PTFE HEPA／ULPA 濾網（鐵氟龍膜・無硼低壓損）
產品概述
關鍵規格
- 效率等級
- H13 / H14 / U15 / U16 / U17
- 過濾效率
- H13 ≥ 99.95%～U17 ≥ 99.999995%（MPPS）
- 初期壓損
- 44–102 Pa @0.45 m/s
- 厚度
- 50 / 52 / 69 / 70 / 86 / 88 / 90 mm
規格總表
- 濾材
- ePTFE 微孔膜＋不織布支撐層複合濾材（無硼、無黏結劑）
- 外框
- 陽極處理鋁框
- 結構形式
- 迷你摺（mini-pleat）
- 隔板
- 熱熔膠分隔條
- 墊片
- 雙面墊片（墊片框）；刀邊框配凝膠槽
- 測試標準
- EN 1822 / ISO 29463
- 效率等級
- H13 / H14 / U15 / U16 / U17
- 過濾效率
- H13 ≥ 99.95%～U17 ≥ 99.999995%（MPPS）
- 額定風量
- 526–2,218 m³/h @0.45 m/s
- 面風速
- 0.45 m/s
- 初期壓損
- 44–102 Pa @0.45 m/s
- 終期壓損
- 建議初期壓損 2 倍時更換
- 標準尺寸
- 570×570, 610×610, 570×1170, 610×760, 610×1220, 1170×1170 mm
- 厚度
- 50 / 52 / 69 / 70 / 86 / 88 / 90 mm
- 客製尺寸
- 尺寸、深度與框型可依圖面訂做
- 最高使用溫度
- ≤ 70°C
- 最高相對濕度
- 100% RH（非結露）
- 適用場合
- 半導體與面板無塵室 FFU、製藥無菌區、醫院手術室、設備微環境、含酸鹼氣體的排氣
- 檢漏測試
- 出廠逐片掃描檢漏並附報告；現場建議用低濃度 PAO 或 PSL
- 認證
- UL 900（可選）
部分數值為同類產品的通用範圍，實際規格以出貨規格書為準。
標準型號與規格
| 型號 | 等級 | 效率 (MPPS) | 尺寸 W×H×D (mm) | 額定風量 (m³/h) | 面風速 (m/s) | 初期壓損 (Pa) | 框型 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| PTFE-MH95-610-610-69 * | H13 | ≥ 99.95% | 610 × 610 × 69 | 603 | 0.45 | 44 | 墊片框 |
| PTFE-MH95-570-1170-69 * | H13 | ≥ 99.95% | 570 × 1170 × 69 | 1,080 | 0.45 | 44 | 墊片框 |
| PTFE-MH995-610-610-69 * | H14 | ≥ 99.995% | 610 × 610 × 69 | 603 | 0.45 | 58 | 墊片框 |
| PTFE-MH995-570-1170-69 * | H14 | ≥ 99.995% | 570 × 1170 × 69 | 1,080 | 0.45 | 58 | 墊片框 |
| PTFE-MH995-610-1220-69 * | H14 | ≥ 99.995% | 610 × 1220 × 69 | 1,206 | 0.45 | 58 | 墊片框 |
| PTFE-MH995-1170-1170-69 * | H14 | ≥ 99.995% | 1170 × 1170 × 69 | 2,218 | 0.45 | 58 | 墊片框 |
| PTFE-MU9995-570-570-50 | U15 | ≥ 99.9995% | 570 × 570 × 50 | 526 | 0.45 | < 73 | 墊片框 |
| PTFE-MU9995-570-1170-50 | U15 | ≥ 99.9995% | 570 × 1170 × 50 | 1,080 | 0.45 | < 73 | 墊片框 |
| PTFE-MU9995-570-1170-70 | U15 | ≥ 99.9995% | 570 × 1170 × 70 | 1,080 | 0.45 | < 73 | 刀邊框（凝膠槽） |
| PTFE-MU9995-570-1170-88 | U15 | ≥ 99.9995% | 570 × 1170 × 88 | 1,080 | 0.45 | < 73 | 刀邊框（凝膠槽） |
| MU9999-610-760-86 | U15 | ≥ 99.9999% | 610 × 760 × 86 | 1,140 | 0.68 | 142 | 墊片框 |
| MU99995-570-1170-52-PTFE | U16 | ≥ 99.99995% | 570 × 1170 × 52 | 1,110 | 0.46 | 102 | 墊片框 |
| PTFE-MU99995-1170-1170-90 * | U16 | ≥ 99.99995% | 1170 × 1170 × 90 | 2,218 | 0.45 | 83 | 刀邊框（凝膠槽） |
| PTFE-MU999995-570-1170-90 * | U17 | ≥ 99.999995% | 570 × 1170 × 90 | 1,080 | 0.45 | 97 | 刀邊框（凝膠槽） |
| PTFE-MU999995-1170-1170-90 * | U17 | ≥ 99.999995% | 1170 × 1170 × 90 | 2,218 | 0.45 | 97 | 刀邊框（凝膠槽） |
型號即本公司 ERP 品號。風量以標稱尺寸計算，壓損為新品初期值。* 型號為依同一規則編號的標準規格，壓損為典型值，出貨以訂單規格書為準。
詳細說明
什麼是 PTFE HEPA／ULPA 濾網
PTFE（聚四氟乙烯，俗稱鐵氟龍）HEPA／ULPA 濾網，是把 PTFE 拉伸成布滿微孔的薄膜（ePTFE），再和不織布支撐層複合成濾材，摺成迷你摺裝進鋁框。和一般玻纖濾網相比，它有三個關鍵差異：同等級壓損約低三分之一到一半、不含硼與磷，不會向製程釋出摻雜物、耐酸鹼與濕氣。這三點正好是半導體、面板與製藥無塵室最在意的事，所以先進製程的 FFU 與天花板 ULPA，越來越多指定 PTFE 濾材。 本頁提供 EN 1822 H13 到 U17 五個等級，570×1170、610×610、1170×1170 等無塵室常用尺寸；每片出廠前逐片掃描檢漏並附報告，UL 900 防火等級可選。表面過濾與深層過濾
表面過濾 vs 深層過濾
濾材剖面示意：左為玻纖濾紙，右為 PTFE 膜複合濾材
示意圖，厚度與粒子尺寸經放大處理。
同等級壓損約低三分之一到一半
同等級初期壓損：PTFE vs 玻纖
圓點為本頁型號（0.45 m/s），灰帶為同等級玻纖的推估範圍
PTFE 值取自型號表，U15 為上限值；玻纖範圍依專利與學術研究的壓損比（PTFE 約為玻纖 1/2～2/3）推估，僅供比較。
為什麼半導體與面板廠指定無硼 PTFE
一般 HEPA／ULPA 的玻纖是硼矽玻璃。蝕刻、濕式清洗區飄散的氫氟酸（HF）蒸氣會侵蝕玻纖，產生三氟化硼（BF₃）等含硼氣體，隨氣流進入無塵室；硼是矽的 p 型摻雜物，沉積在晶圓表面會造成元件電性飄移。玻纖濾紙中的黏結劑也會釋出有機物，成為 AMC（氣態分子污染物）的來源之一。PTFE 膜不含硼、磷與金屬，不需要黏結劑，本身又耐氫氟酸，從源頭排除這兩種污染。 製程越先進，對 AMC 越敏感：EUV 微影、閘極氧化、薄膜沉積等區域，通常同時要求 U16–U17 的效率與無硼濾材，並在上游搭配化學濾網處理酸、鹼與有機氣體。PTFE 與玻纖濾網比較
| 項目 | PTFE 膜濾材 | 玻纖濾材 |
|---|---|---|
| 過濾方式 | 表面過濾：微孔膜在表面攔下粒子 | 深層過濾：粒子在纖維網中層層被捕捉 |
| 同等級初期壓損 | 約為玻纖的 1/2～2/3 | 基準 |
| 硼、磷、金屬 | 不含，無釋出 | 硼矽玻纖與黏結劑可能釋出 |
| 有機物釋氣 | 極低（無黏結劑） | 黏結劑可能釋出有機物 |
| 耐酸鹼、氫氟酸 | 優，PTFE 化學惰性 | 氫氟酸會侵蝕玻纖並生成 BF₃ |
| 耐濕 | 疏水，濕氣不影響效率 | 吸濕後強度與效率可能下降 |
| 耐折與掉纖 | 膜韌性高，不脆裂、不掉纖 | 纖維脆，摺疊與搬運易產生破口 |
| 容塵量 | 低，需前置濾網保護 | 較高 |
| PAO 油霧測漏 | 高濃度會堵塞膜孔，需低濃度或 PSL | 可承受一般 PAO 掃描 |
| 單價 | 較高 | 較低 |
EN 1822 等級怎麼選
| 等級 | 整體效率 (MPPS) | 局部效率 (MPPS) | 穿透率 | 典型用途 |
|---|---|---|---|---|
| H13 | ≥ 99.95% | ≥ 99.75% | 0.05% | 醫院、生技實驗室、設備排氣 |
| H14 | ≥ 99.995% | ≥ 99.975% | 0.005% | 製藥無菌區、ISO 5 無塵室 |
| U15 | ≥ 99.9995% | ≥ 99.9975% | 0.0005% | 半導體封測、面板廠 FFU |
| U16 | ≥ 99.99995% | ≥ 99.99975% | 0.00005% | 半導體前段 ISO 3–4 區 |
| U17 | ≥ 99.999995% | ≥ 99.9999% | 0.000005% | 先進製程 ISO 1–3、設備微環境 |
型式與選型建議
| 應用場合 | 建議等級 | 建議型式 | 前置過濾 |
|---|---|---|---|
| 半導體前段：微影、蝕刻、薄膜 | U16–U17 | 刀邊框＋凝膠槽（PTFE-MU999995 系列） | 化學濾網＋中效 F9 |
| 半導體封測、面板、PCB | U15 | FFU 用 570×1170（PTFE-MU9995 系列） | 中效 F8–F9 |
| 製藥無菌充填、隔離器 | H14 | 墊片框（PTFE-MH995 系列） | 中效 F9 |
| 醫院手術室、生技實驗室 | H13–H14 | 墊片框（PTFE-MH95／MH995 系列） | 中效 F7–F9 |
| 潮濕或含酸鹼氣體的排氣 | H13–H14 | 墊片框 | 初效＋中效 |
PTFE 濾材片材
| 濾材型號 | 效率 (0.3 µm) | 基重 (g/m²) | 厚度 (mm) | 壓損 @5.3 cm/s | 片材規格 |
|---|---|---|---|---|---|
| PTFE99-1.2-1.2 | ≥ 99.99% | 90 (70–110) | 0.45 (0.25–0.65) | 145 Pa (130–160) | 1.2 × 1.2 m |
| PTFE999-1.2-1.2 * | ≥ 99.999% | 90 (70–110) | 0.45 (0.25–0.65) | 200 Pa (180–220) | 1.2 × 1.2 m |
出廠檢漏與現場測漏
每片濾網出廠前都以掃描法逐片檢漏，並附測試報告；UL 900 防火等級可依需求選用。 現場驗收要注意 PTFE 的特性：PAO 等油霧粒子會在膜表面形成油膜、堵住微孔，造成壓損永久上升，光度計法常用的 10 µg/L 以上上游濃度對 PTFE 來說太重。建議改用粒子計數器掃描法，把上游 PAO 濃度壓在數 µg/L 以下，或改用固體的 PSL 乳膠球當測試氣膠，並盡量縮短掃描時間。前置過濾與更換時機
PTFE 膜只在表面攔灰，研究量到純 PTFE 膜的容塵量約 1 g/m²，複合一層熔噴不織布後也只有約 6 g/m²，比玻纖少很多。所以上游一定要有中效 F8–F9 等級的前置濾網，外氣空調箱更要多一道初效。 建議在初期壓損升到 2 倍時更換，例如初期低於 73 Pa 的 PTFE-MU9995-570-1170-50，到 140 Pa 左右就該規劃更換；掃描發現洩漏、或下游微粒數持續上升時也要更換。濾網不可水洗，也不可用壓縮空氣吹，膜面一旦破損就無法修復。常見應用
半導體前段（微影、蝕刻、薄膜、擴散）與封測無塵室 FFU；TFT-LCD、OLED 面板與 PCB 無塵室；製藥無菌充填與隔離器；醫院手術室與生技實驗室；設備內部微環境（EFEM、Stocker）與潔淨工作台；潮濕或含酸鹼氣體的製程排氣。常見問題
PTFE 濾網和玻纖 HEPA／ULPA 差在哪？壓損真的低比較多嗎？
差在攔截方式。玻纖濾紙是厚約 0.4–0.6 mm 的纖維網，粒子在整個厚度裡被層層捕捉（深層過濾）；PTFE 是把聚四氟乙烯拉伸成布滿微孔的薄膜、貼在不織布支撐層上，粒子大多在膜表面就被擋下（表面過濾）。膜很薄、原纖極細，同樣效率下氣流阻力小，專利與學術研究的壓損比約是玻纖的 1/2～2/3。以本頁型號為例，H14 69 mm 的 PTFE-MH995-570-1170-69 在 0.45 m/s 約 58 Pa，U15 50 mm 的 PTFE-MU9995-570-1170-50 低於 73 Pa；同深度的玻纖迷你摺通常要高出五成以上。壓損低的直接好處是 FFU 風機可以降轉速省電，或在同樣風機下提高風量。
為什麼半導體廠要指定無硼的 PTFE ULPA？
一般 HEPA／ULPA 的玻纖是硼矽玻璃，遇到蝕刻、清洗區飄散的氫氟酸蒸氣會被侵蝕，生成三氟化硼（BF₃）等含硼氣體跟著氣流進到無塵室；硼是矽晶圓的 p 型摻雜物，沉積在晶圓表面就會改變元件電性。玻纖濾紙裡的黏結劑也會釋出有機物，成為 AMC（氣態分子污染物）的一部分。PTFE 膜本身不含硼、磷與金屬，也不需要黏結劑，加上耐氫氟酸，所以微影、蝕刻、薄膜這些敏感區多指定 U15–U17 的 PTFE ULPA。要注意框體封膠與墊片也會釋氣，指定無硼時請一併要求整片濾網的釋氣規格。
PTFE 濾網可以用 PAO／DOP 做現場測漏嗎？
可以，但濃度要降。PTFE 是表面過濾，油霧粒子會在膜表面形成油膜、堵住微孔，造成壓損永久上升；光度計法常用的 10 µg/L 以上上游濃度，對 PTFE 來說太重。建議改用粒子計數器掃描法，上游 PAO 濃度壓在數 µg/L 以下，或改用固體的 PSL 乳膠球當測試氣膠，掃描時間也盡量縮短。本頁濾網出廠前都逐片掃描並附報告；現場驗收若一定要用光度計法，請先跟我們確認濃度與時間，避免驗收完壓損就先上升一截。
PTFE 濾網壽命會比玻纖短嗎？一定要加前置濾網嗎？
在乾淨的無塵室循環風裡，兩者壽命差不多，PTFE 甚至更久，因為它不脆、不掉纖，搬運與安裝造成的破口少。真正的弱點是容塵量：PTFE 膜只在表面攔灰，研究量到純 PTFE 膜的容塵量約 1 g/m²，複合一層熔噴不織布後也只有約 6 g/m²，比玻纖少很多。所以上游一定要有中效 F8–F9 等級的前置濾網，外氣空調箱更要多一道初效。建議初期壓損升到 2 倍時更換，例如 PTFE-MU9995-570-1170-50 初期低於 73 Pa，到 140 Pa 左右就該規劃更換。
H13、H14、U15、U16、U17 怎麼選？MPPS 是什麼？
EN 1822 與 ISO 29463 用 MPPS（最易穿透粒徑，一般落在 0.1–0.25 µm）測效率，因為比它大或小的粒子都比較容易被抓，用最難抓的粒徑測才代表最差情況。每升一級，穿透率就降為十分之一：H13 允許穿透 0.05%、H14 0.005%、U15 0.0005%，到 U17 只剩 0.000005%。實務上製藥無菌區與 ISO 5 無塵室用 H14，半導體封測與面板廠 FFU 多用 U15，前段微影、蝕刻等 ISO 3–4 區用 U16–U17。等級越高壓損越高，本頁 H14 69 mm 約 58 Pa、U17 90 mm 的 PTFE-MU999995-570-1170-90 約 97 Pa，選型時要確認風機靜壓夠不夠。
型號要怎麼看？標 * 的是什麼意思？
型號與本公司 ERP 品號一致。以 PTFE-MU9995-570-1170-70 為例：PTFE 代表 PTFE 膜濾材，M 是迷你摺，U 是 ULPA（H 則是 HEPA），9995 是效率 99.9995% 中「99.」後面的位數，最後依序是寬 570、高 1170、深 70 mm。所以 MH95 是 99.95%（H13）、MH995 是 99.995%（H14）、MU999995 是 99.999995%（U17）。標 * 的型號是依同一規則編號的標準規格，表中壓損為典型值，出貨以訂單規格書為準；尺寸、深度與框型都可以依圖面訂做。
可以只買 PTFE 濾材回去自己做濾網嗎？
可以。PTFE 濾材有片材供應：PTFE99-1.2-1.2 是 1.2 × 1.2 m 的 99.99% 級片材，基重約 90 g/m²、厚約 0.45 mm，在 5.3 cm/s 濾材風速下壓損約 145 Pa；需要更高效率可選 99.999% 級的 PTFE999-1.2-1.2（約 200 Pa，訂製品）。適合自己有摺紙設備，或要做設備內小型濾網、通氣濾片的客戶。也可以依尺寸裁切出貨，或直接由我們摺製、上框做成成品。
什麼情況下用玻纖就夠了，不必用 PTFE？
如果環境沒有酸性氣體、製程對硼與有機釋氣不敏感，而且風機靜壓餘裕充足，玻纖 HEPA／ULPA 單價較低、容塵量較高，總持有成本通常比較划算，例如一般醫院病房、食品廠與電子組裝線。值得換 PTFE 的情況是：半導體與面板前段製程、含氫氟酸或酸鹼氣體的循環與排氣區、想壓低 FFU 能耗的大面積天花板，以及高濕環境。可以先在最敏感的區域或最耗電的 FFU 群換成 PTFE，再依實際壓損與電費數據決定是否擴大。
