Thiết bị tinh chế khí
Thiết bị tinh chế khí hydro
Tổng quan sản phẩm
Thiết bị tinh chế hydro lưu lượng lớn, cung cấp ba công nghệ theo nhu cầu quy trình: hấp phụ (BSS7-A), getter (BSS7-G) và kết hợp hấp phụ + getter (BSS7-H). Tạp chất đầu ra kiểm soát dưới 1 ppb, lưu lượng bao phủ 10–1000 Nm³/h.
Tính năng & Thông số kỹ thuật
Bảng chỉ tiêu (khí áp dụng: H₂)
| Tạp chất | Đầu vào INLET (ppm) | BSS7-A đầu ra (ppb) | BSS7-G đầu ra (ppb) | BSS7-H đầu ra (ppb) |
|---|---|---|---|---|
| Công nghệ | — | ADS | GET | ADS+GET |
| H₂O | < 5 | < 1 | < 1 | < 1 |
| O₂ | < 3 | < 1 | < 1 | < 1 |
| CO | < 1 | < 1 | < 1 | < 1 |
| CO₂ | < 1 | < 1 | < 1 | < 1 |
| N₂ | < 1 | — | < 1 | < 1 |
| Ar | < 1 | — | — | — |
| CH₄ | < 0.5 | — | < 1 | < 1 |
| NMHC | < 1 | < 1 | < 1 | < 1 |
| Hạt PARTICLES | — | ≤ 1 pcs/m³ (@0.003μm) | ≤ 1 pcs/m³ (@0.003μm) | ≤ 1 pcs/m³ (@0.003μm) |
| Dải lưu lượng | — | 10–1000 Nm³/h | 10–300 Nm³/h | 10–300 Nm³/h |
Bảng chỉ liệt kê chỉ tiêu và cấu hình của các model tiêu chuẩn; các yêu cầu đặc biệt khác vui lòng liên hệ.
Mô tả chi tiết
Khác biệt giữa ba công nghệ
BSS7-A (hấp phụ, ADS)
Nhiều bình hấp phụ ghép song song, luân phiên giữa tinh chế nhiệt độ thường và tái sinh nhiệt độ cao, tuổi thọ trên 20 năm. Phù hợp khi lưu lượng lớn hơn và chấp nhận được chu trình tái sinh.BSS7-G (getter, GET)
Một hoặc nhiều bình getter ghép song song, tinh chế ở nhiệt độ cao, không tái sinh được; sau khi bão hòa thay trực tiếp bình getter tại hiện trường, tuổi thọ trên 3 năm. Kết cấu đơn giản, độ khử tạp sâu.BSS7-H (kết hợp, ADS+GET)
Bình hấp phụ nối tiếp bình getter: phía trước hai bình hấp phụ ghép song song, luân phiên giữa tinh chế nhiệt độ thường và tái sinh nhiệt độ cao (tuổi thọ trên 20 năm); phía sau nhiều bình getter ghép song song, đồng thời tinh chế ở nhiệt độ cao, không tái sinh được, sau khi bão hòa thay trực tiếp (tuổi thọ trên 5 năm). Vừa đạt lưu lượng lớn vừa khử sâu.
Gợi ý chọn model
・Chỉ cần khử tạp thông thường, lưu lượng lớn hơn → BSS7-A ・Cần khử sâu (gồm N₂, CH₄), lưu lượng trung bình → BSS7-G ・Cần cả hai → BSS7-HQuy trình và ngành áp dụng
・Epitaxy: hydro là khí mang chính của epitaxy silic và MOCVD bán dẫn hợp chất, hơi ẩm và oxy gây oxy hóa mặt tiếp giáp và khuyết tật trực tiếp ・Ủ nhiệt và quá trình khử: môi trường khử ở nhiệt độ cao, tạp chất ảnh hưởng chất lượng màng và tính chất điện ・Phôi sợi quang: hydro độ tinh khiết cao cho lắng đọng và thiêu kết ・Pin nhiên liệu và thử nghiệm năng lượng hydro: đặc biệt nhạy với CO, lượng CO vi lượng làm ngộ độc xúc tác ・Xử lý nhiệt thủy tinh và kim loại: môi trường bảo vệ chống oxy hóaBố trí hiện trường và lưu ý lắp đặt
・Hydro là khí cháy được, toàn hệ phải thiết kế theo quy định khí cháy: gồm thông gió, dò khí, ngắt khẩn cấp và phân vùng phòng nổ ・Xử lý khí thải tái sinh và khí thổi: khí xả trong giai đoạn tái sinh có chứa hydro, phải dẫn tới xả an toàn hoặc xử lý bằng đốt ・Không dùng chung dụng cụ và phụ kiện với hệ oxy: nhiễm bẩn chéo là vấn đề cả về độ sạch lẫn an toàn ・Tiếp địa và chống tĩnh điện: cả đường ống lẫn thân thiết bị đều phải tiếp địa chắc chắn ・Bố trí phân tích CO và ẩm ở đầu ra: CO là một trong những tạp chất dễ bị bỏ qua nhất nhưng ảnh hưởng lớn nhất trong hệ hydro ・Kích thước thiết bị và nhu cầu tiện ích khác nhau theo công nghệ và lưu lượng, khi chọn model vui lòng cung cấp điều kiện hiện trườngBảo trì và tái sinh
・BSS7-A: bình hấp phụ do PLC tự lên lịch tái sinh, vật liệu hấp phụ có tuổi thọ thiết kế trên 20 năm ・BSS7-G: bình getter không tái sinh được, sau khi bão hòa thay tại hiện trường, tuổi thọ trên 3 năm ・BSS7-H: bình hấp phụ phía trước tự tái sinh (trên 20 năm), bình getter phía sau thay định kỳ (trên 5 năm) ・Cả ba công nghệ đều có trọng tâm bảo trì hằng ngày là kiểm tra định kỳ tác động van, phần tử điều khiển nhiệt độ và khóa liên động an toànSo sánh với các model lân cận
| Model | Công nghệ | Khử N₂ / CH₄ | Khử Ar | Lưu lượng |
|---|---|---|---|---|
| BSS7-A | ADS | Không | Không | 10–1000 Nm³/h |
| BSS7-G | GET | Có | Không | 10–300 Nm³/h |
| BSS7-H | ADS+GET | Có | Không | 10–300 Nm³/h |
| BSS7-C làm lạnh sâu | ADS lạnh sâu bằng nitơ lỏng | Có | Có | 10–1000 Nm³/h |
