Thiết bị tinh chế khí
Thiết bị tinh chế khí nitơ (khử CH₄)
Tổng quan sản phẩm
Thiết bị tinh chế nitơ có bình xúc tác nhiệt độ cao mắc nối tiếp phía trước các bình hấp phụ. Bình xúc tác làm việc ở nhiệt độ cao, không cần tái sinh cũng không cần thay thế, khử được CH₄ mà hấp phụ nhiệt độ thường không xử lý nổi; phía sau nhiều bình hấp phụ ghép song song luân phiên giữa tinh chế nhiệt độ thường và tái sinh nhiệt độ cao. Lưu lượng 10–20000 Nm³/h, tuổi thọ trên 20 năm.
Tính năng & Thông số kỹ thuật
Bảng chỉ tiêu (khí áp dụng: N₂)
| Tạp chất | Đầu vào INLET (ppm) | BSS9 đầu ra (ppb) |
|---|---|---|
| Công nghệ | — | CAT+ADS |
| H₂O | < 5 | < 1 |
| O₂ | < 3 | < 1 |
| CO | < 1 | < 1 |
| CO₂ | < 1 | < 1 |
| H₂ | < 2 | < 1 |
| CH₄ | < 0.5 | < 1 |
| NMHC | < 1 | < 1 |
| Hạt PARTICLES | — | ≤ 1 pcs/m³ (@0.003μm) |
| Dải lưu lượng | — | 10–20000 Nm³/h |
Bảng chỉ liệt kê chỉ tiêu và cấu hình của các model tiêu chuẩn; các yêu cầu đặc biệt khác vui lòng liên hệ.
Mô tả chi tiết
Giới thiệu công nghệ
Dòng BSS9 là phiên bản tăng cường xúc tác của BSS8. Dòng khí trước hết đi qua bình xúc tác phía trước: một hoặc nhiều bình xúc tác làm việc ở nhiệt độ cao, chuyển metan và các hydrocacbon bền khác thành sản phẩm dễ hấp phụ; đoạn này không cần tái sinh cũng không cần thay thế. Khí sau chuyển hóa đi tiếp vào nhiều bình hấp phụ ghép song song, luân phiên giữa tinh chế nhiệt độ thường và tái sinh nhiệt độ cao để cấp khí liên tục 24 giờ. Tuổi thọ trên 20 năm, giống BSS8.Vì sao metan cần đoạn xúc tác
Metan là phân tử đối xứng không phân cực, khá trơ về mặt hóa học, nên chất hấp phụ ở nhiệt độ thường không giữ được — đây là giới hạn vật lý của hấp phụ thuần túy (ADS) chứ không phải lỗi thiết kế. Chỉ có hai con đường xử lý metan: một là nâng nhiệt để nó phản ứng trước (xúc tác), hai là hạ nhiệt tới mức đủ lạnh để lực hấp phụ đủ mạnh. BSS9 đi theo hướng thứ nhất, ưu điểm là không cần tiện ích lạnh sâu như nitơ lỏng và chi phí vận hành thấp hơn nhiều so với hướng làm lạnh sâu. Cùng logic đó giải thích vì sao NMHC (tổng hydrocacbon không metan) xử lý được bằng hấp phụ thuần túy còn metan thì không — phân tử càng lớn và càng phân cực thì hấp phụ nhiệt độ thường càng hiệu quả.Cấu thành hệ thống
・Phần đường khí: bình xúc tác phía trước nối tiếp với nhiều bình hấp phụ song song phía sau, cùng với van, đường ống và bộ trao đổi nhiệt ・Phần điều khiển điện: PLC, phần tử gia nhiệt, bộ điều khiển nhiệt độ, cảm biến áp suất, màn hình cảm ứng, đảm nhiệm điều khiển, cảnh báo, khóa liên động nhiệt độ cao và ghi dữ liệuĐặc điểm sản phẩm
・Bình xúc tác phía trước không cần tái sinh cũng không cần thay thế, gánh nặng bảo trì dồn vào các bình hấp phụ phía sau ・CH₄ đầu ra đạt < 1 ppb, ngang với các tạp chất khác ・Vận hành tự động hoàn toàn, cấp khí liên tục 24 giờ ・Trang bị đĩa nổ và van an toàn để xả áp, khóa liên động cơ khí nhiệt độ cao và chức năng cảnh báo ・Tuổi thọ trên 20 nămQuy trình và ngành áp dụng
・Nitơ cho các quy trình nhạy với nhiễm bẩn cacbon tại nhà máy wafer 12 inch ・Epitaxy và công đoạn lò nhiệt độ cao: hydrocacbon có thể phân hủy ở nhiệt độ cao và để lại cặn cacbon trên bề mặt wafer ・Nhà máy có khí nguồn từ tách không khí hoặc bình mua ngoài với nền metan cao ・Dây chuyền có quy định rõ về tổng cacbon (TC/THC)Bố trí hiện trường và lưu ý lắp đặt
・Đoạn xúc tác cần nhiệt độ làm việc khá cao: vị trí lắp phải đủ khoảng trống tản nhiệt và phải xác nhận khóa liên động nhiệt độ cao hoạt động đúng ・Không được bypass đoạn xúc tác phía trước: lưu ý khi thiết kế bypass, vì đi vòng qua bình xúc tác đồng nghĩa quay về khả năng khử của BSS8 ・Đường thoát khí tái sinh riêng: khí xả khi tái sinh các bình hấp phụ phía sau phải dẫn tới điểm xả an toàn ・Xác nhận điều kiện điện trước: nhu cầu gia nhiệt của đoạn xúc tác cộng đoạn hấp phụ lớn hơn model hấp phụ thuần túy, khi chọn model vui lòng cung cấp nguồn điện sẵn có tại hiện trường ・Nên bố trí phân tích tổng cacbon hoặc metan ở đầu ra: máy phân tích ẩm và oxy không nhìn thấy metan, nghiệm thu phải dùng đúng thiết bịBảo trì và tái sinh
・Bình xúc tác: theo thiết kế không cần tái sinh cũng không cần thay thế, hằng ngày chỉ cần xác nhận điều khiển nhiệt độ và chênh áp bình thường ・Bình hấp phụ: PLC tự lên lịch tái sinh, vật liệu hấp phụ có tuổi thọ thiết kế trên 20 năm trong điều kiện khí nguồn bình thường ・Hạng mục bảo dưỡng hằng năm nên có: thử tác động van, hiệu chuẩn bộ điều khiển nhiệt độ và cảm biến, kiểm tra van an toàn và đĩa nổSo sánh với các model lân cận
| Model | Công nghệ | CH₄ đầu ra | Giới hạn lưu lượng | Cần nitơ lỏng |
|---|---|---|---|---|
| BSS9 (model này) | CAT+ADS | < 1 ppb | 20000 Nm³/h | Không |
| BSS8 | ADS | Không xử lý | 50000 Nm³/h | Không |
| BSS7-C làm lạnh sâu (cho H₂) | ADS lạnh sâu | < 1 ppb | 1000 Nm³/h | Có |
| BSH loại gia nhiệt | GET | < 1 ppb | 150 LPM | Không |
