氣體純化器
氫氣純化器
產品概述
大流量氫氣純化器，依製程需求提供吸附式（BSS7-A）、吸氣式（BSS7-G）與吸附＋吸氣複合式（BSS7-H）三種工藝，出口雜質可控制在 1 ppb 以下，流量涵蓋 10～1000 Nm³/h。
產品特性
指標表（適用氣體：H₂）
| 雜質 | 進口 INLET (ppm) | BSS7-A 出口 (ppb) | BSS7-G 出口 (ppb) | BSS7-H 出口 (ppb) |
|---|---|---|---|---|
| 工藝 | — | ADS | GET | ADS+GET |
| H₂O | < 5 | < 1 | < 1 | < 1 |
| O₂ | < 3 | < 1 | < 1 | < 1 |
| CO | < 1 | < 1 | < 1 | < 1 |
| CO₂ | < 1 | < 1 | < 1 | < 1 |
| N₂ | < 1 | — | < 1 | < 1 |
| Ar | < 1 | — | — | — |
| CH₄ | < 0.5 | — | < 1 | < 1 |
| NMHC | < 1 | < 1 | < 1 | < 1 |
| 微粒 PARTICLES | — | ≤ 1 pcs/m³ (@0.003μm) | ≤ 1 pcs/m³ (@0.003μm) | ≤ 1 pcs/m³ (@0.003μm) |
| 流量範圍 | — | 10–1000 Nm³/h | 10–300 Nm³/h | 10–300 Nm³/h |
表列為標準型號的指標與配置，其他特殊需求可另行洽詢。
詳細說明
三種工藝的差異
BSS7-A（吸附式，ADS）
多個吸附桶並聯，在常溫純化與高溫再生兩種模式下交替工作，使用壽命大於 20 年。適合流量較大、可接受再生循環的場合。BSS7-G（吸氣式，GET）
單個或多個吸氣桶並聯，在高溫下純化，不可再生；飽和後吸氣桶直接現場更換，使用壽命大於 3 年。結構簡單、除雜深度高。BSS7-H（複合式，ADS+GET）
吸附桶與吸氣桶串聯，前段兩個吸附桶並聯、在常溫純化與高溫再生兩種模式下交替工作（壽命 20 年以上）；後段多個吸氣桶並聯，同時在高溫下純化、不可再生，飽和後可直接更換（壽命 5 年以上）。兼顧大流量與深度除雜。
選型建議
・只需常規除雜、流量較大 → BSS7-A ・要求深度除雜（含 N₂、CH₄）、流量中等 → BSS7-G ・兩者兼顧 → BSS7-H適用製程與產業
・磊晶（Epitaxy）：氫氣是矽磊晶與化合物半導體 MOCVD 的主要載氣，水氣與氧會直接造成界面氧化與缺陷 ・退火與還原製程：高溫下的還原氣氛，雜質會影響膜質與電性 ・光纖預製棒：沉積與燒結過程的高純氫 ・燃料電池與氫能測試：對 CO 特別敏感，微量 CO 會使觸媒中毒 ・玻璃與金屬熱處理：保護氣氛防止氧化現場配置與安裝要點
・氫氣是可燃氣體，全系統依可燃氣體規範設計：包含通風、氣體偵測、緊急遮斷與防爆區劃分 ・再生排氣與吹掃氣的處理：再生階段排出的氣體含氫，須導至安全排放或燃燒處理 ・避免與氧氣系統共用工具與管件：交叉污染在高純系統與安全上都是問題 ・接地與靜電防護：管路與設備本體都要確實接地 ・出口端配 CO 與水氣分析：CO 是氫氣系統最常被忽略但影響最大的雜質之一 ・設備尺寸與公用需求依工藝與流量而異，選型時一併提供現場條件維護與再生
・BSS7-A：吸附桶由 PLC 自動排程再生，吸附材料設計壽命 20 年以上 ・BSS7-G：吸氣桶不可再生，飽和後現場更換，壽命 3 年以上 ・BSS7-H：前段吸附桶自動再生（20 年以上），後段吸氣桶定期更換（5 年以上） ・三種工藝的日常維護重點都在閥件動作、溫控元件與安全聯鎖的定期檢查與相鄰機種怎麼選
| 機種 | 工藝 | 可否去除 N₂／CH₄ | 可否去除 Ar | 流量 |
|---|---|---|---|---|
| BSS7-A | ADS | 否 | 否 | 10–1000 Nm³/h |
| BSS7-G | GET | 可 | 否 | 10–300 Nm³/h |
| BSS7-H | ADS+GET | 可 | 否 | 10–300 Nm³/h |
| BSS7-C 深冷型 | 液氮深冷 ADS | 可 | 可 | 10–1000 Nm³/h |
