BGMML 저붕소 ULPA 필터

제품 개요

BGMML은 저붕소(Low-Boron) Mini-pleats형 ULPA 필터로 효율은 0.1-0.2 μm 기준 99.9995%입니다. 저붕소 유리섬유 여재를 써서 필터 본체가 붕소 화합물을 방출해 반도체 공정을 오염시키는 것을 막으며, 14nm 이하 선단 공정의 표준 사양입니다. 주요 특징 ・ULPA 효율 99.9995% @ 0.1-0.2 μm ・저붕소 유리섬유 여재(< 10 ppm B) ・Mini-pleats 구조(저압손) ・14nm 이하 공정 표준 사양 적용 산업: 의료, 제약, 전자

주요 규격

여과 효율: 99.9995%@0.1-0.2μm
정격 풍량: 2 – 52.5 CMM (120 – 3150 CMH)
초기 압력손실: 118 – 147 Pa
표준 치수: W 305–1500 × H 305–1220 × D 65–98 mm

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규격 총표

여과 효율: 99.9995%@0.1-0.2μm
정격 풍량: 2 – 52.5 CMM (120 – 3150 CMH)
초기 압력손실: 118 – 147 Pa
표준 치수: W 305–1500 × H 305–1220 × D 65–98 mm

모델 대조표

번호	모델	여과 효율	W (mm)	H (mm)	D (mm)	풍량 (CMM)	풍량 (CMH)	초기 압력손실 (Pa)
1	BGMML-Z-E41	99.9995%@0.1-0.2μm	305	305	65	2.0	120	147
2	BGMML-Z-E41	99.9995%@0.1-0.2μm	305	610	65	4.5	270	147
3	BGMML-Z-E41	99.9995%@0.1-0.2μm	457	457	65	5.0	300	147
4	BGMML-Z-E41	99.9995%@0.1-0.2μm	610	610	65	10.0	598	147
5	BGMML-Z-E41	99.9995%@0.1-0.2μm	762	610	65	12.5	750	147
6	BGMML-Z-E41	99.9995%@0.1-0.2μm	915	610	65	15.0	900	147
7	BGMML-Z-E41	99.9995%@0.1-0.2μm	1220	610	65	20.5	1230	147
8	BGMML-Z-E41	99.9995%@0.1-0.2μm	1500	1220	65	52.5	3150	147
9	BGMML-Z-E38	99.9995%@0.1-0.2μm	305	305	98	2.0	120	118
10	BGMML-Z-E38	99.9995%@0.1-0.2μm	305	610	98	4.5	270	118
11	BGMML-Z-E38	99.9995%@0.1-0.2μm	457	457	98	5.0	300	118
12	BGMML-Z-E38	99.9995%@0.1-0.2μm	610	610	98	10.0	598	118
13	BGMML-Z-E38	99.9995%@0.1-0.2μm	762	610	98	12.5	750	118
14	BGMML-Z-E38	99.9995%@0.1-0.2μm	915	610	98	15.0	900	118
15	BGMML-Z-E38	99.9995%@0.1-0.2μm	1500	1220	98	52.5	3150	118

상세 설명

BGMML은 반도체 선단 공정(14nm 이하)을 위해 설계했습니다. 표준 ULPA 여재 속의 붕소는 고순도 기류에서 석출되어 P-type 도핑 오염을 일으킬 수 있습니다. BGMML은 저붕소 유리섬유를 채택해 붕소 방출량이 < 10 ppm입니다.

재질과 구조

항목	사양
프레임	ALUMINUM
여재	GLASS PAPER
최고 사용 온도	60°C
상대 습도	60%RH
세퍼레이터	HOT MELT ADHESIVE
개스킷	CHLOROPRENE
토출측 보호망	-
흡입측 보호망	-
실링재	POLYURETHANE RESIN
최대 풍량	Can be calculated on request
최대 최종 압력손실	294 (245 when H>760)