แผ่นกรอง HEPA และ ULPA แบบ PTFE (เทฟลอน) ปราศจากโบรอน ความดันตกต่ำ
รายละเอียดสินค้า
สเปกสำคัญ
- ระดับประสิทธิภาพ
- H13 / H14 / U15 / U16 / U17
- ประสิทธิภาพการกรอง
- H13 ≥ 99.95% ถึง U17 ≥ 99.999995% (MPPS)
- ความดันตกเริ่มต้น
- 44–102 Pa @0.45 m/s
- ความหนา
- 50 / 52 / 69 / 70 / 86 / 88 / 90 mm
ตารางสเปก
- วัสดุกรอง
- เมมเบรนรูพรุน ePTFE ประกบชั้นรองรับผ้าไม่ทอ (ปราศจากโบรอน ไม่ใช้สารยึดเกาะ)
- กรอบ
- กรอบอะลูมิเนียมอโนไดซ์
- รูปแบบโครงสร้าง
- มินิพลีท (mini-pleat)
- แผ่นคั่น
- เส้นกาวร้อนคั่นระยะ
- ปะเก็น
- ปะเก็นสองด้าน (กรอบปะเก็น); กรอบคมมีดใช้กับร่องเจล
- มาตรฐานการทดสอบ
- EN 1822 / ISO 29463
- ระดับประสิทธิภาพ
- H13 / H14 / U15 / U16 / U17
- ประสิทธิภาพการกรอง
- H13 ≥ 99.95% ถึง U17 ≥ 99.999995% (MPPS)
- อัตราลมพิกัด
- 526–2,218 m³/h @0.45 m/s
- ความเร็วลมหน้ากรอง
- 0.45 m/s
- ความดันตกเริ่มต้น
- 44–102 Pa @0.45 m/s
- ความดันตกสุดท้าย
- แนะนำให้เปลี่ยนเมื่อความดันตกถึง 2 เท่าของค่าเริ่มต้น
- ขนาดมาตรฐาน
- 570×570, 610×610, 570×1170, 610×760, 610×1220, 1170×1170 mm
- ความหนา
- 50 / 52 / 69 / 70 / 86 / 88 / 90 mm
- ขนาดสั่งทำ
- ขนาด ความลึก และรูปแบบกรอบผลิตตามแบบได้
- อุณหภูมิใช้งานสูงสุด
- ≤ 70°C
- ความชื้นสัมพัทธ์สูงสุด
- 100% RH (ไม่ควบแน่น)
- การใช้งาน
- FFU ห้องสะอาดเซมิคอนดักเตอร์และจอแสดงผล พื้นที่ปลอดเชื้อทางเภสัชกรรม ห้องผ่าตัดโรงพยาบาล สภาพแวดล้อมขนาดเล็กของเครื่องจักร ไอเสียที่มีก๊าซกรด / ด่าง
- การทดสอบรั่ว
- ทุกแผ่นผ่านการทดสอบการรั่วแบบสแกนก่อนออกจากโรงงานพร้อมรายงานผล; ที่หน้างานแนะนำให้ใช้ PAO ความเข้มข้นต่ำหรือ PSL
- การรับรอง
- UL 900 (ตัวเลือก)
ค่าบางรายการเป็นช่วงทั่วไปของสินค้ากลุ่มนี้ สเปกจริงยึดตามเอกสารตอนส่งมอบ
รุ่นมาตรฐานและข้อมูลจำเพาะ
| รุ่น | เกรด | ประสิทธิภาพ (MPPS) | ขนาด W×H×D (mm) | อัตราลมพิกัด (m³/h) | ความเร็วลมผ่านหน้า (m/s) | ความดันตกเริ่มต้น (Pa) | กรอบ |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| PTFE-MH95-610-610-69 * | H13 | ≥ 99.95% | 610 × 610 × 69 | 603 | 0.45 | 44 | กรอบปะเก็น |
| PTFE-MH95-570-1170-69 * | H13 | ≥ 99.95% | 570 × 1170 × 69 | 1,080 | 0.45 | 44 | กรอบปะเก็น |
| PTFE-MH995-610-610-69 * | H14 | ≥ 99.995% | 610 × 610 × 69 | 603 | 0.45 | 58 | กรอบปะเก็น |
| PTFE-MH995-570-1170-69 * | H14 | ≥ 99.995% | 570 × 1170 × 69 | 1,080 | 0.45 | 58 | กรอบปะเก็น |
| PTFE-MH995-610-1220-69 * | H14 | ≥ 99.995% | 610 × 1220 × 69 | 1,206 | 0.45 | 58 | กรอบปะเก็น |
| PTFE-MH995-1170-1170-69 * | H14 | ≥ 99.995% | 1170 × 1170 × 69 | 2,218 | 0.45 | 58 | กรอบปะเก็น |
| PTFE-MU9995-570-570-50 | U15 | ≥ 99.9995% | 570 × 570 × 50 | 526 | 0.45 | < 73 | กรอบปะเก็น |
| PTFE-MU9995-570-1170-50 | U15 | ≥ 99.9995% | 570 × 1170 × 50 | 1,080 | 0.45 | < 73 | กรอบปะเก็น |
| PTFE-MU9995-570-1170-70 | U15 | ≥ 99.9995% | 570 × 1170 × 70 | 1,080 | 0.45 | < 73 | กรอบคมมีด (ร่องเจล) |
| PTFE-MU9995-570-1170-88 | U15 | ≥ 99.9995% | 570 × 1170 × 88 | 1,080 | 0.45 | < 73 | กรอบคมมีด (ร่องเจล) |
| MU9999-610-760-86 | U15 | ≥ 99.9999% | 610 × 760 × 86 | 1,140 | 0.68 | 142 | กรอบปะเก็น |
| MU99995-570-1170-52-PTFE | U16 | ≥ 99.99995% | 570 × 1170 × 52 | 1,110 | 0.46 | 102 | กรอบปะเก็น |
| PTFE-MU99995-1170-1170-90 * | U16 | ≥ 99.99995% | 1170 × 1170 × 90 | 2,218 | 0.45 | 83 | กรอบคมมีด (ร่องเจล) |
| PTFE-MU999995-570-1170-90 * | U17 | ≥ 99.999995% | 570 × 1170 × 90 | 1,080 | 0.45 | 97 | กรอบคมมีด (ร่องเจล) |
| PTFE-MU999995-1170-1170-90 * | U17 | ≥ 99.999995% | 1170 × 1170 × 90 | 2,218 | 0.45 | 97 | กรอบคมมีด (ร่องเจล) |
รหัสรุ่นคือรหัสสินค้าในระบบ ERP ของบริษัทเรา อัตราลมคำนวณจากขนาดระบุ ความดันตกเป็นค่าเริ่มต้นของแผ่นกรองใหม่ รุ่นที่มีเครื่องหมาย * เป็นข้อมูลจำเพาะมาตรฐานที่ตั้งรหัสตามกฎเดียวกัน ความดันตกเป็นค่าทั่วไป การจัดส่งให้ยึดตามเอกสารข้อมูลจำเพาะของใบสั่งซื้อ
คำอธิบายโดยละเอียด
แผ่นกรอง HEPA / ULPA แบบ PTFE คืออะไร
แผ่นกรอง HEPA / ULPA แบบ PTFE (พอลิเตตระฟลูออโรเอทิลีน หรือที่เรียกกันว่าเทฟลอน) ผลิตโดยยืด PTFE ให้เป็นเมมเบรนบางที่มีรูพรุนขนาดเล็กกระจายทั่วทั้งแผ่น (ePTFE) แล้วประกบกับชั้นรองรับผ้าไม่ทอเป็นวัสดุกรอง จากนั้นพับจีบแบบมินิพลีทและบรรจุในกรอบอะลูมิเนียม เมื่อเทียบกับแผ่นกรองไฟเบอร์กลาสทั่วไป มีความแตกต่างสำคัญสามข้อ คือ ความดันตกต่ำกว่าประมาณหนึ่งในสามถึงครึ่งหนึ่งที่เกรดเดียวกัน ไม่มีโบรอนและฟอสฟอรัส จึงไม่ปล่อยสารเจือเข้าสู่กระบวนการผลิต และ ทนกรด ด่าง และความชื้น ทั้งสามข้อนี้คือสิ่งที่ห้องสะอาดเซมิคอนดักเตอร์ จอแสดงผล และเภสัชกรรมให้ความสำคัญที่สุด FFU และแผ่นกรอง ULPA บนฝ้าในกระบวนการผลิตขั้นสูงจึงระบุใช้วัสดุกรอง PTFE มากขึ้นเรื่อย ๆ หน้านี้มีห้าเกรดตาม EN 1822 ตั้งแต่ H13 ถึง U17 ในขนาดที่ใช้บ่อยในห้องสะอาด เช่น 570×1170, 610×610 และ 1170×1170 mm ทุกแผ่นผ่านการทดสอบการรั่วแบบสแกนทีละแผ่นก่อนออกจากโรงงานพร้อมรายงานผล และเลือกมาตรฐานทนไฟ UL 900 เพิ่มได้การกรองที่ผิวและการกรองเชิงลึก
Surface filtration vs depth filtration
Media cross-section: glass-fiber paper on the left, PTFE membrane laminate on the right
Schematic; thickness and particle size are exaggerated.
ความดันตกต่ำกว่าประมาณหนึ่งในสามถึงครึ่งหนึ่งที่เกรดเดียวกัน
Initial pressure drop by grade: PTFE vs glass fiber
Dots are models on this page (0.45 m/s); grey bands are the estimated range for glass fiber of the same grade
PTFE values are from the model table; U15 is an upper limit. The glass-fiber range is estimated from the pressure-drop ratio in patent and academic sources (PTFE about 1/2 to 2/3 of glass fiber) and is for comparison only.
ทำไมโรงงานเซมิคอนดักเตอร์และจอแสดงผลจึงระบุ PTFE ปราศจากโบรอน
ไฟเบอร์กลาสในแผ่นกรอง HEPA / ULPA ทั่วไปเป็นแก้วโบโรซิลิเกต ไอกรดไฮโดรฟลูออริก (HF) ที่ฟุ้งจากพื้นที่กัดและทำความสะอาดแบบเปียกจะกัดกร่อนไฟเบอร์กลาส ทำให้เกิดก๊าซที่มีโบรอน เช่น โบรอนไตรฟลูออไรด์ (BF₃) ซึ่งไหลตามกระแสอากาศเข้าสู่ห้องสะอาด โบรอนเป็นสารเจือชนิด p ของซิลิคอน เมื่อตกสะสมบนผิวเวเฟอร์จะทำให้คุณสมบัติทางไฟฟ้าของอุปกรณ์เบี่ยงเบน สารยึดเกาะในกระดาษกรองไฟเบอร์กลาสยังอาจปล่อยสารอินทรีย์ออกมา และเป็นแหล่งหนึ่งของ AMC (สารปนเปื้อนโมเลกุลในอากาศ) เมมเบรน PTFE ไม่มีโบรอน ฟอสฟอรัส และโลหะ ไม่ต้องใช้สารยึดเกาะ และทนกรดไฮโดรฟลูออริกได้ในตัว จึงตัดการปนเปื้อนทั้งสองแหล่งนี้ได้ตั้งแต่ต้นทาง ยิ่งกระบวนการผลิตก้าวหน้าเท่าใด ก็ยิ่งไวต่อ AMC มากขึ้น พื้นที่อย่างลิโธกราฟี EUV ออกซิเดชันเกต และการตกสะสมฟิล์มบาง มักต้องการทั้งประสิทธิภาพระดับ U16–U17 และวัสดุกรองปราศจากโบรอนไปพร้อมกัน โดยติดตั้งแผ่นกรองเคมีไว้ด้านต้นทางเพื่อกำจัดก๊าซกรด ก๊าซด่าง และก๊าซอินทรีย์เปรียบเทียบแผ่นกรอง PTFE กับไฟเบอร์กลาส
| หัวข้อ | วัสดุกรองเมมเบรน PTFE | วัสดุกรองไฟเบอร์กลาส |
|---|---|---|
| วิธีการกรอง | การกรองที่ผิว: เมมเบรนรูพรุนดักอนุภาคไว้ที่ผิว | การกรองเชิงลึก: อนุภาคถูกดักทีละชั้นในแผ่นใย |
| ความดันตกเริ่มต้นที่เกรดเดียวกัน | ประมาณ 1/2～2/3 ของไฟเบอร์กลาส | ค่าอ้างอิง |
| โบรอน ฟอสฟอรัส โลหะ | ไม่มี ไม่ปล่อยออกมา | ใยแก้วโบโรซิลิเกตและสารยึดเกาะอาจปล่อยออกมา |
| การปล่อยไอสารอินทรีย์ | ต่ำมาก (ไม่มีสารยึดเกาะ) | สารยึดเกาะอาจปล่อยสารอินทรีย์ |
| ทนกรด ด่าง และกรดไฮโดรฟลูออริก | ดีเยี่ยม PTFE เฉื่อยทางเคมี | กรดไฮโดรฟลูออริกกัดกร่อนไฟเบอร์กลาสและเกิด BF₃ |
| ทนความชื้น | ไม่ชอบน้ำ ความชื้นไม่กระทบประสิทธิภาพ | ความแข็งแรงและประสิทธิภาพอาจลดลงเมื่อดูดความชื้น |
| ทนการพับและการหลุดของเส้นใย | เมมเบรนเหนียว ไม่เปราะแตก ไม่หลุดร่วง | เส้นใยเปราะ เกิดรอยขาดง่ายระหว่างพับจีบและขนย้าย |
| ความสามารถในการเก็บฝุ่น | ต่ำ ต้องมีแผ่นกรองขั้นต้นปกป้อง | สูงกว่า |
| การทดสอบการรั่วด้วยละอองน้ำมัน PAO | ความเข้มข้นสูงทำให้รูเมมเบรนอุดตัน ต้องใช้ความเข้มข้นต่ำหรือ PSL | รับการสแกนด้วย PAO ทั่วไปได้ |
| ราคาต่อหน่วย | สูงกว่า | ต่ำกว่า |
เลือกเกรด EN 1822 อย่างไร
| เกรด | ประสิทธิภาพรวม (MPPS) | ประสิทธิภาพเฉพาะจุด (MPPS) | ค่าการทะลุผ่าน | การใช้งานทั่วไป |
|---|---|---|---|---|
| H13 | ≥ 99.95% | ≥ 99.75% | 0.05% | โรงพยาบาล ห้องปฏิบัติการชีวภาพ ไอเสียจากเครื่องจักร |
| H14 | ≥ 99.995% | ≥ 99.975% | 0.005% | พื้นที่ปลอดเชื้อทางเภสัชกรรม ห้องสะอาด ISO 5 |
| U15 | ≥ 99.9995% | ≥ 99.9975% | 0.0005% | การประกอบและทดสอบเซมิคอนดักเตอร์ FFU โรงงานจอแสดงผล |
| U16 | ≥ 99.99995% | ≥ 99.99975% | 0.00005% | พื้นที่ ISO 3–4 ของกระบวนการส่วนหน้าเซมิคอนดักเตอร์ |
| U17 | ≥ 99.999995% | ≥ 99.9999% | 0.000005% | กระบวนการขั้นสูง ISO 1–3 สภาพแวดล้อมขนาดเล็กของเครื่องจักร |
รูปแบบและแนวทางการเลือก
| การใช้งาน | เกรดที่แนะนำ | รูปแบบที่แนะนำ | การกรองขั้นต้น |
|---|---|---|---|
| กระบวนการส่วนหน้าเซมิคอนดักเตอร์: ลิโธกราฟี การกัด ฟิล์มบาง | U16–U17 | กรอบคมมีด + ร่องเจล (ซีรีส์ PTFE-MU999995) | แผ่นกรองเคมี + แผ่นกรองระดับกลาง F9 |
| การประกอบและทดสอบเซมิคอนดักเตอร์ จอแสดงผล PCB | U15 | 570×1170 สำหรับ FFU (ซีรีส์ PTFE-MU9995) | แผ่นกรองระดับกลาง F8–F9 |
| การบรรจุแบบปลอดเชื้อทางเภสัชกรรม ไอโซเลเตอร์ | H14 | กรอบปะเก็น (ซีรีส์ PTFE-MH995) | แผ่นกรองระดับกลาง F9 |
| ห้องผ่าตัดโรงพยาบาล ห้องปฏิบัติการชีวภาพ | H13–H14 | กรอบปะเก็น (ซีรีส์ PTFE-MH95 / MH995) | แผ่นกรองระดับกลาง F7–F9 |
| ไอเสียที่ชื้นหรือมีก๊าซกรด ด่าง | H13–H14 | กรอบปะเก็น | แผ่นกรองหยาบ + แผ่นกรองระดับกลาง |
แผ่นวัสดุกรอง PTFE
| รหัสวัสดุกรอง | ประสิทธิภาพ (0.3 µm) | น้ำหนักต่อพื้นที่ (g/m²) | ความหนา (mm) | ความดันตก @5.3 cm/s | ขนาดแผ่น |
|---|---|---|---|---|---|
| PTFE99-1.2-1.2 | ≥ 99.99% | 90 (70–110) | 0.45 (0.25–0.65) | 145 Pa (130–160) | 1.2 × 1.2 m |
| PTFE999-1.2-1.2 * | ≥ 99.999% | 90 (70–110) | 0.45 (0.25–0.65) | 200 Pa (180–220) | 1.2 × 1.2 m |
การทดสอบการรั่วที่โรงงานและที่หน้างาน
แผ่นกรองทุกแผ่นผ่านการทดสอบการรั่วแบบสแกนทีละแผ่นก่อนออกจากโรงงานพร้อมรายงานผล และเลือกมาตรฐานทนไฟ UL 900 ได้ตามความต้องการ การตรวจรับที่หน้างานต้องคำนึงถึงคุณลักษณะของ PTFE อนุภาคละอองน้ำมันอย่าง PAO จะเกิดเป็นฟิล์มน้ำมันบนผิวเมมเบรนและอุดรูพรุน ทำให้ความดันตกสูงขึ้นอย่างถาวร ความเข้มข้นด้านต้นทางตั้งแต่ 10 µg/L ขึ้นไปที่ใช้กันทั่วไปกับวิธีโฟโตมิเตอร์ถือว่าหนักเกินไปสำหรับ PTFE แนะนำให้เปลี่ยนไปใช้วิธีสแกนด้วยเครื่องนับอนุภาค โดยคุมความเข้มข้น PAO ด้านต้นทางไว้ไม่เกินไม่กี่ µg/L หรือใช้อนุภาคลาเท็กซ์ PSL ชนิดของแข็งเป็นละอองทดสอบ และใช้เวลาสแกนให้สั้นที่สุดเท่าที่ทำได้การกรองขั้นต้นและช่วงเวลาเปลี่ยน
เมมเบรน PTFE ดักฝุ่นไว้ที่ผิวเท่านั้น งานวิจัยวัดความสามารถในการเก็บฝุ่นของเมมเบรน PTFE ล้วนได้ประมาณ 1 g/m² แม้ประกบชั้นผ้าไม่ทอแบบเมลต์โบลน์เพิ่มอีกชั้นก็ได้เพียงประมาณ 6 g/m² น้อยกว่าไฟเบอร์กลาสมาก ด้านต้นทางจึงต้องมีแผ่นกรองขั้นต้นระดับกลาง F8–F9 เสมอ และเครื่องส่งลมที่รับอากาศภายนอกต้องเพิ่มแผ่นกรองหยาบอีกชั้น แนะนำให้เปลี่ยนเมื่อความดันตกสูงขึ้นเป็น 2 เท่าของค่าเริ่มต้น เช่น PTFE-MU9995-570-1170-50 ที่ค่าเริ่มต้นต่ำกว่า 73 Pa ควรวางแผนเปลี่ยนเมื่อถึงราว 140 Pa และต้องเปลี่ยนเช่นกันเมื่อสแกนพบการรั่ว หรือจำนวนอนุภาคด้านปลายทางสูงขึ้นต่อเนื่อง ห้ามล้างแผ่นกรองด้วยน้ำ และห้ามเป่าด้วยลมอัด เมื่อผิวเมมเบรนเสียหายแล้วจะซ่อมแซมไม่ได้การใช้งานทั่วไป
FFU ในห้องสะอาดกระบวนการส่วนหน้าเซมิคอนดักเตอร์ (ลิโธกราฟี การกัด ฟิล์มบาง การแพร่) และการประกอบทดสอบ; ห้องสะอาดจอแสดงผล TFT-LCD, OLED และ PCB; การบรรจุแบบปลอดเชื้อทางเภสัชกรรมและไอโซเลเตอร์; ห้องผ่าตัดโรงพยาบาลและห้องปฏิบัติการชีวภาพ; สภาพแวดล้อมขนาดเล็กภายในเครื่องจักร (EFEM, Stocker) และโต๊ะปฏิบัติงานสะอาด; ไอเสียจากกระบวนการผลิตที่ชื้นหรือมีก๊าซกรดและด่างคำถามที่พบบ่อย
แผ่นกรอง PTFE ต่างจาก HEPA / ULPA ไฟเบอร์กลาสอย่างไร ความดันตกต่ำกว่ามากจริงหรือไม่
ต่างกันที่วิธีดักจับ กระดาษกรองไฟเบอร์กลาสเป็นแผ่นใยหนาประมาณ 0.4–0.6 mm อนุภาคถูกดักทีละชั้นตลอดความหนา (การกรองเชิงลึก) ส่วน PTFE คือการยืดพอลิเตตระฟลูออโรเอทิลีนให้เป็นเมมเบรนบางที่มีรูพรุนขนาดเล็กกระจายทั่ว แล้วติดบนชั้นรองรับผ้าไม่ทอ อนุภาคส่วนใหญ่ถูกกั้นไว้ที่ผิวเมมเบรน (การกรองที่ผิว) เมมเบรนบางมากและเส้นใยฝอยละเอียดมาก ที่ประสิทธิภาพเท่ากันจึงมีแรงต้านลมต่ำ อัตราส่วนความดันตกจากเอกสารสิทธิบัตรและงานวิจัยทางวิชาการอยู่ที่ประมาณ 1/2～2/3 ของไฟเบอร์กลาส ยกตัวอย่างรุ่นในหน้านี้ รุ่น H14 ลึก 69 mm PTFE-MH995-570-1170-69 ที่ 0.45 m/s ประมาณ 58 Pa รุ่น U15 ลึก 50 mm PTFE-MU9995-570-1170-50 ต่ำกว่า 73 Pa ขณะที่มินิพลีทไฟเบอร์กลาสความลึกเท่ากันมักสูงกว่าตั้งแต่ 50% ขึ้นไป ประโยชน์โดยตรงของความดันตกต่ำคือพัดลม FFU ลดรอบเพื่อประหยัดไฟได้ หรือเพิ่มปริมาณลมได้ด้วยพัดลมตัวเดิม
ทำไมโรงงานเซมิคอนดักเตอร์จึงระบุ ULPA แบบ PTFE ที่ปราศจากโบรอน
ไฟเบอร์กลาสในแผ่นกรอง HEPA / ULPA ทั่วไปเป็นแก้วโบโรซิลิเกต เมื่อเจอไอกรดไฮโดรฟลูออริกที่ฟุ้งจากพื้นที่กัดและทำความสะอาด จะถูกกัดกร่อนและเกิดก๊าซที่มีโบรอน เช่น โบรอนไตรฟลูออไรด์ (BF₃) ซึ่งไหลตามกระแสอากาศเข้าสู่ห้องสะอาด โบรอนเป็นสารเจือชนิด p ของเวเฟอร์ซิลิคอน เมื่อตกสะสมบนผิวเวเฟอร์จะเปลี่ยนคุณสมบัติทางไฟฟ้าของอุปกรณ์ สารยึดเกาะในกระดาษกรองไฟเบอร์กลาสยังอาจปล่อยสารอินทรีย์ซึ่งกลายเป็นส่วนหนึ่งของ AMC (สารปนเปื้อนโมเลกุลในอากาศ) เมมเบรน PTFE ไม่มีโบรอน ฟอสฟอรัส และโลหะ ไม่ต้องใช้สารยึดเกาะ และทนกรดไฮโดรฟลูออริก พื้นที่ที่ไวต่อการปนเปื้อนอย่างลิโธกราฟี การกัด และฟิล์มบาง จึงมักระบุ ULPA แบบ PTFE เกรด U15–U17 ทั้งนี้ กาวซีลกรอบและปะเก็นก็อาจปล่อยไอได้เช่นกัน เมื่อระบุว่าต้องปราศจากโบรอน ควรขอข้อมูลจำเพาะการปล่อยไอของแผ่นกรองทั้งแผ่นด้วย
แผ่นกรอง PTFE ทดสอบการรั่วที่หน้างานด้วย PAO / DOP ได้หรือไม่
ได้ แต่ต้องลดความเข้มข้น PTFE กรองที่ผิว อนุภาคละอองน้ำมันจะเกิดเป็นฟิล์มน้ำมันบนผิวเมมเบรนและอุดรูพรุน ทำให้ความดันตกสูงขึ้นอย่างถาวร ความเข้มข้นด้านต้นทางตั้งแต่ 10 µg/L ขึ้นไปที่ใช้กันทั่วไปกับวิธีโฟโตมิเตอร์ถือว่าหนักเกินไปสำหรับ PTFE แนะนำให้เปลี่ยนไปใช้วิธีสแกนด้วยเครื่องนับอนุภาค คุมความเข้มข้น PAO ด้านต้นทางไว้ไม่เกินไม่กี่ µg/L หรือใช้อนุภาคลาเท็กซ์ PSL ชนิดของแข็งเป็นละอองทดสอบ และใช้เวลาสแกนให้สั้นที่สุด แผ่นกรองในหน้านี้ทุกแผ่นผ่านการสแกนทีละแผ่นก่อนออกจากโรงงานพร้อมรายงานผล หากการตรวจรับที่หน้างานจำเป็นต้องใช้วิธีโฟโตมิเตอร์ กรุณายืนยันความเข้มข้นและระยะเวลากับเราก่อน เพื่อไม่ให้ความดันตกสูงขึ้นไปช่วงหนึ่งตั้งแต่ตรวจรับเสร็จ
แผ่นกรอง PTFE อายุการใช้งานสั้นกว่าไฟเบอร์กลาสหรือไม่ จำเป็นต้องมีแผ่นกรองขั้นต้นหรือไม่
ในลมหมุนเวียนที่สะอาดของห้องสะอาด อายุการใช้งานของทั้งสองแบบใกล้เคียงกัน PTFE อาจนานกว่าด้วยซ้ำ เพราะไม่เปราะ ไม่หลุดร่วง จึงเกิดรอยขาดจากการขนย้ายและติดตั้งน้อยกว่า จุดอ่อนที่แท้จริงคือความสามารถในการเก็บฝุ่น เมมเบรน PTFE ดักฝุ่นไว้ที่ผิวเท่านั้น งานวิจัยวัดได้ว่าเมมเบรน PTFE ล้วนเก็บฝุ่นได้ประมาณ 1 g/m² แม้ประกบชั้นผ้าไม่ทอแบบเมลต์โบลน์เพิ่มก็ได้เพียงประมาณ 6 g/m² น้อยกว่าไฟเบอร์กลาสมาก ด้านต้นทางจึงต้องมีแผ่นกรองขั้นต้นระดับกลาง F8–F9 เสมอ และเครื่องส่งลมที่รับอากาศภายนอกต้องเพิ่มแผ่นกรองหยาบอีกชั้น แนะนำให้เปลี่ยนเมื่อความดันตกสูงขึ้นเป็น 2 เท่าของค่าเริ่มต้น เช่น PTFE-MU9995-570-1170-50 ค่าเริ่มต้นต่ำกว่า 73 Pa ควรวางแผนเปลี่ยนเมื่อถึงราว 140 Pa
ควรเลือก H13, H14, U15, U16 หรือ U17 และ MPPS คืออะไร
EN 1822 และ ISO 29463 วัดประสิทธิภาพที่ MPPS (ขนาดอนุภาคที่ทะลุผ่านได้มากที่สุด โดยทั่วไปอยู่ที่ 0.1–0.25 µm) เพราะอนุภาคที่ใหญ่กว่าหรือเล็กกว่านี้ล้วนถูกดักได้ง่ายกว่า การวัดที่ขนาดที่ดักยากที่สุดจึงแทนกรณีที่แย่ที่สุด ทุกครั้งที่เพิ่มขึ้นหนึ่งเกรด ค่าการทะลุผ่านจะลดลงเหลือหนึ่งในสิบ H13 ยอมให้ทะลุผ่าน 0.05% H14 0.005% U15 0.0005% จนถึง U17 เหลือเพียง 0.000005% ในทางปฏิบัติ พื้นที่ปลอดเชื้อทางเภสัชกรรมและห้องสะอาด ISO 5 ใช้ H14 การประกอบและทดสอบเซมิคอนดักเตอร์และ FFU โรงงานจอแสดงผลส่วนใหญ่ใช้ U15 ส่วนพื้นที่ ISO 3–4 ของกระบวนการส่วนหน้า เช่น ลิโธกราฟีและการกัด ใช้ U16–U17 เกรดยิ่งสูงความดันตกยิ่งมาก ในหน้านี้ H14 ลึก 69 mm ประมาณ 58 Pa และ U17 ลึก 90 mm PTFE-MU999995-570-1170-90 ประมาณ 97 Pa เมื่อเลือกใช้จึงต้องตรวจสอบว่าแรงดันสถิตของพัดลมเพียงพอหรือไม่
อ่านรหัสรุ่นอย่างไร และเครื่องหมาย * หมายถึงอะไร
รหัสรุ่นตรงกับรหัสสินค้าในระบบ ERP ของบริษัทเรา ยกตัวอย่าง PTFE-MU9995-570-1170-70: PTFE หมายถึงวัสดุกรองเมมเบรน PTFE, M คือมินิพลีท, U คือ ULPA (H คือ HEPA), 9995 คือตัวเลขหลัง "99." ในประสิทธิภาพ 99.9995% และตัวเลขที่ตามมาคือกว้าง 570 สูง 1170 และลึก 70 mm ตามลำดับ ดังนั้น MH95 คือ 99.95% (H13), MH995 คือ 99.995% (H14) และ MU999995 คือ 99.999995% (U17) รุ่นที่มีเครื่องหมาย * เป็นข้อมูลจำเพาะมาตรฐานที่ตั้งรหัสตามกฎเดียวกัน ความดันตกในตารางเป็นค่าทั่วไป การจัดส่งให้ยึดตามเอกสารข้อมูลจำเพาะของใบสั่งซื้อ ขนาด ความลึก และรูปแบบกรอบทั้งหมดผลิตตามแบบได้
ซื้อเฉพาะวัสดุกรอง PTFE ไปทำแผ่นกรองเองได้หรือไม่
ได้ วัสดุกรอง PTFE มีจำหน่ายแบบแผ่น PTFE99-1.2-1.2 เป็นแผ่นเกรด 99.99% ขนาด 1.2 × 1.2 m น้ำหนักต่อพื้นที่ประมาณ 90 g/m² หนาประมาณ 0.45 mm ความดันตกประมาณ 145 Pa ที่ความเร็วผ่านวัสดุกรอง 5.3 cm/s หากต้องการประสิทธิภาพสูงขึ้นเลือก PTFE999-1.2-1.2 เกรด 99.999% ได้ (ประมาณ 200 Pa ผลิตตามสั่ง) เหมาะกับลูกค้าที่มีเครื่องพับจีบของตนเอง หรือต้องการทำแผ่นกรองขนาดเล็กภายในเครื่องจักรหรือแผ่นกรองระบายอากาศ เรายังตัดตามขนาดก่อนจัดส่ง หรือพับจีบและประกอบกรอบเป็นแผ่นกรองสำเร็จรูปให้ได้โดยตรง
กรณีใดใช้ไฟเบอร์กลาสก็เพียงพอ ไม่จำเป็นต้องใช้ PTFE
หากสภาพแวดล้อมไม่มีก๊าซกรด กระบวนการผลิตไม่ไวต่อโบรอนและการปล่อยไอสารอินทรีย์ และแรงดันสถิตของพัดลมยังเหลือเพียงพอ HEPA / ULPA ไฟเบอร์กลาสมีราคาต่อหน่วยต่ำกว่า เก็บฝุ่นได้มากกว่า ต้นทุนรวมตลอดอายุการใช้งานมักคุ้มค่ากว่า เช่น หอผู้ป่วยทั่วไป โรงงานอาหาร และสายการประกอบอิเล็กทรอนิกส์ กรณีที่ควรเปลี่ยนเป็น PTFE ได้แก่ กระบวนการส่วนหน้าของเซมิคอนดักเตอร์และจอแสดงผล พื้นที่ลมหมุนเวียนและไอเสียที่มีกรดไฮโดรฟลูออริกหรือก๊าซกรด ด่าง ฝ้า FFU พื้นที่ใหญ่ที่ต้องการลดการใช้พลังงาน และสภาพแวดล้อมที่มีความชื้นสูง แนะนำให้เปลี่ยนเป็น PTFE ก่อนในพื้นที่ที่ไวที่สุดหรือกลุ่ม FFU ที่กินไฟมากที่สุด แล้วตัดสินใจว่าจะขยายผลหรือไม่จากข้อมูลความดันตกและค่าไฟที่วัดได้จริง
ข้อมูลอ้างอิงสำหรับการเลือกใช้
ก่อนสั่งซื้อ โปรดตรวจสอบระดับประสิทธิภาพ ชนิดของวัสดุกรอง และสภาพแวดล้อมการใช้งานว่าตรงกับความต้องการของคุณหรือไม่
