS เย็นจัดด้วยไนโตรเจนเหลว | ได้ | ได้ | 10–1000 Nm³/h |
