クリーンルーム設備
窒素キャビネット・防湿庫
製品概要
窒素キャビネットは、開封後に使い切っていない電子部品、リフローや半田槽を待つ материалы、ベーク完了品、半導体ウェハーや精密加工の仕掛品を保管します。庫内に窒素を充填して酸素と水分を追い出し、ライン投入までの待機中に吸湿や酸化が進まないようにします。
マイコン制御が庫内湿度を監視し、設定値を超えたときだけ窒素弁を開き、達したら閉じます。連続パージではありません。この制御が窒素コストを決めます。制御がなければガス代がキャビネット自体の償却費を容易に上回ります。
主要仕様
- 制御方式
- 温湿度を同時表示（二色 LED ディスプレイ）。湿度 0~99% RH 誤差 ±3% RH、温度 0~99℃ 誤差 ±1℃。マイコン節ガス装置が設定値超過時に自動で窒素を充填し、到達で自動停止
- 構造形式
- 専用密閉筐体、多層防錆塗装、静電防止塗装も選択可。棚板の高さは調整可能
- 認証
- 第三者認証取得。第三者校正報告書の原本を製品に添付
- 装備
- 温湿度検出装置、電磁制御ガスバルブ、高気密一体成型ハンドル、静電気除去アース。支持脚付きヘビーデューティ PU キャスターで移動と位置決めが容易
仕様一覧
- 構造形式
- 専用密閉筐体、多層防錆塗装、静電防止塗装も選択可。棚板の高さは調整可能
- 制御方式
- 温湿度を同時表示（二色 LED ディスプレイ）。湿度 0~99% RH 誤差 ±3% RH、温度 0~99℃ 誤差 ±1℃。マイコン節ガス装置が設定値超過時に自動で窒素を充填し、到達で自動停止
- 装備
- 温湿度検出装置、電磁制御ガスバルブ、高気密一体成型ハンドル、静電気除去アース。支持脚付きヘビーデューティ PU キャスターで移動と位置決めが容易
- 認証
- 第三者認証取得。第三者校正報告書の原本を製品に添付
型式対照
| タイプ | 扉数 | 棚板耐荷重 kg |
|---|---|---|
| 標準型氮氣櫃 | 4 | 100 |
| 晶圓／晶片專用氮氣櫃 | 6 | 100 |
| 大螢幕電子防潮櫃 | 6 | 100 |
