Màng lọc HEPA, ULPA bằng PTFE (Teflon) không chứa bo, tổn thất áp suất thấp

Khác ở cách bắt giữ hạt. Giấy lọc sợi thủy tinh là lưới sợi dày khoảng 0.4–0.6 mm, hạt bị bắt giữ từng lớp trong suốt chiều dày (lọc chiều sâu); PTFE được kéo giãn thành màng mỏng có vô số vi lỗ, dán lên lớp đỡ vải không dệt, phần lớn hạt bị chặn ngay trên bề mặt màng (lọc bề mặt). Màng rất mỏng, vi sợi cực mảnh nên ở cùng hiệu suất, lực cản dòng khí nhỏ; theo tài liệu sáng chế và nghiên cứu học thuật, tỷ lệ tổn thất áp suất chỉ khoảng 1/2～2/3 so với sợi thủy tinh. Lấy các mã trên trang này làm ví dụ, mã H14 sâu 69 mm PTFE-MH995-570-1170-69 ở 0.45 m/s khoảng 58 Pa, mã U15 sâu 50 mm PTFE-MU9995-570-1170-50 dưới 73 Pa; màng lọc mini-pleat sợi thủy tinh cùng chiều sâu thường cao hơn từ 50% trở lên. Lợi ích trực tiếp của tổn thất áp suất thấp là quạt FFU có thể giảm tốc độ để tiết kiệm điện, hoặc tăng lưu lượng với cùng một quạt.

Sợi thủy tinh trong màng lọc HEPA / ULPA thông thường là thủy tinh borosilicat; khi gặp hơi axit flohydric phát tán từ khu vực khắc và làm sạch, sợi bị ăn mòn và sinh ra các khí chứa bo như bo triflorua (BF₃), theo dòng khí đi vào phòng sạch. Bo là chất pha tạp loại p của wafer silic, lắng đọng trên bề mặt wafer sẽ làm thay đổi đặc tính điện của linh kiện. Chất kết dính trong giấy lọc sợi thủy tinh cũng có thể giải phóng chất hữu cơ, trở thành một phần của AMC (chất nhiễm bẩn phân tử trong không khí). Bản thân màng PTFE không chứa bo, phốt pho và kim loại, không cần chất kết dính, lại chịu được axit flohydric, vì vậy các khu vực nhạy cảm như quang khắc, khắc và màng mỏng thường chỉ định ULPA PTFE cấp U15–U17. Cần lưu ý keo bịt khung và gioăng cũng có thể thoát khí, nên khi chỉ định không chứa bo, hãy yêu cầu luôn thông số thoát khí của cả tấm màng lọc.

Có, nhưng phải giảm nồng độ. PTFE lọc bề mặt, các hạt sương dầu sẽ tạo màng dầu trên bề mặt màng và bít vi lỗ, làm tổn thất áp suất tăng vĩnh viễn; nồng độ phía trước từ 10 µg/L trở lên thường dùng với phương pháp quang kế là quá nặng đối với PTFE. Nên chuyển sang phương pháp quét bằng máy đếm hạt, giữ nồng độ PAO phía trước ở mức vài µg/L trở xuống, hoặc dùng hạt latex PSL dạng rắn làm sol khí thử, và rút ngắn thời gian quét hết mức có thể. Màng lọc trên trang này đều được quét kiểm tra từng tấm trước khi xuất xưởng và kèm báo cáo; nếu việc nghiệm thu tại hiện trường bắt buộc dùng phương pháp quang kế, vui lòng xác nhận trước với chúng tôi về nồng độ và thời gian, tránh trường hợp vừa nghiệm thu xong tổn thất áp suất đã tăng lên một đoạn.

Trong không khí tuần hoàn sạch của phòng sạch, tuổi thọ của hai loại gần như nhau, PTFE thậm chí còn lâu hơn vì không giòn, không rụng sợi, ít bị rách khi vận chuyển và lắp đặt. Điểm yếu thực sự là khả năng chứa bụi: màng PTFE chỉ giữ bụi trên bề mặt, nghiên cứu đo được màng PTFE thuần chứa khoảng 1 g/m² bụi, ghép thêm một lớp vải không dệt thổi nóng chảy cũng chỉ khoảng 6 g/m², ít hơn sợi thủy tinh rất nhiều. Vì vậy phía trước nhất định phải có màng lọc sơ bộ cấp trung bình F8–F9, và AHU lấy gió ngoài trời còn cần thêm một tầng lọc sơ cấp. Nên thay khi tổn thất áp suất tăng lên 2 lần giá trị ban đầu, ví dụ PTFE-MU9995-570-1170-50 ban đầu dưới 73 Pa thì nên lên kế hoạch thay ở khoảng 140 Pa.

EN 1822 và ISO 29463 đo hiệu suất tại MPPS (kích thước hạt xuyên qua nhiều nhất, thường trong khoảng 0.1–0.25 µm), vì hạt lớn hơn hoặc nhỏ hơn kích thước này đều dễ bị bắt hơn, đo ở kích thước khó bắt nhất mới đại diện cho trường hợp xấu nhất. Mỗi lần tăng một cấp, độ xuyên qua giảm còn một phần mười: H13 cho phép xuyên qua 0.05%, H14 0.005%, U15 0.0005%, đến U17 chỉ còn 0.000005%. Trên thực tế, khu vô trùng dược phẩm và phòng sạch ISO 5 dùng H14, đóng gói kiểm tra bán dẫn và FFU nhà máy màn hình chủ yếu dùng U15, còn khu vực ISO 3–4 công đoạn đầu như quang khắc, khắc dùng U16–U17. Cấp càng cao thì tổn thất áp suất càng lớn: trên trang này, mã H14 sâu 69 mm khoảng 58 Pa, mã U17 sâu 90 mm PTFE-MU999995-570-1170-90 khoảng 97 Pa, vì vậy khi lựa chọn cần kiểm tra áp suất tĩnh của quạt có đủ hay không.

Mã sản phẩm trùng với mã hàng ERP của công ty chúng tôi. Lấy PTFE-MU9995-570-1170-70 làm ví dụ: PTFE là vật liệu lọc màng PTFE, M là mini-pleat, U là ULPA (H là HEPA), 9995 là các chữ số sau "99." trong hiệu suất 99.9995%, các số tiếp theo lần lượt là chiều rộng 570, chiều cao 1170 và chiều sâu 70 mm. Do đó MH95 là 99.95% (H13), MH995 là 99.995% (H14), MU999995 là 99.999995% (U17). Các mã có dấu * là quy cách tiêu chuẩn được đánh mã theo cùng quy tắc, tổn thất áp suất trong bảng là giá trị điển hình; khi giao hàng, thông số theo bản đặc tả kỹ thuật của đơn hàng. Kích thước, chiều sâu và kiểu khung đều có thể sản xuất theo bản vẽ.

Có. Vật liệu lọc PTFE được cung cấp dạng tấm: PTFE99-1.2-1.2 là tấm cấp 99.99% kích thước 1.2 × 1.2 m, định lượng khoảng 90 g/m², dày khoảng 0.45 mm, tổn thất áp suất khoảng 145 Pa ở vận tốc qua vật liệu lọc 5.3 cm/s; nếu cần hiệu suất cao hơn có thể chọn PTFE999-1.2-1.2 cấp 99.999% (khoảng 200 Pa, sản xuất theo đơn đặt hàng). Phù hợp với khách hàng có thiết bị xếp nếp riêng, hoặc cần làm màng lọc nhỏ lắp trong thiết bị hay tấm lọc thông hơi. Chúng tôi cũng có thể cắt theo kích thước rồi giao hàng, hoặc trực tiếp xếp nếp, lắp khung thành sản phẩm hoàn chỉnh.

Nếu môi trường không có khí axit, quy trình không nhạy với bo và thoát khí hữu cơ, đồng thời áp suất tĩnh của quạt còn dư nhiều, thì HEPA / ULPA sợi thủy tinh có đơn giá thấp hơn, khả năng chứa bụi cao hơn, tổng chi phí sở hữu thường kinh tế hơn, ví dụ phòng bệnh thông thường, nhà máy thực phẩm và dây chuyền lắp ráp điện tử. Những trường hợp đáng chuyển sang PTFE là: quy trình công đoạn đầu bán dẫn và màn hình, khu vực tuần hoàn và khí thải chứa axit flohydric hoặc khí axit, kiềm, trần FFU diện tích lớn cần giảm điện năng, và môi trường độ ẩm cao. Có thể chuyển sang PTFE trước ở khu vực nhạy cảm nhất hoặc nhóm FFU tiêu tốn điện nhất, rồi dựa vào số liệu tổn thất áp suất và tiền điện thực tế để quyết định có mở rộng hay không.