NIPPON MUKI 전용관
BGML 저붕소 HEPA 필터
제품 개요
BGML은 저붕소 Mini-pleats형 HEPA 필터로 효율은 0.3 μm 기준 99.99%입니다. 저붕소 유리섬유 여재와 Mini-pleats 구조를 결합해 반도체 공장 FFU 말단 여과의 저압손 저붕소 사양을 이룹니다.
주요 특징
・저붕소 유리섬유 여재(< 10 ppm B)
・HEPA 효율 99.99% @ 0.3 μm
・Mini-pleats 구조(저압손)
・반도체 FFU 표준 사양
적용 산업: 전자
주요 규격
- 여과 효율
- 99.99%@0.3μm
- 정격 풍량
- 2 – 53 CMM (120 – 3180 CMH)
- 초기 압력손실
- 84 – 98 Pa
- 표준 치수
- W 305–1500 × H 305–1220 × D 65–98 mm
규격 총표
- 여과 효율
- 99.99%@0.3μm
- 정격 풍량
- 2 – 53 CMM (120 – 3180 CMH)
- 초기 압력손실
- 84 – 98 Pa
- 표준 치수
- W 305–1500 × H 305–1220 × D 65–98 mm
모델 대조표
| 번호 | 모델 | 여과 효율 | W (mm) | H (mm) | D (mm) | 풍량 (CMM) | 풍량 (CMH) | 초기 압력손실 (Pa) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | BGML-Z-E41 | 99.99%@0.3μm | 305 | 305 | 65 | 2.0 | 120 | 98 |
| 2 | BGML-Z-E41 | 99.99%@0.3μm | 457 | 457 | 65 | 5.0 | 300 | 98 |
| 3 | BGML-Z-E41 | 99.99%@0.3μm | 305 | 610 | 65 | 4.5 | 270 | 98 |
| 4 | BGML-10-E41 | 99.99%@0.3μm | 610 | 610 | 65 | 10.0 | 600 | 98 |
| 5 | BGML-Z-E41 | 99.99%@0.3μm | 762 | 610 | 65 | 12.5 | 750 | 98 |
| 6 | BGML-Z-E41 | 99.99%@0.3μm | 915 | 610 | 65 | 15.0 | 900 | 98 |
| 7 | BGML-20-E41 | 99.99%@0.3μm | 1220 | 610 | 65 | 20.5 | 1230 | 98 |
| 8 | BGML-Z-E41 | 99.99%@0.3μm | 1500 | 1220 | 65 | 52.5 | 3150 | 98 |
| 9 | BGML-Z-E23 | 99.99%@0.3μm | 305 | 305 | 75 | 2.0 | 120 | 88 |
| 10 | BGML-Z-E23 | 99.99%@0.3μm | 457 | 457 | 75 | 5.0 | 300 | 88 |
| 11 | BGML-Z-E23 | 99.99%@0.3μm | 305 | 610 | 75 | 4.5 | 270 | 88 |
| 12 | BGML-10-E23 | 99.99%@0.3μm | 610 | 610 | 75 | 10.0 | 600 | 88 |
| 13 | BGML-Z-E23 | 99.99%@0.3μm | 762 | 610 | 75 | 12.5 | 750 | 88 |
| 14 | BGML-Z-E23 | 99.99%@0.3μm | 915 | 610 | 75 | 15.0 | 900 | 88 |
| 15 | BGML-20-E23 | 99.99%@0.3μm | 1220 | 610 | 75 | 20.5 | 1230 | 88 |
| 16 | BGML-Z-E23 | 99.99%@0.3μm | 1500 | 1220 | 75 | 52.5 | 3150 | 88 |
| 17 | BGML-Z-E38 | 99.99%@0.3μm | 305 | 305 | 98 | 2.0 | 120 | 84 |
| 18 | BGML-Z-E38 | 99.99%@0.3μm | 457 | 457 | 98 | 5.0 | 300 | 84 |
| 19 | BGML-Z-E38 | 99.99%@0.3μm | 305 | 610 | 98 | 4.5 | 270 | 84 |
| 20 | BGML-10-E38 | 99.99%@0.3μm | 610 | 610 | 98 | 10.0 | 600 | 84 |
| 21 | BGML-Z-E38 | 99.99%@0.3μm | 762 | 610 | 98 | 12.5 | 750 | 84 |
| 22 | BGML-Z-E38 | 99.99%@0.3μm | 915 | 610 | 98 | 15.5 | 930 | 84 |
| 23 | BGML-Z-E38 | 99.99%@0.3μm | 1000 | 610 | 98 | 17.0 | 1020 | 84 |
| 24 | BGML-20-E38 | 99.99%@0.3μm | 1220 | 610 | 98 | 20.5 | 1230 | 84 |
| 25 | BGML-Z-E38 | 99.99%@0.3μm | 1500 | 1220 | 98 | 53.0 | 3180 | 84 |
상세 설명
BGML은 저붕소 사양과 Mini-pleats의 저압손 강점을 결합해 반도체 공장 천장 FFU의 고전적인 선택지가 되었습니다. 웨이퍼 공장의 붕소 AMC 우려와 에너지 소비 요구를 동시에 챙깁니다.
재질과 구조
| 항목 | 사양 |
|---|---|
| 프레임 | ALUMINUM |
| 여재 | GLASS PAPER |
| 최고 사용 온도 | 60°C |
| 상대 습도 | 60%RH |
| 세퍼레이터 | HOT MELT ADHESIVE |
| 개스킷 | EPDM |
| 토출측 보호망 | - |
| 흡입측 보호망 | - |
| 실링재 | POLYURETHANE RESIN |
| 최대 풍량 | Can be calculated on request |
| 최대 최종 압력손실 | 294 |








