가스 정제기
수소 정제기
제품 개요
대유량 수소 정제기로, 공정 요구에 따라 흡착식(BSS7-A), 게터식(BSS7-G), 흡착＋게터 복합식(BSS7-H) 세 가지 방식을 제공합니다. 출구 불순물은 1 ppb 이하로 제어되며 유량은 10~1000 Nm³/h 를 아우릅니다.
제품 특성
지표표 (적용 가스: H₂)
| 불순물 | 입구 INLET (ppm) | BSS7-A 출구 (ppb) | BSS7-G 출구 (ppb) | BSS7-H 출구 (ppb) |
|---|---|---|---|---|
| 방식 | — | ADS | GET | ADS+GET |
| H₂O | < 5 | < 1 | < 1 | < 1 |
| O₂ | < 3 | < 1 | < 1 | < 1 |
| CO | < 1 | < 1 | < 1 | < 1 |
| CO₂ | < 1 | < 1 | < 1 | < 1 |
| N₂ | < 1 | — | < 1 | < 1 |
| Ar | < 1 | — | — | — |
| CH₄ | < 0.5 | — | < 1 | < 1 |
| NMHC | < 1 | < 1 | < 1 | < 1 |
| 미립자 PARTICLES | — | ≤ 1 pcs/m³ (@0.003μm) | ≤ 1 pcs/m³ (@0.003μm) | ≤ 1 pcs/m³ (@0.003μm) |
| 유량 범위 | — | 10–1000 Nm³/h | 10–300 Nm³/h | 10–300 Nm³/h |
표에는 표준 모델의 지표와 구성만 기재되어 있습니다. 기타 특수 요구 사항은 별도로 문의해 주십시오.
상세 설명
세 가지 방식의 차이
BSS7-A (흡착식, ADS)
다수의 흡착탑을 병렬로 배치해 상온 정제와 고온 재생을 번갈아 수행하며 사용 수명은 20 년 이상입니다. 유량이 비교적 크고 재생 주기를 허용할 수 있는 경우에 적합합니다.BSS7-G (게터식, GET)
하나 또는 여러 개의 게터탑을 병렬로 배치해 고온에서 정제하며 재생은 불가능합니다. 포화 후에는 게터탑을 현장에서 직접 교체하며 사용 수명은 3 년 이상입니다. 구조가 단순하고 제거 깊이가 높습니다.BSS7-H (복합식, ADS+GET)
흡착탑과 게터탑을 직렬로 연결합니다. 앞단은 두 개의 흡착탑을 병렬로 두어 상온 정제와 고온 재생을 번갈아 수행하고(수명 20 년 이상), 후단은 다수의 게터탑을 병렬로 두어 고온에서 동시에 정제하되 재생은 불가능하고 포화 후 직접 교체합니다(수명 5 년 이상). 대유량과 깊은 제거를 함께 얻습니다.
선정 제안
・통상적인 제거만 필요하고 유량이 비교적 큰 경우 → BSS7-A ・깊은 제거(N₂, CH₄ 포함)가 필요하고 유량이 중간인 경우 → BSS7-G ・두 가지를 겸하는 경우 → BSS7-H적용 공정과 산업
・에피택시: 수소는 실리콘 에피택시와 화합물 반도체 MOCVD 의 주요 캐리어 가스이며 수분과 산소가 계면 산화와 결함을 곧바로 일으킵니다 ・어닐링과 환원 공정: 고온의 환원 분위기에서 불순물이 막질과 전기적 특성에 영향을 줍니다 ・광섬유 프리폼: 증착과 소결 공정의 고순도 수소 ・연료전지와 수소 에너지 시험: CO 에 특히 민감하며 미량의 CO 가 촉매를 피독시킵니다 ・유리와 금속 열처리: 산화를 막는 보호 분위기현장 배치와 설치 요점
・수소는 가연성 가스이므로 전 계통을 가연성 가스 규정에 따라 설계: 환기, 가스 검지, 비상 차단, 방폭 구역 구분을 포함합니다 ・재생 배기와 퍼지 가스 처리: 재생 단계에서 배출되는 가스에는 수소가 포함되므로 안전 배출 또는 연소 처리로 유도해야 합니다 ・산소 계통과 공구·배관 부품을 공용하지 말 것: 교차 오염은 고순도 측면에서도 안전 측면에서도 문제가 됩니다 ・접지와 정전기 대책: 배관과 설비 본체 모두 확실히 접지해야 합니다 ・출구 측에 CO 와 수분 분석 설치: CO 는 수소 계통에서 가장 간과되기 쉬우면서 영향이 큰 불순물입니다 ・설비 치수와 유틸리티 요구는 방식과 유량에 따라 다르므로 선정 시 현장 조건을 함께 알려 주십시오유지보수와 재생
・BSS7-A: 흡착탑은 PLC 가 자동으로 재생 일정을 잡으며 흡착 재료 설계 수명은 20 년 이상 ・BSS7-G: 게터탑은 재생 불가이며 포화 후 현장 교체, 수명 3 년 이상 ・BSS7-H: 앞단 흡착탑은 자동 재생(20 년 이상), 후단 게터탑은 정기 교체(5 년 이상) ・세 방식 모두 일상 유지보수의 핵심은 밸브 동작, 온도 제어 소자, 안전 인터록의 정기 점검입니다인접 기종과의 선택
| 기종 | 방식 | N₂ / CH₄ 제거 | Ar 제거 | 유량 |
|---|---|---|---|---|
| BSS7-A | ADS | 불가 | 불가 | 10–1000 Nm³/h |
| BSS7-G | GET | 가능 | 불가 | 10–300 Nm³/h |
| BSS7-H | ADS+GET | 가능 | 불가 | 10–300 Nm³/h |
| BSS7-C 심냉형 | 액체질소 심냉 ADS | 가능 | 가능 | 10–1000 Nm³/h |
