PTFE(테프론) HEPA, ULPA 필터 (무붕소, 저압력손실)
제품 개요
주요 규격
- 효율 등급
- H13 / H14 / U15 / U16 / U17
- 여과 효율
- H13 ≥ 99.95%～U17 ≥ 99.999995% (MPPS)
- 초기 압력손실
- 44–102 Pa @0.45 m/s
- 두께
- 50 / 52 / 69 / 70 / 86 / 88 / 90 mm
규격 총표
- 여재
- ePTFE 미세다공막 + 부직포 지지층 복합 여재(무붕소, 바인더 미사용)
- 프레임
- 아노다이징 알루미늄 프레임
- 구조 형식
- 미니 플리츠(mini-pleat)
- 세퍼레이터
- 핫멜트 세퍼레이터
- 가스켓
- 양면 가스켓(가스켓 프레임); 나이프 에지 프레임은 젤 홈과 조합
- 시험 규격
- EN 1822 / ISO 29463
- 효율 등급
- H13 / H14 / U15 / U16 / U17
- 여과 효율
- H13 ≥ 99.95%～U17 ≥ 99.999995% (MPPS)
- 정격 풍량
- 526–2,218 m³/h @0.45 m/s
- 면풍속
- 0.45 m/s
- 초기 압력손실
- 44–102 Pa @0.45 m/s
- 최종 압력손실
- 초기 압력손실의 2배에서 교체 권장
- 표준 치수
- 570×570, 610×610, 570×1170, 610×760, 610×1220, 1170×1170 mm
- 두께
- 50 / 52 / 69 / 70 / 86 / 88 / 90 mm
- 주문 제작 치수
- 치수, 깊이, 프레임 형식은 도면에 따라 제작 가능
- 최고 사용 온도
- ≤ 70°C
- 최고 상대습도
- 100% RH (결로 없음)
- 적용 용도
- 반도체·디스플레이 클린룸 FFU, 제약 무균 구역, 병원 수술실, 장비 미니 인바이런먼트, 산·알칼리 가스를 포함한 배기
- 누설 시험
- 전수 출하 전 스캔 검사, 성적서 첨부; 현장에서는 저농도 PAO 또는 PSL 권장
- 인증
- UL 900(선택)
일부 수치는 동종 제품의 일반적 범위이며, 실제 사양은 출하 사양서를 따릅니다.
표준 모델과 사양
| 모델 | 등급 | 효율 (MPPS) | 치수 W×H×D (mm) | 정격 풍량 (m³/h) | 면풍속 (m/s) | 초기 압력손실 (Pa) | 프레임 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| PTFE-MH95-610-610-69 * | H13 | ≥ 99.95% | 610 × 610 × 69 | 603 | 0.45 | 44 | 가스켓 프레임 |
| PTFE-MH95-570-1170-69 * | H13 | ≥ 99.95% | 570 × 1170 × 69 | 1,080 | 0.45 | 44 | 가스켓 프레임 |
| PTFE-MH995-610-610-69 * | H14 | ≥ 99.995% | 610 × 610 × 69 | 603 | 0.45 | 58 | 가스켓 프레임 |
| PTFE-MH995-570-1170-69 * | H14 | ≥ 99.995% | 570 × 1170 × 69 | 1,080 | 0.45 | 58 | 가스켓 프레임 |
| PTFE-MH995-610-1220-69 * | H14 | ≥ 99.995% | 610 × 1220 × 69 | 1,206 | 0.45 | 58 | 가스켓 프레임 |
| PTFE-MH995-1170-1170-69 * | H14 | ≥ 99.995% | 1170 × 1170 × 69 | 2,218 | 0.45 | 58 | 가스켓 프레임 |
| PTFE-MU9995-570-570-50 | U15 | ≥ 99.9995% | 570 × 570 × 50 | 526 | 0.45 | < 73 | 가스켓 프레임 |
| PTFE-MU9995-570-1170-50 | U15 | ≥ 99.9995% | 570 × 1170 × 50 | 1,080 | 0.45 | < 73 | 가스켓 프레임 |
| PTFE-MU9995-570-1170-70 | U15 | ≥ 99.9995% | 570 × 1170 × 70 | 1,080 | 0.45 | < 73 | 나이프 에지(젤 홈) |
| PTFE-MU9995-570-1170-88 | U15 | ≥ 99.9995% | 570 × 1170 × 88 | 1,080 | 0.45 | < 73 | 나이프 에지(젤 홈) |
| MU9999-610-760-86 | U15 | ≥ 99.9999% | 610 × 760 × 86 | 1,140 | 0.68 | 142 | 가스켓 프레임 |
| MU99995-570-1170-52-PTFE | U16 | ≥ 99.99995% | 570 × 1170 × 52 | 1,110 | 0.46 | 102 | 가스켓 프레임 |
| PTFE-MU99995-1170-1170-90 * | U16 | ≥ 99.99995% | 1170 × 1170 × 90 | 2,218 | 0.45 | 83 | 나이프 에지(젤 홈) |
| PTFE-MU999995-570-1170-90 * | U17 | ≥ 99.999995% | 570 × 1170 × 90 | 1,080 | 0.45 | 97 | 나이프 에지(젤 홈) |
| PTFE-MU999995-1170-1170-90 * | U17 | ≥ 99.999995% | 1170 × 1170 × 90 | 2,218 | 0.45 | 97 | 나이프 에지(젤 홈) |
모델명은 당사 ERP 품번과 같습니다. 풍량은 공칭 치수로 계산했으며, 압력손실은 신품의 초기값입니다. * 표시 모델은 같은 규칙으로 번호를 매긴 표준 사양으로, 압력손실은 대표값이며 출하품은 주문 사양서를 따릅니다.
상세 설명
PTFE HEPA, ULPA 필터란
PTFE(폴리테트라플루오로에틸렌, 흔히 테프론이라 부름) HEPA, ULPA 필터는 PTFE를 연신해 미세한 구멍이 가득한 얇은 막(ePTFE)으로 만들고, 부직포 지지층과 복합해 여재로 만든 뒤 미니 플리츠로 접어 알루미늄 프레임에 넣은 필터입니다. 일반 유리섬유 필터와 비교하면 세 가지 핵심 차이가 있습니다. 같은 등급에서 압력손실이 약 3분의 1에서 절반가량 낮고, 붕소와 인을 함유하지 않아 공정에 도펀트를 방출하지 않으며, 산·알칼리와 습기에 강합니다. 이 세 가지는 반도체, 디스플레이, 제약 클린룸이 가장 중시하는 사항이며, 그래서 첨단 공정의 FFU와 천장 ULPA에서 PTFE 여재를 지정하는 경우가 늘고 있습니다. 이 페이지에서는 EN 1822 H13부터 U17까지 다섯 등급을 570×1170, 610×610, 1170×1170 등 클린룸에서 흔히 쓰는 치수로 제공합니다. 모든 필터는 출하 전 스캔 방식으로 한 장씩 누설 검사를 하고 시험 성적서를 첨부하며, UL 900 방화 등급은 선택할 수 있습니다.표면 여과와 심층 여과
표면 여과 vs 심층 여과
여재 단면 모식도: 왼쪽은 유리섬유 여지, 오른쪽은 PTFE 막 복합 여재
모식도이며 두께와 입자 크기는 과장되어 있습니다.
같은 등급에서 압력손실이 약 3분의 1에서 절반 낮습니다
같은 등급의 초기 압력손실: PTFE vs 유리섬유
원은 이 페이지의 모델(0.45 m/s), 회색 띠는 같은 등급 유리섬유의 추정 범위
PTFE 값은 모델 표에서 가져왔으며 U15는 상한값입니다. 유리섬유 범위는 특허와 학술 연구의 압력손실 비율(PTFE는 유리섬유의 약 1/2～2/3)로 추정한 것으로, 비교용으로만 참고하십시오.
반도체·디스플레이 공장이 무붕소 PTFE를 지정하는 이유
일반 HEPA, ULPA의 유리섬유는 붕규산 유리입니다. 식각과 습식 세정 구역에서 퍼지는 불산(HF) 증기는 유리섬유를 부식시켜 삼불화붕소(BF₃) 등 붕소 함유 가스를 만들고, 이 가스는 기류를 따라 클린룸으로 들어갑니다. 붕소는 실리콘의 p형 도펀트로, 웨이퍼 표면에 침착하면 소자의 전기적 특성이 변동합니다. 유리섬유 여지의 바인더도 유기물을 방출해 AMC(분자상 오염물질)의 발생원 중 하나가 됩니다. PTFE 막은 붕소, 인, 금속을 함유하지 않고 바인더도 필요 없으며 불산에도 강해, 이 두 가지 오염을 근원에서 차단합니다. 공정이 첨단일수록 AMC에 민감합니다. EUV 리소그래피, 게이트 산화, 박막 증착 등의 구역에서는 보통 U16–U17 효율과 무붕소 여재를 함께 요구하며, 상류에 케미컬 필터를 조합해 산성, 알칼리성, 유기 가스를 처리합니다.PTFE와 유리섬유 필터 비교
| 항목 | PTFE 막 여재 | 유리섬유 여재 |
|---|---|---|
| 여과 방식 | 표면 여과: 미세다공막이 표면에서 입자를 차단 | 심층 여과: 입자가 섬유 웹 안에서 여러 층에 걸쳐 포집됨 |
| 같은 등급의 초기 압력손실 | 유리섬유의 약 1/2～2/3 | 기준 |
| 붕소, 인, 금속 | 함유하지 않으며 방출 없음 | 붕규산 유리섬유와 바인더에서 방출될 수 있음 |
| 유기물 아웃가스 | 매우 낮음(바인더 미사용) | 바인더에서 유기물이 방출될 수 있음 |
| 내산, 내알칼리, 내불산 | 우수, PTFE는 화학적으로 불활성 | 불산이 유리섬유를 부식시켜 BF₃ 생성 |
| 내습성 | 소수성으로 습기가 효율에 영향을 주지 않음 | 흡습하면 강도와 효율이 떨어질 수 있음 |
| 절곡 내성과 섬유 탈락 | 막의 인성이 높아 깨지거나 섬유가 탈락하지 않음 | 섬유가 취약해 플리츠 가공과 운반 시 파손되기 쉬움 |
| 분진 보유량 | 낮음, 프리필터 보호 필요 | 비교적 높음 |
| PAO 오일 미스트 누설 시험 | 고농도에서는 막 구멍이 막히므로 저농도 또는 PSL 필요 | 일반적인 PAO 스캔을 견딤 |
| 단가 | 높음 | 낮음 |
EN 1822 등급 선택 방법
| 등급 | 전체 효율 (MPPS) | 국부 효율 (MPPS) | 투과율 | 대표 용도 |
|---|---|---|---|---|
| H13 | ≥ 99.95% | ≥ 99.75% | 0.05% | 병원, 바이오 실험실, 장비 배기 |
| H14 | ≥ 99.995% | ≥ 99.975% | 0.005% | 제약 무균 구역, ISO 5 클린룸 |
| U15 | ≥ 99.9995% | ≥ 99.9975% | 0.0005% | 반도체 후공정, 디스플레이 공장 FFU |
| U16 | ≥ 99.99995% | ≥ 99.99975% | 0.00005% | 반도체 전공정 ISO 3–4 구역 |
| U17 | ≥ 99.999995% | ≥ 99.9999% | 0.000005% | 첨단 공정 ISO 1–3, 장비 미니 인바이런먼트 |
형식과 선정 가이드
| 적용 분야 | 권장 등급 | 권장 형식 | 전단 여과 |
|---|---|---|---|
| 반도체 전공정: 리소그래피, 식각, 박막 | U16–U17 | 나이프 에지 프레임 + 젤 홈(PTFE-MU999995 시리즈) | 케미컬 필터 + 중성능 F9 |
| 반도체 후공정, 디스플레이, PCB | U15 | FFU용 570×1170(PTFE-MU9995 시리즈) | 중성능 F8–F9 |
| 제약 무균 충전, 아이솔레이터 | H14 | 가스켓 프레임(PTFE-MH995 시리즈) | 중성능 F9 |
| 병원 수술실, 바이오 실험실 | H13–H14 | 가스켓 프레임(PTFE-MH95 / MH995 시리즈) | 중성능 F7–F9 |
| 다습하거나 산·알칼리 가스를 포함한 배기 | H13–H14 | 가스켓 프레임 | 초급 필터 + 중성능 필터 |
PTFE 여재 시트
| 여재 모델 | 효율 (0.3 µm) | 평량 (g/m²) | 두께 (mm) | 압력손실 @5.3 cm/s | 시트 규격 |
|---|---|---|---|---|---|
| PTFE99-1.2-1.2 | ≥ 99.99% | 90 (70–110) | 0.45 (0.25–0.65) | 145 Pa (130–160) | 1.2 × 1.2 m |
| PTFE999-1.2-1.2 * | ≥ 99.999% | 90 (70–110) | 0.45 (0.25–0.65) | 200 Pa (180–220) | 1.2 × 1.2 m |
출하 누설 검사와 현장 누설 시험
모든 필터는 출하 전 스캔 방식으로 한 장씩 누설 검사를 하고 시험 성적서를 첨부합니다. UL 900 방화 등급은 요청에 따라 선택할 수 있습니다. 현장 인수 검사에서는 PTFE의 특성에 주의해야 합니다. PAO 등 오일 미스트 입자는 막 표면에 유막을 형성해 미세 구멍을 막고 압력손실을 영구적으로 높입니다. 광도계법에서 흔히 쓰는 10 µg/L 이상의 상류 농도는 PTFE에는 너무 높습니다. 입자 계수기 스캔법으로 바꾸어 상류 PAO 농도를 수 µg/L 이하로 낮추거나, 고체 PSL 라텍스 입자를 시험 에어로졸로 사용하고, 스캔 시간도 가능한 한 짧게 하기를 권장합니다.프리필터와 교체 시기
PTFE 막은 표면에서만 분진을 걸러 냅니다. 연구에 따르면 PTFE 막 단독의 분진 보유량은 약 1 g/m²이고, 멜트블로운 부직포를 한 층 복합해도 약 6 g/m²에 그쳐 유리섬유보다 훨씬 적습니다. 따라서 상류에는 반드시 중성능 F8–F9 등급의 프리필터가 있어야 하며, 외기 공조기에는 초급 필터를 한 단 더 두어야 합니다. 초기 압력손실의 2배에 도달하면 교체를 권장합니다. 예를 들어 초기값이 73 Pa 미만인 PTFE-MU9995-570-1170-50이라면 140 Pa 전후에서 교체를 계획합니다. 스캔에서 누설이 발견되거나 하류 입자 수가 계속 증가할 때도 교체해야 합니다. 필터는 물세척할 수 없고 압축 공기로 불어서도 안 되며, 막 표면이 한번 손상되면 복구할 수 없습니다.주요 용도
반도체 전공정(리소그래피, 식각, 박막, 확산)과 후공정 클린룸 FFU, TFT-LCD, OLED 디스플레이와 PCB 클린룸, 제약 무균 충전과 아이솔레이터, 병원 수술실과 바이오 실험실, 장비 내부 미니 인바이런먼트(EFEM, 스토커)와 클린 벤치, 다습하거나 산·알칼리 가스를 포함한 공정 배기에 사용됩니다.자주 묻는 질문
PTFE 필터와 유리섬유 HEPA, ULPA는 무엇이 다른가요? 압력손실이 정말 그렇게 낮은가요?
차이는 포집 방식에 있습니다. 유리섬유 여지는 두께 약 0.4–0.6 mm의 섬유 웹으로, 입자를 두께 전체에서 여러 층에 걸쳐 포집합니다(심층 여과). PTFE는 폴리테트라플루오로에틸렌을 연신해 미세한 구멍이 가득한 얇은 막으로 만들어 부직포 지지층에 붙인 것으로, 입자 대부분이 막 표면에서 걸러집니다(표면 여과). 막이 매우 얇고 피브릴이 극히 가늘어 같은 효율에서도 기류 저항이 작으며, 특허와 학술 연구에 따른 압력손실 비율은 유리섬유의 약 1/2～2/3입니다. 이 페이지의 모델로 보면, H14 깊이 69 mm인 PTFE-MH995-570-1170-69는 0.45 m/s에서 약 58 Pa, U15 50 mm인 PTFE-MU9995-570-1170-50은 73 Pa 미만이며, 같은 깊이의 유리섬유 미니 플리츠는 보통 절반 이상 높습니다. 압력손실이 낮으면 FFU 팬 회전수를 낮춰 에너지를 절감하거나, 같은 팬으로 풍량을 늘릴 수 있습니다.
반도체 공장은 왜 무붕소 PTFE ULPA를 지정하나요?
일반 HEPA, ULPA의 유리섬유는 붕규산 유리로, 식각과 세정 구역에서 퍼지는 불산 증기에 부식되면 삼불화붕소(BF₃) 등 붕소 함유 가스가 생성되어 기류를 따라 클린룸으로 들어옵니다. 붕소는 실리콘 웨이퍼의 p형 도펀트로, 웨이퍼 표면에 침착하면 소자의 전기적 특성이 바뀝니다. 유리섬유 여지의 바인더도 유기물을 방출해 AMC(분자상 오염물질)의 일부가 됩니다. PTFE 막 자체는 붕소, 인, 금속을 함유하지 않고 바인더도 필요 없으며 불산에도 강하기 때문에, 리소그래피, 식각, 박막 같은 민감한 구역에서는 U15–U17 PTFE ULPA를 많이 지정합니다. 다만 프레임 실링재와 가스켓에서도 아웃가스가 발생하므로, 무붕소를 지정할 때는 필터 전체의 아웃가스 사양도 함께 요구하십시오.
PTFE 필터도 PAO / DOP로 현장 누설 시험을 할 수 있나요?
가능하지만 농도를 낮춰야 합니다. PTFE는 표면 여과 방식이라 오일 미스트 입자가 막 표면에 유막을 형성해 미세 구멍을 막고, 압력손실이 영구적으로 상승합니다. 광도계법에서 흔히 쓰는 10 µg/L 이상의 상류 농도는 PTFE에는 너무 높습니다. 입자 계수기 스캔법으로 바꾸어 상류 PAO 농도를 수 µg/L 이하로 낮추거나, 고체 PSL 라텍스 입자를 시험 에어로졸로 사용하고 스캔 시간도 가능한 한 짧게 하십시오. 이 페이지의 필터는 모두 출하 전 한 장씩 스캔 검사를 하고 성적서를 첨부합니다. 현장 인수 검사에서 꼭 광도계법을 써야 한다면, 인수 검사만으로 압력손실이 먼저 올라가는 일이 없도록 농도와 시간을 미리 당사와 확인하십시오.
PTFE 필터는 유리섬유보다 수명이 짧은가요? 프리필터가 꼭 필요한가요?
깨끗한 클린룸 순환 공기에서는 둘의 수명이 비슷하며, PTFE가 오히려 더 길기도 합니다. 잘 부서지지 않고 섬유가 탈락하지 않아 운반과 설치 중 파손이 적기 때문입니다. 진짜 약점은 분진 보유량입니다. PTFE 막은 표면에서만 분진을 걸러 내며, 연구에 따르면 PTFE 막 단독의 분진 보유량은 약 1 g/m², 멜트블로운 부직포를 한 층 복합해도 약 6 g/m²에 그쳐 유리섬유보다 훨씬 적습니다. 따라서 상류에는 반드시 중성능 F8–F9 등급의 프리필터가 있어야 하며, 외기 공조기에는 초급 필터를 한 단 더 두어야 합니다. 초기 압력손실의 2배에 도달하면 교체를 권장합니다. 예를 들어 PTFE-MU9995-570-1170-50은 초기값이 73 Pa 미만이므로 140 Pa 전후에서 교체를 계획합니다.
H13, H14, U15, U16, U17은 어떻게 선택하나요? MPPS란 무엇인가요?
EN 1822와 ISO 29463은 MPPS(최대 투과 입자 크기, 일반적으로 0.1–0.25 µm)에서 효율을 측정합니다. 이보다 크거나 작은 입자는 모두 포집되기 쉬우므로, 가장 포집하기 어려운 입자 크기로 측정해야 최악의 조건을 나타내기 때문입니다. 등급이 하나 올라갈 때마다 투과율은 10분의 1로 줄어듭니다. H13은 0.05%, H14는 0.005%, U15는 0.0005%의 투과를 허용하며, U17은 0.000005%에 불과합니다. 실무에서는 제약 무균 구역과 ISO 5 클린룸에 H14, 반도체 후공정과 디스플레이 공장 FFU에 주로 U15, 전공정 리소그래피와 식각 등 ISO 3–4 구역에 U16–U17을 사용합니다. 등급이 높을수록 압력손실도 높아지며, 이 페이지에서 H14 69 mm는 약 58 Pa, U17 90 mm인 PTFE-MU999995-570-1170-90은 약 97 Pa이므로 선정 시 팬 정압이 충분한지 확인하십시오.
모델명은 어떻게 읽나요? * 표시는 무슨 뜻인가요?
모델명은 당사 ERP 품번과 같습니다. PTFE-MU9995-570-1170-70을 예로 들면, PTFE는 PTFE 막 여재, M은 미니 플리츠, U는 ULPA(H는 HEPA), 9995는 효율 99.9995%에서 「99.」 뒤의 자릿수이며, 마지막은 차례로 폭 570, 높이 1170, 깊이 70 mm입니다. 따라서 MH95는 99.95%(H13), MH995는 99.995%(H14), MU999995는 99.999995%(U17)입니다. * 표시 모델은 같은 규칙으로 번호를 매긴 표준 사양으로, 표의 압력손실은 대표값이며 출하품은 주문 사양서를 따릅니다. 치수, 깊이, 프레임 형식은 모두 도면에 따라 제작할 수 있습니다.
PTFE 여재만 구매해서 직접 필터를 만들 수 있나요?
가능합니다. PTFE 여재는 시트로 공급합니다. PTFE99-1.2-1.2는 1.2 × 1.2 m의 99.99% 등급 시트로, 평량 약 90 g/m², 두께 약 0.45 mm이며 여재 통과 풍속 5.3 cm/s에서 압력손실은 약 145 Pa입니다. 더 높은 효율이 필요하면 99.999% 등급의 PTFE999-1.2-1.2(약 200 Pa, 주문 제작품)를 선택할 수 있습니다. 자체 플리츠 가공 설비를 갖춘 고객이나 장비 내 소형 필터, 통기 필터를 제작하는 고객에게 적합합니다. 치수에 맞춰 재단해 출하하거나, 당사에서 플리츠 가공과 프레임 조립을 거쳐 완제품으로 만들 수도 있습니다.
어떤 경우에 유리섬유로 충분하고 PTFE가 필요 없나요?
환경에 산성 가스가 없고, 공정이 붕소나 유기물 아웃가스에 민감하지 않으며, 팬 정압에 여유가 충분하다면 유리섬유 HEPA, ULPA가 단가가 낮고 분진 보유량이 커서 총소유비용 면에서 대개 유리합니다. 일반 병실, 식품 공장, 전자 조립 라인 등이 그 예입니다. PTFE로 바꿀 가치가 있는 경우는 반도체와 디스플레이 전공정, 불산이나 산·알칼리 가스를 포함한 순환·배기 구역, FFU 에너지 소비를 줄이고 싶은 대면적 천장, 그리고 고습 환경입니다. 가장 민감한 구역이나 전력을 가장 많이 쓰는 FFU 그룹부터 PTFE로 바꾼 뒤, 실제 압력손실과 전기 요금 데이터를 보고 확대 여부를 결정하는 방법도 있습니다.
