โซน NIPPON MUKI
แผ่นกรอง HEPA โบรอนต่ำ BGML
รายละเอียดสินค้า
BGML เป็นแผ่นกรอง HEPA แบบมินิพลีทชนิดโบรอนต่ำ ประสิทธิภาพ 99.99% @ 0.3 μm วัสดุกรองใยแก้วโบรอนต่ำผสานกับโครงสร้างมินิพลีท จึงเป็นสเปกโบรอนต่ำที่ความดันตกคร่อมต่ำสำหรับการกรองปลายทางบน FFU ของโรงงานเซมิคอนดักเตอร์
คุณสมบัติเด่น
・วัสดุกรองใยแก้วโบรอนต่ำ (น้อยกว่า 10 ppm B)
・HEPA 99.99% @ 0.3 μm
・โครงสร้างมินิพลีท (ความดันตกคร่อมต่ำ)
・สเปกมาตรฐานของ FFU ในงานเซมิคอนดักเตอร์
อุตสาหกรรมเป้าหมาย:อิเล็กทรอนิกส์
สเปกสำคัญ
- ประสิทธิภาพการกรอง
- 99.99%@0.3μm
- อัตราลมพิกัด
- 2 – 53 CMM (120 – 3180 CMH)
- ความดันตกเริ่มต้น
- 84 – 98 Pa
- ขนาดมาตรฐาน
- W 305–1500 × H 305–1220 × D 65–98 mm
ตารางสเปก
- ประสิทธิภาพการกรอง
- 99.99%@0.3μm
- อัตราลมพิกัด
- 2 – 53 CMM (120 – 3180 CMH)
- ความดันตกเริ่มต้น
- 84 – 98 Pa
- ขนาดมาตรฐาน
- W 305–1500 × H 305–1220 × D 65–98 mm
ตารางเทียบรุ่น
| ลำดับ | รุ่น | ประสิทธิภาพ | W (mm) | H (mm) | D (mm) | อัตราลม (CMM) | อัตราลม (CMH) | ความดันตกเริ่มต้น (Pa) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | BGML-Z-E41 | 99.99%@0.3μm | 305 | 305 | 65 | 2.0 | 120 | 98 |
| 2 | BGML-Z-E41 | 99.99%@0.3μm | 457 | 457 | 65 | 5.0 | 300 | 98 |
| 3 | BGML-Z-E41 | 99.99%@0.3μm | 305 | 610 | 65 | 4.5 | 270 | 98 |
| 4 | BGML-10-E41 | 99.99%@0.3μm | 610 | 610 | 65 | 10.0 | 600 | 98 |
| 5 | BGML-Z-E41 | 99.99%@0.3μm | 762 | 610 | 65 | 12.5 | 750 | 98 |
| 6 | BGML-Z-E41 | 99.99%@0.3μm | 915 | 610 | 65 | 15.0 | 900 | 98 |
| 7 | BGML-20-E41 | 99.99%@0.3μm | 1220 | 610 | 65 | 20.5 | 1230 | 98 |
| 8 | BGML-Z-E41 | 99.99%@0.3μm | 1500 | 1220 | 65 | 52.5 | 3150 | 98 |
| 9 | BGML-Z-E23 | 99.99%@0.3μm | 305 | 305 | 75 | 2.0 | 120 | 88 |
| 10 | BGML-Z-E23 | 99.99%@0.3μm | 457 | 457 | 75 | 5.0 | 300 | 88 |
| 11 | BGML-Z-E23 | 99.99%@0.3μm | 305 | 610 | 75 | 4.5 | 270 | 88 |
| 12 | BGML-10-E23 | 99.99%@0.3μm | 610 | 610 | 75 | 10.0 | 600 | 88 |
| 13 | BGML-Z-E23 | 99.99%@0.3μm | 762 | 610 | 75 | 12.5 | 750 | 88 |
| 14 | BGML-Z-E23 | 99.99%@0.3μm | 915 | 610 | 75 | 15.0 | 900 | 88 |
| 15 | BGML-20-E23 | 99.99%@0.3μm | 1220 | 610 | 75 | 20.5 | 1230 | 88 |
| 16 | BGML-Z-E23 | 99.99%@0.3μm | 1500 | 1220 | 75 | 52.5 | 3150 | 88 |
| 17 | BGML-Z-E38 | 99.99%@0.3μm | 305 | 305 | 98 | 2.0 | 120 | 84 |
| 18 | BGML-Z-E38 | 99.99%@0.3μm | 457 | 457 | 98 | 5.0 | 300 | 84 |
| 19 | BGML-Z-E38 | 99.99%@0.3μm | 305 | 610 | 98 | 4.5 | 270 | 84 |
| 20 | BGML-10-E38 | 99.99%@0.3μm | 610 | 610 | 98 | 10.0 | 600 | 84 |
| 21 | BGML-Z-E38 | 99.99%@0.3μm | 762 | 610 | 98 | 12.5 | 750 | 84 |
| 22 | BGML-Z-E38 | 99.99%@0.3μm | 915 | 610 | 98 | 15.5 | 930 | 84 |
| 23 | BGML-Z-E38 | 99.99%@0.3μm | 1000 | 610 | 98 | 17.0 | 1020 | 84 |
| 24 | BGML-20-E38 | 99.99%@0.3μm | 1220 | 610 | 98 | 20.5 | 1230 | 84 |
| 25 | BGML-Z-E38 | 99.99%@0.3μm | 1500 | 1220 | 98 | 53.0 | 3180 | 84 |
คำอธิบายโดยละเอียด
BGML ผสานสเปกโบรอนต่ำเข้ากับข้อได้เปรียบด้านความดันตกคร่อมต่ำของมินิพลีท จึงเป็นตัวเลือกคลาสสิกของ FFU บนฝ้าเพดานในโรงงานเซมิคอนดักเตอร์ ตอบโจทย์ทั้งความกังวลเรื่อง AMC กลุ่มโบรอนและข้อกำหนดด้านการใช้พลังงานของโรงงานเวเฟอร์ไปพร้อมกัน
วัสดุและโครงสร้าง
| รายการ | ข้อกำหนด |
|---|---|
| กรอบ | ALUMINUM |
| วัสดุกรอง | GLASS PAPER |
| อุณหภูมิใช้งานสูงสุด | 60°C |
| ความชื้นสัมพัทธ์ | 60%RH |
| แผ่นคั่น | HOT MELT ADHESIVE |
| ปะเก็น | EPDM |
| ตะแกรงป้องกันด้านลมออก | - |
| ตะแกรงป้องกันด้านลมเข้า | - |
| กาวซีล | POLYURETHANE RESIN |
| อัตราลมสูงสุด | Can be calculated on request |
| ความดันตกคร่อมช่วงปลายสูงสุด | 294 |
Airflow vs Pressure Drop (representative)
พื้นที่การใช้งาน
- FFU บนฝ้าเพดานของโรงงานเซมิคอนดักเตอร์ - FFU ของโซนแสงสีเหลืองในโรงงานรับจ้างผลิตเวเฟอร์ - FFU ของห้องคลีนรูมในโรงงานหน่วยความจำข้อแนะนำในการเลือกรุ่น
- อัตราลมสูง → BGMC (แบบแผ่นคั่น) - ความดันตกคร่อมต่ำ → BGML (รุ่นนี้) - ต้องการสารอินทรีย์ต่ำ → TGMLข้อมูลอ้างอิงสำหรับการเลือกใช้
ก่อนสั่งซื้อ โปรดตรวจสอบระดับประสิทธิภาพ ชนิดของวัสดุกรอง และสภาพแวดล้อมการใช้งานว่าตรงกับความต้องการของคุณหรือไม่








