無塵室設備系列
氮氣櫃 ‧ 防潮櫃
產品概述
氮氣櫃用來存放拆封後尚未用完的濕敏電子零件、等待回焊的物料、烘烤完成的元件，以及晶圓與精密加工中的半成品。櫃內充入氮氣，把含水氣與氧氣的空氣置換出去，讓零件在等待上線的空檔不吸濕，也減少氧化。
微電腦節氣裝置持續監測櫃內濕度，超過設定值才開電磁閥充氮、達到設定值自動停止，而不是一直放氣；搭配高氣密櫃體，氮氣用量才壓得下來。另有不需氣源、靠除濕模組降濕的大螢幕電子防潮櫃。櫃體為多層防鏽烤漆、可選防靜電烤漆，每片層板承重 100 kg，附重型 PU 輪與支撐腳。
關鍵規格
- 控制方式
- 溫濕度同時顯示（雙色 LED 顯示屏）；濕度 0~99% RH 誤差 ±3% RH、溫度 0~99℃ 誤差 ±1℃。微電腦節氣裝置：濕度超過設定值自動充氮、達標自動停止
- 結構形式
- 專用密閉櫃體，多層防鏽烤漆，可選防靜電烤漆；層板高度可調
- 認證
- 隨機附第三方校驗報告原件
- 配備
- 溫濕度探測裝置、電磁控制型氣閥、高氣密一體成型把手、防靜電接地裝置；附重型帶支撐腳 PU 輪，方便移動與定位
規格總表
- 結構形式
- 專用密閉櫃體，多層防鏽烤漆，可選防靜電烤漆；層板高度可調
- 控制方式
- 溫濕度同時顯示（雙色 LED 顯示屏）；濕度 0~99% RH 誤差 ±3% RH、溫度 0~99℃ 誤差 ±1℃。微電腦節氣裝置：濕度超過設定值自動充氮、達標自動停止
- 配備
- 溫濕度探測裝置、電磁控制型氣閥、高氣密一體成型把手、防靜電接地裝置；附重型帶支撐腳 PU 輪，方便移動與定位
- 認證
- 隨機附第三方校驗報告原件
型號對照
| 款式 | 門數 | 每層承重 kg |
|---|---|---|
| 標準型氮氣櫃 | 4 | 100 |
| 晶圓／晶片專用氮氣櫃 | 6 | 100 |
| 大螢幕電子防潮櫃 | 6 | 100 |
詳細說明
標準只管濕度，不管用什麼方法
電子組裝最常引用的是 IPC/JEDEC J-STD-033D（2018 年版，現行）。它對乾燥儲存規定的是濕度門檻，並沒有規定要用氮氣還是除濕模組達成。所以選氮氣櫃或防潮櫃，要看除了濕度以外還怕什麼： 電子防潮櫃：靠除濕模組把濕度降下來，不需要氣源，接電就能用，運轉成本低；降濕速度較慢，而且只處理水氣、不降低氧濃度。 氮氣櫃：靠充氮把濕空氣整個置換掉，降濕快，同時把氧濃度壓低，能一併減少氧化；代價是需要氮氣供應，每次開門後要重新充氣。 只怕受潮的一般濕敏零件與 PCB，防潮櫃就夠；同時怕氧化的焊接端子、裸晶與晶圓，才需要氮氣櫃。地板壽命與乾燥儲存
濕敏元件拆封後開始計算「地板壽命」，超過就要烘烤。依整理 J-STD-033D 的資料，乾燥儲存對地板壽命的影響大致如下，實際條件以標準原文為準：| 情況 | 乾燥櫃條件 | 效果 |
|---|---|---|
| 存放於乾燥櫃 | ≤10% RH | 存放期間地板壽命計時暫停 |
| MSL 2～3（暴露 ≤12 小時） | ≤10% RH，存放滿暴露時間的 5 倍 | 地板壽命可重置 |
| MSL 4～5a | ≤5% RH，存放滿暴露時間的 10 倍 | 地板壽命可重置 |
這張表說明了為什麼濕度設定值不能隨便抓：要讓 MSL 4 以上的零件重置，櫃內要穩定在 5% RH 以下，對櫃體氣密與充氮控制的要求比 10% RH 高得多。
顯示誤差 ±3% RH 要算進設定值
本機濕度顯示誤差 ±3% RH。如果製程要求 ≤5% RH，顯示 5% 時實際可能高到 8%，並不保證符合。合理的做法是把設定值往下壓，例如顯示值控制在 2% 以下，實際濕度才落在 5% 以內。 探頭讀到的是探頭所在位置的濕度，櫃內各層、各角落不一定相同；剛開過門或剛充完氮時差異更明顯。隨機附的第三方校驗報告是探頭出廠時的準確度依據，之後應依廠內量測儀器管理程序定期校驗。氮氣用量是設計出來的
沒有節氣控制的氮氣櫃是持續小流量放氣，氣費往往超過櫃體本身。節氣裝置只在濕度超標時開閥，但它能省多少，取決於另外兩件事：櫃體氣密性，門封不良的櫃子就算有節氣裝置也會一直充氣；開門頻率與開門面積，每開一次門，那一格的空氣就被換掉一次。 實務上省氣最有效的是改變取放習慣：同一批料集中一次取完、不要讓門長時間開著挑料；常取用的料放在同一格；定期檢查門封條有沒有變形或被夾到異物。氮氣用量突然上升，通常是門封或管路接頭出了問題，而不是節氣裝置故障。款式與門數
同樣的櫃體，門數越多、每一格越小，開一扇門時被破壞的空間就越小，濕度恢復越快、耗氣也越少；代價是每一格可放的料盤尺寸受限。大螢幕電子防潮櫃不需要氮氣，6 門設計同樣是為了縮小每次開門的影響範圍。常見問題
零件放進氮氣櫃，地板壽命就停止計算了嗎？
要看櫃內濕度有沒有達到門檻。依整理 IPC/JEDEC J-STD-033D 的資料，存放在 ≤10% RH 的乾燥櫃中，地板壽命計時暫停；MSL 2～3 的零件暴露不超過 12 小時，在 ≤10% RH 存放滿暴露時間的 5 倍可以重置；MSL 4～5a 則要 ≤5% RH 存放滿 10 倍時間。標準只規定濕度，不管用氮氣還是除濕，實際適用條件請以標準原文為準。
氮氣櫃顯示 5% RH，算符合 ≤5% RH 的要求嗎？
不一定。本機濕度顯示誤差 ±3% RH，顯示 5% 時實際可能是 2%～8%。要確保 ≤5% RH，設定值應壓在 2% 左右，讓誤差上限也落在 5% 以內。另外探頭只代表它所在位置，必要時用經校驗的獨立濕度計在不同層位抽查。
6 門和 4 門的氮氣櫃差在哪裡？
差在每次開門被破壞的空間大小。6 門櫃每一格較小，取一盤料只打開六分之一的空間，濕度恢復快、補氮量少，適合晶圓與晶片這類取放頻繁、對濕度與氧化敏感的物料；4 門標準型每格較大，可放較大的料盤或料箱。兩者每片層板都承重 100 kg，櫃體選擇主要看料件尺寸與取放頻率。
