氣體純化器
氮氣純化器（去除 CH₄）
產品概述
在吸附桶前串聯高溫催化桶的氮氣純化器。催化桶在高溫下工作、無需再生與更換，可額外去除常溫吸附處理不了的 CH₄；後段多個吸附桶並聯，在常溫純化與高溫再生兩種模式下交替工作。流量 10～20000 Nm³/h，使用壽命 20 年以上。
產品特性
指標表（適用氣體：N₂）
| 雜質 | 進口 INLET (ppm) | BSS9 出口 (ppb) |
|---|---|---|
| 工藝 | — | CAT+ADS |
| H₂O | < 5 | < 1 |
| O₂ | < 3 | < 1 |
| CO | < 1 | < 1 |
| CO₂ | < 1 | < 1 |
| H₂ | < 2 | < 1 |
| CH₄ | < 0.5 | < 1 |
| NMHC | < 1 | < 1 |
| 微粒 PARTICLES | — | ≤ 1 pcs/m³ (@0.003μm) |
| 流量範圍 | — | 10–20000 Nm³/h |
表列為標準型號的指標與配置，其他特殊需求可另行洽詢。
詳細說明
工藝介紹
BSS9 系列是 BSS8 的催化強化版本。氣流先通過前段的催化桶：單個或多個催化桶在高溫下工作，把甲烷等穩定的碳氫化合物轉化成容易被吸附的產物，這一段無需再生也不需要更換。轉化後的氣體再進入後段多個並聯的吸附桶，在常溫純化與高溫再生兩種模式下交替工作，達成 24 小時不間斷供氣。 使用壽命大於 20 年，與 BSS8 相同。為什麼甲烷需要催化段
甲烷是非極性的對稱分子，化學上相當惰性，常溫吸附劑抓不住它 —— 這是純吸附式純化器（ADS）的物理極限，不是設計不良。要處理甲烷，只有兩條路：一是升到高溫讓它先反應掉（催化），二是降到深冷讓吸附力足夠強。BSS9 走的是前者，優點是不需要液氮這類低溫公用設施，運轉成本比深冷路線低得多。 同樣的邏輯也解釋了為什麼 NMHC（非甲烷總烴）在純吸附式就能處理，而甲烷不行 —— 分子越大、極性越強，常溫吸附就越有效。系統組成
・氣路部分：前段催化桶串聯後段多個並聯吸附桶，加上閥件、管路、換熱器 ・電控部分：PLC、加熱元器件、溫度控制器、壓力感測器、觸控螢幕等，負責控制、報警、高溫聯鎖與資料記錄產品特點
・前段催化桶無需再生、無需更換，維護負擔集中在後段吸附桶 ・CH₄ 出口可達 < 1 ppb，與其他雜質同級 ・全自動運行，24 小時不間斷供氣 ・配置爆破片及安全閥卸壓、高溫機械連鎖與報警功能 ・使用壽命 20 年以上適用製程與產業
・12 吋晶圓廠中對碳污染敏感的製程用氮 ・磊晶與高溫爐製程：碳氫化合物在高溫下可能分解並在晶圓表面形成碳殘留 ・氣源來自空分或外購鋼瓶、甲烷背景偏高的廠區 ・對總碳（TC／THC）有明確規格的產線現場配置與安裝要點
・催化段需要較高的工作溫度：安裝位置要留足散熱空間，並確認高溫聯鎖動作正常 ・前段催化不可繞過：旁通設計時要注意，繞過催化桶等於退回 BSS8 的除雜能力 ・再生排氣獨立路徑：後段吸附桶再生時的排氣須導至安全排放點 ・電力條件先確認：催化段加上吸附段的加熱需求高於純吸附式機型，選型時提供現場可用電力 ・出口端建議配置總碳或甲烷分析：純氧／純水分析儀看不到甲烷，驗收時要用對的儀器維護與再生
・催化桶：設計上無需再生與更換，日常只需確認溫控與壓差正常 ・吸附桶：由 PLC 自動排程再生，吸附材料在正常氣源條件下設計壽命 20 年以上 ・年度歲修建議項目：閥件動作測試、溫度控制器與感測器校驗、安全閥與爆破片檢查與相鄰機種怎麼選
| 機種 | 工藝 | CH₄ 出口 | 流量上限 | 是否需要液氮 |
|---|---|---|---|---|
| BSS9（本機種） | CAT+ADS | < 1 ppb | 20000 Nm³/h | 否 |
| BSS8 | ADS | 不處理 | 50000 Nm³/h | 否 |
| BSS7-C 深冷型（H₂ 用） | 深冷 ADS | < 1 ppb | 1000 Nm³/h | 是 |
| BSH 加熱型 | GET | < 1 ppb | 150 LPM | 否 |
